公开(公告)号：CN109455663A

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：CN201811522787.2

申请日：2015-06-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 松冈润弥 ,  辻信昭 ,  植屋夕辉 ,  冈见威 ,  沟田崇

IPC: B81B3/00

Abstract: 本发明的MEMS器件具备固定构件(1)和通过弹性体(2)可振动地受到支撑的可动构件(3)，该MEMS器件具备在该可动构件和固定构件的可碰撞部分处设置的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有带板状的止动部和突条部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置在固定构件及可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定，该突条部在碰撞方向上，突出地设置于固定构件及可动构件中的另一个、或者止动部的一部分，该突条部及止动部构成为可动构件和固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。本发明能够提供抑制粘连,并不易破损的MEMS器件。

公开(公告)号：CN109455663B

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN201811522787.2

申请日：2015-06-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 松冈润弥 ,  辻信昭 ,  植屋夕辉 ,  冈见威 ,  沟田崇

IPC: B81B3/00

Abstract: 本发明的MEMS器件具备固定构件(1)和通过弹性体(2)可振动地受到支撑的可动构件(3)，该MEMS器件具备在该可动构件和固定构件的可碰撞部分处设置的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有带板状的止动部和突条部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置在固定构件及可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定，该突条部在碰撞方向上，突出地设置于固定构件及可动构件中的另一个、或者止动部的一部分，该突条部及止动部构成为可动构件和固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。本发明能够提供抑制粘连,并不易破损的MEMS器件。

公开(公告)号：CN106458567A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580029298.1

申请日：2015-06-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 松冈润弥 ,  辻信昭 ,  植屋夕辉 ,  冈见威 ,  沟田崇

IPC: B81B3/00 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/02 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0013 ,  B81B3/001 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C1/00968 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/02 ,  H01L29/84

Abstract: 本发明的MEMS器件具备固定构件(1)和通过弹性体(2)可振动地受到支撑的可动构件(3)，该MEMS器件具备在该可动构件和固定构件的可碰撞部分处设置的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有带板状的止动部和突条部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置在固定构件及可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定，该突条部在碰撞方向上，突出地设置于固定构件及可动构件中的另一个、或者止动部的一部分，该突条部及止动部构成为可动构件和固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。本发明能够提供抑制粘连,并不易破损的MEMS器件。