公开(公告)号：CN101529550A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200780038510.6

申请日：2007-10-18

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 饭岛荣一 ,  沈国华 ,  佐竹彻

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

Abstract: 皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制中，消除电子枪内部的空间电荷效应及空间电荷中和作用的影响，使电子束的控制完善。通过直接测定上述皮尔斯电子枪内部温度，来反馈控制电子枪内部的压力。直接测定上述皮尔斯电子枪的内部温度的位置，优选阴极(39)、流体调节器(43)。其次，也可以是设置在阴极室(31)、中间室、摆动室(33)的任一者的出口或入口处的环、光阑、排气筒中任一个。据此，产生束的部分的稳定性(电子枪自身的最优化设计)、束输送部的稳定性及束使用部的稳定性都变得良好。

公开(公告)号：CN103392027A

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN201280011137.6

申请日：2012-02-29

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐竹彻

IPC: C23C14/30 ,  C01B33/037 ,  C23C14/24 ,  G01N23/225

CPC classification number: C23C14/30 ,  C01B33/037 ,  C23C14/548 ,  C23C14/564

Abstract: 本发明提供一种真空处理装置及真空处理方法，对照射对象物体照射电子束并加热，使照射对象物体中包含的特定成分气化，同时能够知道照射对象物体中包含的杂质的浓度。真空处理装置具有：真空槽（11）；以及电子枪（20），对配置在真空槽（11）内的照射对象物体照射电子束并加热，使上述照射对象物体中包含的特定成分气化，其中，具有：X射线测定装置（62），测定既定的能量范围内的X射线的能量和强度的关系；以及衰减过滤器（61），借助电子束的照射而从照射对象物体（50）放出的X射线入射，使入射的X射线衰减并通过并向X射线测定装置（62）入射。

公开(公告)号：CN101529550B

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200780038510.6

申请日：2007-10-18

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 饭岛荣一 ,  沈国华 ,  佐竹彻

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

Abstract: 皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制中，消除电子枪内部的空间电荷效应及空间电荷中和作用的影响，使电子束的控制完善。通过直接测定上述皮尔斯电子枪内部温度，来反馈控制电子枪内部的压力。直接测定上述皮尔斯电子枪的内部温度的位置，优选阴极(39)、流体调节器(43)。其次，也可以是设置在阴极室(31)、中间室、摆动室(33)的任一者的出口或入口处的环、光阑、排气筒中任一个。据此，产生束的部分的稳定性(电子枪自身的最优化设计)、束输送部的稳定性及束使用部的稳定性都变得良好。