公开(公告)号：CN116868048B

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202180076558.6

申请日：2021-11-01

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 神户亮 ,  表和彦 ,  樋口稔文 ,  多田勉 ,  藤村一 ,  野野口雅弘 ,  姜立财 ,  鲍里斯·韦尔曼 ,  尤里·普拉托诺夫

IPC: G01N23/223

Abstract: 本发明的课题在于提供一种分析灵敏度高且分析速度快的全反射荧光X射线分析装置。本发明的全反射荧光X射线分析装置具有：X射线源，其具有电子束焦点，该电子束焦点的与试样表面平行且与X射线照射方向正交的方向的有效宽度大于所述照射方向的尺寸；分光元件，其所述正交的方向的有效宽度大于电子束焦点，且具有沿所述照射方向弯曲的面；及检测器，其沿所述正交的方向排列多个而配置，测量自照射有利用所述分光元件所集光的所述X射线的所述试样产生的荧光X射线的强度。

公开(公告)号：CN116868048A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202180076558.6

申请日：2021-11-01

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 神户亮 ,  表和彦 ,  樋口稔文 ,  多田勉 ,  藤村一 ,  野野口雅弘 ,  姜立财 ,  鲍里斯·韦尔曼 ,  尤里·普拉托诺夫

IPC: G01N23/223

Abstract: 本发明的课题在于提供一种分析灵敏度高且分析速度快的全反射荧光X射线分析装置。本发明的全反射荧光X射线分析装置具有：X射线源，其具有电子束焦点，该电子束焦点的与试样表面平行且与X射线照射方向正交的方向的有效宽度大于所述照射方向的尺寸；分光元件，其所述正交的方向的有效宽度大于电子束焦点，且具有沿所述照射方向弯曲的面；及检测器，其沿所述正交的方向排列多个而配置，测量自照射有利用所述分光元件所集光的所述X射线的所述试样产生的荧光X射线的强度。