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发明公开
基板处理系统、基板处理系统的控制装置以及基板处理系统的运转方法审中-实审

公开(公告)号：CN114068350A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202110608442.4

申请日：2021-06-01

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 出口和摩 , 绿川周吾 , 长泽畅亮 , 佐藤天星 , 若林秀树

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种在多次进行基板处理要素组的实际运转的情况下，能够在短时间内开始最初的实际运转的技术。基板处理系统(10)具备基板处理装置(11)，上述基板处理装置具有基板处理要素组(20)和控制装置(40)，基板处理要素组(20)构成为进行试运转和实际运转，基板处理要素组(20)具有第一基板处理要素和第二基板处理要素，在多次进行实际运转的情况下，控制装置(40)使第一基板处理要素进行试运转，在完成第一基板处理要素的试运转后，使第一基板处理要素的实际运转开始。

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