公开(公告)号：CN108474115A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201680075857.7

申请日：2016-12-21

Applicant: 流慧株式会社

Inventor： 香取重尊 ,  广木一亮 ,  织田真也 ,  人罗俊实

IPC: C23C16/448 ,  B05D3/10 ,  H01L21/365 ,  H01L51/44 ,  H01L51/48

CPC classification number: B05D3/10 ,  B05D1/30 ,  B05D1/60 ,  B05D3/002 ,  C23C16/409 ,  C23C16/448 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/4486 ,  H01L51/44 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 为了提供具有工业优势质量的薄膜的目的，本发明提出了一种成膜方法。本发明的方法的实施方式包括：将含有非质子溶剂(可以是内酯或内酰胺)的原料溶液变成雾或液滴(雾化步骤)，将雾或液滴携带至设置在成膜室的基体上(雾的运送步骤)，以及优选在250℃或以下的温度使雾或液滴反应，从而在基体上成膜(成膜步骤)。