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公开(公告)号:CN112768414A
公开(公告)日:2021-05-07
申请号:CN202011126718.7
申请日:2020-10-20
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L23/31 , H01L23/495 , H01L25/07
Abstract: 本公开的各实施例涉及半导体装置。一种半导体装置包括:半导体芯片,该半导体芯片包括用于进行开关的场效应晶体管;裸片焊盘,半导体芯片经由第一键合材料被安装在该裸片焊盘上;引线,该引线通过金属板电连接到用于半导体芯片的源极的焊盘;引线耦合部,与引线一体地形成;以及用于密封它们的密封部。用于半导体芯片的漏极的背表面电极与裸片焊盘经由第一键合材料键合,金属板与用于半导体芯片的源极的焊盘经由第二键合材料键合,并且金属板与所引线耦合部经由第三键合材料键合。第一键合材料、第二键合材料和第三键合材料具有导电性,并且第一键合材料和第二键合材料中的每一项的弹性模量低于第三键合材料的弹性模量。
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公开(公告)号:CN107210233B
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201580073894.X
申请日:2015-07-23
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L21/52
Abstract: 本发明提供半导体器件及其制造方法,提高半导体器件的可靠性。因此,将尽可能不在成为多孔质状态的Ag层(AGL)的表面上形成临时固定材料(TA),同时,使用具有粘性的临时固定材料(TA)将搭载于Ag层(AGL)上的半导体芯片(CHP1)固定这一基本思想具体化。具体来说,以具有与芯片搭载部(TAB)接触的部分的方式供给临时固定材料(TA),且以半导体芯片(CHP1)的背面的一部分与临时固定材料(TA)接触的方式将半导体芯片(CHP1)搭载于Ag层(AGL)上。
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公开(公告)号:CN106847784A
公开(公告)日:2017-06-13
申请号:CN201710061288.7
申请日:2012-06-29
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L23/498 , H01L21/683 , H01L21/48 , H01L21/56 , H01L21/60
CPC classification number: H01L23/49811 , H01L21/4853 , H01L21/563 , H01L21/6836 , H01L23/49816 , H01L23/49838 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/45 , H01L24/81 , H01L24/85 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2224/05554 , H01L2224/10175 , H01L2224/1146 , H01L2224/1147 , H01L2224/11849 , H01L2224/13082 , H01L2224/131 , H01L2224/13147 , H01L2224/136 , H01L2224/14153 , H01L2224/14155 , H01L2224/1601 , H01L2224/16105 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/16238 , H01L2224/32225 , H01L2224/45144 , H01L2224/73204 , H01L2224/81193 , H01L2224/81194 , H01L2224/81385 , H01L2224/814 , H01L2224/81444 , H01L2224/83102 , H01L2224/85 , H01L2224/85203 , H01L2224/94 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/014 , H01L2224/11 , H01L2924/00 , H01L2224/48
Abstract: 本发明公开了一种半导体器件的制造方法。提供一种可提高半导体器件可靠性的技术。在倒装芯片的连接工序中,通过对预先装载在突起电极(4)的顶端面的焊锡以及预先涂布在引脚(焊接引线)(11)上的焊锡进行加热,以使其一体化并电连接。其中,所述引脚(11)包括具有第一宽度(W1)的宽截面(第一部分)(11w)和具有第二宽度(W2)的窄截面(第二部分)(11n)。通过对焊锡进行加热,可使配置在窄截面(11n)上的焊锡的厚度比配置在宽截面(11w)上的焊锡的厚度薄。接着,在倒装芯片的连接工序中,将突起电极(4)配置并接合在窄截面(11n)上。由此,可减少焊锡的渗出量。
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公开(公告)号:CN102856220B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201210229643.4
申请日:2012-06-29
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L23/49811 , H01L21/4853 , H01L21/563 , H01L21/6836 , H01L23/49816 , H01L23/49838 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/45 , H01L24/81 , H01L24/85 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2224/05554 , H01L2224/10175 , H01L2224/1146 , H01L2224/1147 , H01L2224/11849 , H01L2224/13082 , H01L2224/131 , H01L2224/13147 , H01L2224/136 , H01L2224/14153 , H01L2224/14155 , H01L2224/1601 , H01L2224/16105 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/16238 , H01L2224/32225 , H01L2224/45144 , H01L2224/73204 , H01L2224/81193 , H01L2224/81194 , H01L2224/81385 , H01L2224/814 , H01L2224/81444 , H01L2224/83102 , H01L2224/85 , H01L2224/85203 , H01L2224/94 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/014 , H01L2224/11 , H01L2924/00 , H01L2224/48
Abstract: 本发明公开了一种半导体器件的制造方法。提供一种可提高半导体器件可靠性的技术。在倒装芯片的连接工序中,通过对预先装载在突起电极(4)的顶端面的焊锡以及预先涂布在引脚(焊接引线)(11)上的焊锡进行加热,以使其一体化并电连接。其中,所述引脚(11)包括具有第一宽度(W1)的宽截面(第一部分)(11w)和具有第二宽度(W2)的窄截面(第二部分)(11n)。通过对焊锡进行加热,可使配置在窄截面(11n)上的焊锡的厚度比配置在宽截面(11w)上的焊锡的厚度薄。接着,在倒装芯片的连接工序中,将突起电极(4)配置并接合在窄截面(11n)上。由此,可减少焊锡的渗出量。
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公开(公告)号:CN103903995A
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201310741302.X
申请日:2013-12-27
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L21/60 , H01L23/488
CPC classification number: H01L24/81 , H01L21/561 , H01L21/563 , H01L23/49816 , H01L23/49838 , H01L23/49894 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/16 , H01L24/743 , H01L24/97 , H01L2224/10175 , H01L2224/13111 , H01L2224/13116 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/81193 , H01L2224/81385 , H01L2224/81801 , H01L2224/83192 , H01L2224/92125 , H01L2924/0132 , H01L2924/0133 , H01L2924/12042 , H01L2924/15184 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/01083 , H01L2924/01047 , H01L2924/01029 , H01L2924/0105 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的课题在于提供一种提高半导体装置的可靠性的半导体装置的制造方法及半导体装置。在布线基板(3)所具有的芯片搭载面上形成的多个端子(11),在俯视观察下分别为在相邻的宽幅部(11w1、11w2)之间配置有窄幅部(11n)的形状。另外,在搭载于布线基板(3)上的半导体芯片(2)上形成的、多个突起电极(4)各自的顶端面的中心在俯视观察下分别配置在与窄幅部(11n)重叠的位置,将多个端子(11)和多个突起电极(4)经由焊锡材料(5)而电连接。
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公开(公告)号:CN106847784B
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201710061288.7
申请日:2012-06-29
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L23/498 , H01L21/683 , H01L21/48 , H01L21/56 , H01L21/60
CPC classification number: H01L23/49811 , H01L21/4853 , H01L21/563 , H01L21/6836 , H01L23/49816 , H01L23/49838 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/45 , H01L24/81 , H01L24/85 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2224/05554 , H01L2224/10175 , H01L2224/1146 , H01L2224/1147 , H01L2224/11849 , H01L2224/13082 , H01L2224/131 , H01L2224/13147 , H01L2224/136 , H01L2224/14153 , H01L2224/14155 , H01L2224/1601 , H01L2224/16105 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/16238 , H01L2224/32225 , H01L2224/45144 , H01L2224/73204 , H01L2224/81193 , H01L2224/81194 , H01L2224/81385 , H01L2224/814 , H01L2224/81444 , H01L2224/83102 , H01L2224/85 , H01L2224/85203 , H01L2224/94 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/014 , H01L2224/11 , H01L2924/00 , H01L2224/48
Abstract: 本发明公开了一种半导体器件的制造方法。提供一种可提高半导体器件可靠性的技术。在倒装芯片的连接工序中,通过对预先装载在突起电极(4)的顶端面的焊锡以及预先涂布在引脚(焊接引线)(11)上的焊锡进行加热,以使其一体化并电连接。其中,所述引脚(11)包括具有第一宽度(W1)的宽截面(第一部分)(11w)和具有第二宽度(W2)的窄截面(第二部分)(11n)。通过对焊锡进行加热,可使配置在窄截面(11n)上的焊锡的厚度比配置在宽截面(11w)上的焊锡的厚度薄。接着,在倒装芯片的连接工序中,将突起电极(4)配置并接合在窄截面(11n)上。由此,可减少焊锡的渗出量。
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公开(公告)号:CN107210233A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201580073894.X
申请日:2015-07-23
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L21/52
CPC classification number: H01L23/49513 , H01L21/4825 , H01L21/52 , H01L23/3114 , H01L23/49562 , H01L23/49575 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/40 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L2224/0603 , H01L2224/29139 , H01L2224/32245 , H01L2224/371 , H01L2224/37147 , H01L2224/37599 , H01L2224/40137 , H01L2224/40139 , H01L2224/40245 , H01L2224/48245 , H01L2224/48247 , H01L2224/49171 , H01L2224/73221 , H01L2224/73263 , H01L2224/73265 , H01L2224/83002 , H01L2224/83192 , H01L2224/8384 , H01L2924/1203 , H01L2924/13055 , H01L2924/14252 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供半导体器件及其制造方法,提高半导体器件的可靠性。因此,将尽可能不在成为多孔质状态的Ag层(AGL)的表面上形成临时固定材料(TA),同时,使用具有粘性的临时固定材料(TA)将搭载于Ag层(AGL)上的半导体芯片(CHP1)固定这一基本思想具体化。具体来说,以具有与芯片搭载部(TAB)接触的部分的方式供给临时固定材料(TA),且以半导体芯片(CHP1)的背面的一部分与临时固定材料(TA)接触的方式将半导体芯片(CHP1)搭载于Ag层(AGL)上。
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公开(公告)号:CN102856220A
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN201210229643.4
申请日:2012-06-29
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L23/49811 , H01L21/4853 , H01L21/563 , H01L21/6836 , H01L23/49816 , H01L23/49838 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/45 , H01L24/81 , H01L24/85 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2224/05554 , H01L2224/10175 , H01L2224/1146 , H01L2224/1147 , H01L2224/11849 , H01L2224/13082 , H01L2224/131 , H01L2224/13147 , H01L2224/136 , H01L2224/14153 , H01L2224/14155 , H01L2224/1601 , H01L2224/16105 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/16238 , H01L2224/32225 , H01L2224/45144 , H01L2224/73204 , H01L2224/81193 , H01L2224/81194 , H01L2224/81385 , H01L2224/814 , H01L2224/81444 , H01L2224/83102 , H01L2224/85 , H01L2224/85203 , H01L2224/94 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/014 , H01L2224/11 , H01L2924/00 , H01L2224/48
Abstract: 本发明公开了一种半导体器件的制造方法。提供一种可提高半导体器件可靠性的技术。在倒装芯片的连接工序中,通过对预先装载在突起电极(4)的顶端面的焊锡以及预先涂布在引脚(焊接引线)(11)上的焊锡进行加热,以使其一体化并电连接。其中,所述引脚(11)包括具有第一宽度(W1)的宽截面(第一部分)(11w)和具有第二宽度(W2)的窄截面(第二部分)(11n)。通过对焊锡进行加热,可使配置在窄截面(11n)上的焊锡的厚度比配置在宽截面(11w)上的焊锡的厚度薄。接着,在倒装芯片的连接工序中,将突起电极(4)配置并接合在窄截面(11n)上。由此,可减少焊锡的渗出量。
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公开(公告)号:CN203787415U
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201320878884.1
申请日:2013-12-27
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L23/498 , H01L23/49
CPC classification number: H01L24/81 , H01L21/561 , H01L21/563 , H01L23/49816 , H01L23/49838 , H01L23/49894 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/16 , H01L24/743 , H01L24/97 , H01L2224/10175 , H01L2224/13111 , H01L2224/13116 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/81193 , H01L2224/81385 , H01L2224/81801 , H01L2224/83192 , H01L2224/92125 , H01L2924/0132 , H01L2924/0133 , H01L2924/12042 , H01L2924/15184 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/01083 , H01L2924/01047 , H01L2924/01029 , H01L2924/0105 , H01L2924/00
Abstract: 本实用新型的课题在于提供一种提高半导体装置的可靠性的半导体装置。在布线基板(3)所具有的芯片搭载面上形成的多个端子(11),在俯视观察下分别为在相邻的宽幅部(11w1、11w2)之间配置有窄幅部(11n)的形状。另外,在搭载于布线基板(3)上的半导体芯片(2)上形成的、多个突起电极(4)各自的顶端面的中心在俯视观察下分别配置在与窄幅部(11n)重叠的位置,将多个端子(11)和多个突起电极(4)经由焊锡材料(5)而电连接。
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