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公开(公告)号：CN107026435B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201710190279.8
申请日：2014-08-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 可赛格·D·特拉斯狄克 , 卡尔斯·L·史坦利 , 希马恩·飞三 , 皮尔·卢比克
IPC: H02H9/02
Abstract: 本发明提供一种固态故障电流限制器及固态故障电流限制器系统，固态故障电流限制器包含电流分离电抗器，电流分离电抗器包括系统电流输入端、无源电流输出端以及控制电流输出端。电压控制电抗器包含第一端部以及第二端部，第一端部耦合到控制电流输出端上并且第二端部耦合到无源电流输出端上。故障电流触发电路与电压控制电抗器并联耦合，并且经配置以在由系统电流输入端接收的故障电流超出预定触发电流时断开。瞬态电压控制电路与电压控制电抗器并联耦合以接收故障电流。该固态故障电流限制器可以为电路断路器提供减少的闪光电弧能，以及通过操作并处理较低的闪光电弧能获得的对应安全益处。
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公开(公告)号：CN109417012B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201780024188.5
申请日：2017-04-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 科斯特尔·拜洛 , 皮尔·卢比克 , 泰勒·洛克威尔 , 克里斯多夫·坎贝尔 , 维克拉姆·辛 , 凯文·M·丹尼尔斯 , 理查德·J·赫尔特 , 彼得·F·库鲁尼西 , 亚历山大·利坎斯奇
IPC: H01J37/32 , H01J37/317
Abstract: 本发明的实施例提供一种处理设备及处理衬底的方法，所述处理设备可以包含：等离子体腔室，以容纳等离子体并且具有包括电绝缘体的主体部分；提取板，沿着等离子体腔室的提取侧安置，所述提取板是导电的并且具有提取孔隙；衬底平台，安置在等离子体腔室的外部并且邻近提取孔隙，所述衬底平台处在接地电势；以及射频发生器，电耦合到所述提取板，当等离子体存在于等离子体腔室中时所述射频发生器相对于接地电势在提取板处建立正直流自身偏置电压。
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公开(公告)号：CN107026435A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201710190279.8
申请日：2014-08-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 可赛格·D·特拉斯狄克 , 卡尔斯·L·史坦利 , 希马恩·飞三 , 皮尔·卢比克
IPC: H02H9/02
Abstract: 本发明提供一种固态故障电流限制器，固态故障电流限制器包含电流分离电抗器，电流分离电抗器包括系统电流输入端、无源电流输出端以及控制电流输出端。电压控制电抗器包含第一端部以及第二端部，第一端部耦合到控制电流输出端上并且第二端部耦合到无源电流输出端上。故障电流触发电路与电压控制电抗器并联耦合，并且经配置以在由系统电流输入端接收的故障电流超出预定触发电流时断开。瞬态电压控制电路与电压控制电抗器并联耦合以接收故障电流。该固态故障电流限制器可以为电路断路器提供减少的闪光电弧能，以及通过操作并处理较低的闪光电弧能获得的对应安全益处。
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公开(公告)号：CN105594083B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201480053863.3
申请日：2014-08-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 可赛格·D·特拉斯狄克 , 卡尔斯·L·史坦利 , 希马恩·飞三 , 皮尔·卢比克
IPC: H02H9/02
Abstract: 本发明提供一种固态故障电流限制器，固态故障电流限制器包含电流分离电抗器，电流分离电抗器包括系统电流输入端、无源电流输出端以及控制电流输出端。电压控制电抗器包含第一端部以及第二端部，第一端部耦合到控制电流输出端上并且第二端部耦合到无源电流输出端上。故障电流触发电路与电压控制电抗器并联耦合，并且经配置以在由系统电流输入端接收的故障电流超出预定触发电流时断开。瞬态电压控制电路与电压控制电抗器并联耦合以接收故障电流。该固态故障电流限制器可以为电路断路器提供减少的闪光电弧能，以及通过操作并处理较低的闪光电弧能获得的对应安全益处。
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公开(公告)号：CN105594083A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480053863.3
申请日：2014-08-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 可赛格·D·特拉斯狄克 , 卡尔斯·L·史坦利 , 希马恩·飞三 , 皮尔·卢比克
IPC: H02H9/02
CPC classification number: H02H9/021 , H02H9/005 , H02H9/02 , H02H9/023 , H02H9/041 , H03K3/38 , H03K19/20 , Y02E40/69
Abstract: 一种固态故障电流限制器，固态故障电流限制器包含电流分离电抗器，电流分离电抗器包括系统电流输入端、无源电流输出端以及控制电流输出端。电压控制电抗器包含第一端部以及第二端部，第一端部耦合到控制电流输出端上并且第二端部耦合到无源电流输出端上。故障电流触发电路与电压控制电抗器并联耦合，并且经配置以在由系统电流输入端接收的故障电流超出预定触发电流时断开。瞬态电压控制电路与电压控制电抗器并联耦合以接收故障电流。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103765545A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280040083.6
申请日：2012-07-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J27/02 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/241 , H01J27/022 , H01J37/3171 , H01J2237/0203 , H01J2237/0206 , H02H9/02
Abstract: 本发明揭示一种与离子源组合件一起使用的浪涌保护系统。所述系统包括与热离子二极管或热离子三极管以及离子源组合件串联耦合的高压电源。所述高压电源供应器封闭在压力槽中并且驱动所述离子源组合件。所述热离子二极管或三极管包括安置在离子源组合件罩壳与高压电源供应器的输出端之间的绝缘管并且利用现有离子源组合件组件来限制在所述离子源组合件的电弧故障期间对所述电源供应器的破坏。
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公开(公告)号：CN109923749B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201780067249.6
申请日：2017-09-11
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H02H9/02
Abstract: 本发明提供电力系统及故障电流限制器。本发明内容的实施例包含一种故障电流限制器，其具有：包含缠绕第一芯的初级绕组和次级绕组的第一电流分离装置，以及包含缠绕第二芯的初级绕组和次级绕组的第二电流分离装置。故障电流限制器可更包含串联电连接在第一电流分离装置的次级绕组与第二电流分离装置的次级绕组之间的故障电流限制器模块(例如，切换模块)。故障电流限制器可更包含与第二电流分离装置的次级绕组串联电连接的第二故障电流限制器模块。通过将故障电流限制器分离成具有散置于绕组之间的故障电流限制器模块的部分，故障电流限制器的绕组之间可建置有较少绝缘。
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公开(公告)号：CN109923749A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201780067249.6
申请日：2017-09-11
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H02H9/02
Abstract: 本发明内容的实施例包含一种故障电流限制器，其具有：包含缠绕第一芯的初级绕组和次级绕组的第一电流分离装置，以及包含缠绕第二芯的初级绕组和次级绕组的第二电流分离装置。故障电流限制器可更包含串联电连接在第一电流分离装置的次级绕组与第二电流分离装置的次级绕组之间的故障电流限制器模块(例如，切换模块)。故障电流限制器可更包含与第二电流分离装置的次级绕组串联电连接的第二故障电流限制器模块。通过将故障电流限制器分离成具有散置于绕组之间的故障电流限制器模块的部分，故障电流限制器的绕组之间可建置有较少绝缘。
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公开(公告)号：CN109417012A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780024188.5
申请日：2017-04-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 科斯特尔·拜洛 , 皮尔·卢比克 , 泰勒·洛克威尔 , 克里斯多夫·坎贝尔 , 维克拉姆·辛 , 凯文·M·丹尼尔斯 , 理查德·J·赫尔特 , 彼得·F·库鲁尼西 , 亚历山大·利坎斯奇
IPC: H01J37/32 , H01J37/317
Abstract: 一种处理设备可以包含：等离子体腔室，以容纳等离子体并且具有包括电绝缘体的主体部分；提取板，沿着等离子体腔室的提取侧安置，所述提取板是导电的并且具有提取孔隙；衬底平台，安置在等离子体腔室的外部并且邻近提取孔隙，所述衬底平台处在接地电势；以及射频发生器，电耦合到所述提取板，当等离子体存在于等离子体腔室中时所述射频发生器相对于接地电势在提取板处建立正直流自身偏置电压。
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公开(公告)号：CN104508790A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380038609.1
申请日：2013-07-17
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/02 , H01J37/24 , H01J37/304 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/026 , H01J37/241 , H01J37/304 , H01J2237/24564
Abstract: 本发明揭示了一种离子植入系统和方法，其中通过在植入机中使用已调变电源系统(230)，来最小化电压中的突波。已调变电源系统包括传统电源(300)以及与各电源相连的控制单元(310)，其中控制单元用于在检测到突波或电弧时通过源开关(321)使电源与电极绝缘，且通过闭合放电开关(331)使得电极上的任何电荷快速消散至接地。随后在突波情况被改善之后，控制单元使电源与电极之间的连接恢复。
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