公开(公告)号：CN104039230A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201380004673.8

申请日：2013-09-25

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝医疗系统株式会社

Inventor： 及川大造 ,  石山文雄

IPC: A61B6/03

CPC classification number: H01J35/025 ,  A61B6/032 ,  A61B6/405 ,  A61B6/4241 ,  A61B6/54 ,  A61B6/542 ,  A61B6/58 ,  G05F1/10 ,  G05F1/565 ,  H01J37/241 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/2487 ,  H05G1/32 ,  H05G1/46

Abstract: 提供一种使放射的X射线的光子能量分布平坦化的X射线CT装置。是具备X射线管、检测器、数据收集部、管电压发生部、以及栅极控制部的X射线CT装置。X射线管朝向被检体放射X射线。检测器具备多个检测构成X射线的光子的检测元件。数据收集部对检测出的光子的数量进行计数，收集基于其结果的投影数据。管电压发生部在规定的周期内边使管电压变化边向X射线管施加。管电流控制部在管电压增大了的情况下，使管电流减少，在管电压减少了的情况下，使管电流增大。由此，使从X射线管放射的X射线的光子能量分布平坦化。

公开(公告)号：CN103765545A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280040083.6

申请日：2012-07-19

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 可劳斯·贝克 ,  可劳斯·派崔 ,  皮尔·卢比克

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/241 ,  H01J27/022 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/0206 ,  H02H9/02

Abstract: 本发明揭示一种与离子源组合件一起使用的浪涌保护系统。所述系统包括与热离子二极管或热离子三极管以及离子源组合件串联耦合的高压电源。所述高压电源供应器封闭在压力槽中并且驱动所述离子源组合件。所述热离子二极管或三极管包括安置在离子源组合件罩壳与高压电源供应器的输出端之间的绝缘管并且利用现有离子源组合件组件来限制在所述离子源组合件的电弧故障期间对所述电源供应器的破坏。

公开(公告)号：CN104508790A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201380038609.1

申请日：2013-07-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 皮尔·卢比克 ,  克里斯多夫·里维特 ,  提摩太·米勒 ,  具本雄

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/24 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/026 ,  H01J37/241 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24564

Abstract: 本发明揭示了一种离子植入系统和方法，其中通过在植入机中使用已调变电源系统(230)，来最小化电压中的突波。已调变电源系统包括传统电源(300)以及与各电源相连的控制单元(310)，其中控制单元用于在检测到突波或电弧时通过源开关(321)使电源与电极绝缘，且通过闭合放电开关(331)使得电极上的任何电荷快速消散至接地。随后在突波情况被改善之后，控制单元使电源与电极之间的连接恢复。

公开(公告)号：CN104364878A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380030519.8

申请日：2013-05-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大西崇 ,  渡边俊一 ,  金田实

IPC: H01J37/248 ,  H01J37/067 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J27/024 ,  H01J29/485 ,  H01J37/026 ,  H01J37/067 ,  H01J37/073 ,  H01J37/16 ,  H01J37/241 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/16

Abstract: 本发明的带电粒子束产生装置具备：带电粒子源；沿着来自带电粒子源的带电粒子的照射方向配置的多个第一电极；配置在第一电极之间的多个绝缘部件；以及设置在多个第一电极周围的壳体。壳体由绝缘性的固体材料形成，壳体具备配置在接近多个第一电极的位置上的多个第二电极。多个第二电极中的至少一个第二电极与多个第一电极中的至少一个第一电极电连接，多个第二电极中的各个第二电极成为与接近的第一电极的电位相同的电位。

公开(公告)号：CN107359102A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201710159377.5

申请日：2017-03-17

Applicant: 株式会社爱德万测试

Inventor： 黑川正树 ,  佐藤高雅 ,  小岛信一 ,  山田章夫

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/147 ,  H01J37/241 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/141 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/1526 ,  H01J2237/20285 ,  H01J37/3007 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明提供多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置，其中，每个柱的带电粒子束的特性的差异较小。在具有多个产生带电粒子束的柱部(122)的多柱式带电粒子束曝光装置中，柱部(122)具有：磁轭(53)，其由磁性体构成，绕柱的光轴产生规定的强度分布的磁场；和线圈部(52)，其卷绕于该磁轭(53)。该线圈部(52)由分割出的多个绕组(52a、52b)构成，且分别被不同的电源(A1～A3)驱动。

公开(公告)号：CN104813435B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380060603.4

申请日：2013-09-30

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 威廉·T·理威 ,  乔治·M·葛梅尔 ,  具本雄 ,  布兰特·S·宾斯 ,  理查尔·M·怀特

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/248 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32

CPC classification number: C23C14/48 ,  C23C14/021 ,  C23C14/022 ,  C23C14/048 ,  C23C14/5826 ,  H01J37/241 ,  H01J37/243 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32412 ,  H01J37/32935 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/24535 ,  H01L2224/81913

Abstract: 描述一种离子布植机的维护方法。在一实施例中，进行电浆辅助调节，其中修正对萃取电极施加的偏压以抑制离子束的形成。增加供应至离子源中的电浆产生器的功率，从而产生高密度电浆，所述高密度电浆不被萃取电极所萃取。所述电浆从离子源腔室延伸经过萃取孔，接着高能离子调节萃取电极。在另一实施例中，进行电浆辅助清洁。在此模式下，将萃取电极移动至离离子源腔室更远的位置上且使用不同的源气体用来产生电浆。在一些实施例中，将所述模式的结合用来减少离子布植机中的故障。

公开(公告)号：CN105321791A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510401577.8

申请日：2015-07-09

Applicant: 住友重机械离子技术有限公司

Inventor： 香川唯信 ,  弓山敏男 ,  黑濑猛

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/241 ,  H01J37/3171

Abstract: 一种离子注入装置及离子注入装置的控制方法，提高施加于电极装置的电压的精度。本发明的离子注入装置具备：高电压电源(90)；控制装置(104)，生成控制高电压电源的输出电压(HVO)的指令信号；电极装置(80)，施加有输出电压；及测定装置(120),用于测量施加于电极装置的实际电压(HVR)。控制装置包括：第1生成部(110)，生成用于使高电压电源输出目标电压的第1指令信号；第2生成部(112)，生成第2指令信号，第2指令信号对第1指令信号进行补偿，以使由测定装置测量的实际电压成为目标电压或接近目标电压的电压；及指令部(114)，向高电压电源输出合成第1指令信号及第2指令信号而获得的合成指令信号。

公开(公告)号：CN107533944A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201580079435.2

申请日：2015-05-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 利根正纯 ,  任田浩 ,  大西富士夫

IPC: H01J37/248 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/241 ,  H01J37/08 ,  H01J37/18 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/248 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2448

Abstract: 在具备离子泵的带电粒子束装置中，能够使离子泵的电源的低频噪声充分地降低而对真空度高精度地进行计量。离子泵(2)的驱动电源部(1)构成为，具备：高压电源电路部(101‑112)，其使离子泵(2)工作；负荷电流检测电路部(130)，其对向离子泵(2)施加的负荷电流进行检测；以及消除电路部(140)，其使施加于负荷电流检测电路部(130)的低频噪声降低。

公开(公告)号：CN107454978A

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201680009034.4

申请日：2016-01-26

Applicant: 通快许廷格有限公司

Inventor： P·瓦赫 ,  M·泽莱科斯基

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/34 ,  G01R31/12

CPC classification number: H01J37/3476 ,  G01R31/1254 ,  H01J37/241 ,  H01J37/244 ,  H01J37/32944 ,  H01J37/3444 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/3322

Abstract: 一种电弧处理设备(14)包括：a.电弧检测设备(21)，其检测等离子体腔(30)中是否存在电弧；b.电弧能量确定设备(22)，其用于确定电弧能量值，所述电弧能量值是对应于当所述等离子体腔(30)中存在所述电弧时被供应到所述等离子体腔(30)的能量的值；c.切断时间确定设备(24)，其用于根据所确定的电弧能量值确定切断时间。

公开(公告)号：CN104039230B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201380004673.8

申请日：2013-09-25

Applicant: 东芝医疗系统株式会社

Inventor： 及川大造 ,  石山文雄

IPC: A61B6/03

CPC classification number: H01J35/025 ,  A61B6/032 ,  A61B6/405 ,  A61B6/4241 ,  A61B6/54 ,  A61B6/542 ,  A61B6/58 ,  G05F1/10 ,  G05F1/565 ,  H01J37/241 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/2487 ,  H05G1/32 ,  H05G1/46

Abstract: 提供一种使放射的X射线的光子能量分布平坦化的X射线CT装置。是具备X射线管、检测器、数据收集部、管电压发生部、以及栅极控制部的X射线CT装置。X射线管朝向被检体放射X射线。检测器具备多个检测构成X射线的光子的检测元件。数据收集部对检测出的光子的数量进行计数，收集基于其结果的投影数据。管电压发生部在规定的周期内边使管电压变化边向X射线管施加。管电流控制部在管电压增大了的情况下，使管电流减少，在管电压减少了的情况下，使管电流增大。由此，使从X射线管放射的X射线的光子能量分布平坦化。