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公开(公告)号:CN103430275A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201280013818.6
申请日:2012-02-21
Applicant: 电气化学工业株式会社
IPC: H01J37/06 , H01L21/027
CPC classification number: H01R43/26 , H01J3/02 , H01J37/06 , H01J37/065 , H01J37/067 , H01J37/07 , H01J37/08 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明是一种预先将阴极(1)和阳极(9)组入进行组装并且能够在将所述阴极和所述阳极组入了的状态下进行保管和输送的带电粒子枪(EG),其特征在于,在保管和输送所述带电粒子枪时,用导体(11)连接所述阴极和所述阳极。由此,能够防止由于在保管和输送过程中产生的静电所引起的放电导致带电粒子枪的电极前端受损。