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公开(公告)号：CN103430275A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201280013818.6
申请日：2012-02-21
Applicant: 电气化学工业株式会社
IPC: H01J37/06 , H01L21/027
CPC classification number: H01R43/26 , H01J3/02 , H01J37/06 , H01J37/065 , H01J37/067 , H01J37/07 , H01J37/08 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明是一种预先将阴极（1）和阳极（9）组入进行组装并且能够在将所述阴极和所述阳极组入了的状态下进行保管和输送的带电粒子枪（EG），其特征在于，在保管和输送所述带电粒子枪时，用导体（11）连接所述阴极和所述阳极。由此，能够防止由于在保管和输送过程中产生的静电所引起的放电导致带电粒子枪的电极前端受损。
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公开(公告)号：CN101019201B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200580017796.0
申请日：2005-05-13
Applicant: 纳米束有限公司
Inventor： 张涛
CPC classification number: H01J3/027 , H01J1/16 , H01J1/18 , H01J37/065 , H01J37/067
Abstract: 电子枪(1)包括发射器(2)，管状支撑件(3)和用于容纳发射器的接合器(4)。接合器包括锥形插接表面(7)并且管状支撑件包括相应的锥形支座表面(9)用于容纳插接表面。插接表面和支座表面具有圆锥形的外形，这有助于将接合器定位成与支撑件同中心。
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公开(公告)号：CN101128909A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200680006079.2
申请日：2006-02-23
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/023 , H01J37/067
Abstract: 本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，从而可以通过插入到塞孔中的螺栓或凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。
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公开(公告)号：CN1037615A
公开(公告)日：1989-11-29
申请号：CN89101491.8
申请日：1989-03-15
Applicant: 特斯拉公司
Inventor： 埃米尔·弗拉特尼切克
IPC: H01J37/06 , H01J37/063
CPC classification number: H01J37/067
Abstract: 一种主要用于电子显微镜的电子枪组件，它由一个设置在文纳尔圆柱电极(2)里的阴极和一个与阴极相对地设置并带有一个中心孔的阳极构成。文纳尔圆柱电极(2)固定在钟形高压真空衬套(1)的顶部，高压真空衬套(1)以其开端可滑动地安置在阳极体(6)上，阳极体(6)与高压真空衬套(1)之间的槽口(5)内所有真空密封装置(4)。
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公开(公告)号：CN104364878A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380030519.8
申请日：2013-05-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/248 , H01J37/067 , H01J37/16
CPC classification number: H01J37/04 , H01J27/024 , H01J29/485 , H01J37/026 , H01J37/067 , H01J37/073 , H01J37/16 , H01J37/241 , H01J37/248 , H01J2237/16
Abstract: 本发明的带电粒子束产生装置具备：带电粒子源；沿着来自带电粒子源的带电粒子的照射方向配置的多个第一电极；配置在第一电极之间的多个绝缘部件；以及设置在多个第一电极周围的壳体。壳体由绝缘性的固体材料形成，壳体具备配置在接近多个第一电极的位置上的多个第二电极。多个第二电极中的至少一个第二电极与多个第一电极中的至少一个第一电极电连接，多个第二电极中的各个第二电极成为与接近的第一电极的电位相同的电位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101019201A
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200580017796.0
申请日：2005-05-13
Applicant: 纳米束有限公司
Inventor： 张涛
CPC classification number: H01J3/027 , H01J1/16 , H01J1/18 , H01J37/065 , H01J37/067
Abstract: 电子枪(1)包括发射器(2)，管状支撑件(3)和用于容纳发射器的接合器(4)。接合器包括锥形插接表面(7)并且管状支撑件包括相应的锥形支座表面(9)用于容纳插接表面。插接表面和支座表面具有圆锥形的外形，这有助于将接合器定位成与支撑件同中心。
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公开(公告)号：CN1794092A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510126974.5
申请日：2005-11-29
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: H01J37/067 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/22 , H01J37/145 , H01J37/304 , H01J37/3174 , H01J2237/31776 , H01J2237/31777 , H01J2237/31781
Abstract: 本发明提供一种电磁聚焦装置和使用该电磁聚焦装置的电子束光刻系统，其能够通过移动极片的中心部分调节电磁场的均匀性。该电磁聚焦装置控制从电子束光刻系统的电子束发射器产生的电子束的路径。在该电磁聚焦装置中，磁场生成器形成真空室中的磁场，该真空室围绕出晶片安装于其中的空间。上和下极片分别穿透该真空室的顶和底壁，彼此面对地安装，且将形成在磁场生成器处的磁场施加到该真空室中。真空室中磁场的均匀性可以通过该上和下极片相对于该真空室的垂直移动来调节。
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公开(公告)号：CN103430275B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201280013818.6
申请日：2012-02-21
Applicant: 电化株式会社
IPC: H01J37/06 , H01L21/027
CPC classification number: H01R43/26 , H01J3/02 , H01J37/06 , H01J37/065 , H01J37/067 , H01J37/07 , H01J37/08 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明是一种预先将阴极（1）和阳极（9）组入进行组装并且能够在将所述阴极和所述阳极组入了的状态下进行保管和输送的带电粒子枪（EG），其特征在于，在保管和输送所述带电粒子枪时，用导体（11）连接所述阴极和所述阳极。由此，能够防止由于在保管和输送过程中产生的静电所引起的放电导致带电粒子枪的电极前端受损。
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公开(公告)号：CN105171585A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510491286.2
申请日：2015-08-11
Applicant: 攀枝花云钛实业有限公司
IPC: B24B29/04
CPC classification number: H01J37/067 , H01J9/505 , H01J37/065 , H01J37/305 , H01J2237/022 , B24B29/04
Abstract: 一种电子束冷床熔炼炉气体放电电子枪阴极块的清洗方法，其特征是利用车床调到合适的转速550转及其合理规格的砂纸(水磨砂纸)来清理阴极块，以此来提高阴极的使用寿命、增加电子枪光束的稳定性及其降低电子束的能量损失。本发明的有益效果是，使电子枪能稳定的工作并提高工作效率同时提高阴极的使用寿命，从而为企业降本增效打下坚实的基础。
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公开(公告)号：CN101128909B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200680006079.2
申请日：2006-02-23
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/023 , H01J37/067
Abstract: 本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，从而可以通过插入到塞孔中的螺栓或凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。
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