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    压阻微机械传感器器件以及相应的测量方法
    1.
    发明授权
    压阻微机械传感器器件以及相应的测量方法 失效 复审申请

    公开(公告)号：CN102792169B

    公开(公告)日：2016-10-19

    申请号：CN201180014220.4

    申请日：2011-01-19

    Applicant: 罗伯特·博世有限公司

    Inventor： R.诺伊尔 ,  C.雷蒂希 ,  A.特劳特曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  A.鲁曼 ,  M.恩格泽 ,  A.费伊

    IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12

    CPC classification number: G01P15/09 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/12 ,  G01P15/123

    Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有：衬底（1）；在衬底（1）上能偏转地悬挂的抗震质量（3）；至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’），所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化；其中压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’）具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线（2a，2b；2a’,2b’），所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中；以及测量装置（M1；M2；M1’;M1’’），该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化，所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。

    用于测量旋转率的微型机械传感器以及相应的方法
    2.
    发明公开
    用于测量旋转率的微型机械传感器以及相应的方法 有权

    公开(公告)号：CN102589539A

    公开(公告)日：2012-07-18

    申请号：CN201110432509.X

    申请日：2011-12-21

    Applicant: 罗伯特·博世有限公司

    Inventor： T.奥姆斯 ,  R.舍本 ,  T.林德曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  B.施密特

    IPC: G01C19/5712 ,  B81C1/00

    CPC classification number: G01C19/5747

    Abstract: 本发明涉及一种用于测量旋转率的微型机械传感器。所述微型机械传感器包括：-第一和第二地震质量，其中，第一和第二地震质量借助弹簧元件彼此连接，-用于在第一平面中驱动第一和第二地震质量的第一和第二驱动装置，其中，至少一个驱动装置基本以恒定的间距与至少其中一个地震质量连接，-用于补偿垂直于第一平面地作用到第一和/或第二驱动装置的干扰力的补偿装置。本发明也涉及一种用于测量旋转率的方法，用于制造微型机械传感器的方法，以及微型机械传感器的应用。

    用于测量旋转率的微型机械传感器以及相应的方法
    4.
    发明授权
    用于测量旋转率的微型机械传感器以及相应的方法 有权

    公开(公告)号：CN102589539B

    公开(公告)日：2017-01-18

    申请号：CN201110432509.X

    申请日：2011-12-21

    Applicant: 罗伯特·博世有限公司

    Inventor： T.奥姆斯 ,  R.舍本 ,  T.林德曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  B.施密特

    IPC: G01C19/5712 ,  B81C1/00

    CPC classification number: G01C19/5747

    Abstract: 本发明涉及一种用于测量旋转率的微型机械传感器。所述微型机械传感器包括：-第一和第二地震质量，其中，第一和第二地震质量借助弹簧元件彼此连接，-用于在第一平面中驱动第一和第二地震质量的第一和第二驱动装置，其中，至少一个驱动装置基本以恒定的间距与至少其中一个地震质量连接，-用于补偿垂直于第一平面地作用到第一和/或第二驱动装置的干扰力的补偿装置。本发明也涉及一种用于测量旋转率的方法，用于制造微型机械传感器的方法，以及微型机械传感器的应用。

    压阻微机械传感器器件以及相应的测量方法
    5.
    发明公开
    压阻微机械传感器器件以及相应的测量方法 失效 复审申请

    公开(公告)号：CN102792169A

    公开(公告)日：2012-11-21

    申请号：CN201180014220.4

    申请日：2011-01-19

    Applicant: 罗伯特·博世有限公司

    Inventor： R.诺伊尔 ,  C.雷蒂希 ,  A.特劳特曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  A.鲁曼 ,  M.恩格泽 ,  A.费伊

    IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12

    CPC classification number: G01P15/09 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/12 ,  G01P15/123

    Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有：衬底（1）；在衬底（1）上能偏转地悬挂的抗震质量（3）；至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’），所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化；其中压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’）具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线（2a，2b；2a’,2b’），所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中；以及测量装置（M1；M2；M1’;M1’’），该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化，所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。

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