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公开(公告)号：CN1473349A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818500.2
申请日：2001-08-17
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个粒子充电系统(12)，用于在离子束通过的区域中对粒子充电。在充电区域的下游处产生一个电场(50)以便促使带电粒子离开离子束(16)的行进方向(18)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100375218C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN01818500.2
申请日：2001-08-17
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个粒子充电系统(12)，用于在离子束通过的区域中对粒子充电。在充电区域的下游处产生一个电场(50)以便促使带电粒子离开离子束(16)的行进方向(18)。
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公开(公告)号：CN1473347A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818486.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。
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公开(公告)号：CN100468604C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN01818486.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。
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公开(公告)号：CN1311509C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN01818276.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束(44)的传输的系统(10)，所述系统(10)包括：一对电极(14、16)，所述电极(14、16)提供离子束(44)从中行进的相反的电场(26、28、30、32)。当微粒(60)行进过第一电场(26、28)时，离子束(44)中所携带的微粒(60)被带以与离子束(44)极性相匹配的电荷。下游电极(16)提供具有另一个电场(30、32)，以便于排斥带正电荷的微粒(60)远离射束行进方向的下游。
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公开(公告)号：CN1473346A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818276.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束(44)的传输的系统(10)，所述系统(10)包括：一对电极(14、16)，所述电极(14、16)提供离子束(44)从中行进的相反的电场(26、28、30、32)。当微粒(60)行进过第一电场(26、28)时，离子束(44)中所携带的微粒(60)被带以与离子束(44)极性相匹配的电荷。下游电极(16)提供具有另一个电场(30、32)，以便于排斥带正电荷的微粒(60)远离射束行进方向的下游。
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