-
公开(公告)号：CN1133484A
公开(公告)日：1996-10-16
申请号：CN95119911.0
申请日：1995-10-26
Applicant: 西门子公司
Inventor： E·普赖斯
CPC classification number: H01J37/1477 , H01J35/02 , H01J37/05 , H01J49/288 , H01J49/48
Abstract: 本发明的对象是一个垂直于电子束轴线(OA)定向的产生EXB场的偏转单元(韦氏滤波器)，它只将强大的横向力作用到带正电的气体离子上，但并不影响电子的运动。这个致偏单元主要包括两个处于固定电位(Vo)的管电极(RA，PE)，一个静电八极偏转器(ED)和两个环形包围着这个八极偏转器(ED)的马鞍形线圈对(SPI，SPA)。
-
公开(公告)号：CN114051428A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202080042186.0
申请日：2020-05-21
Applicant: 莫比莱昂系统有限公司
IPC: B01D59/44 , G01N27/622 , H01J3/40 , H01J49/42
Abstract: 一种装置，包括第一表面、第二表面和控制器。第一表面和第二表面在两者间限定第一离子通道。第二表面包括第一多个电极，其具有间隔开的第一电极和第二电极，并且被配置为接收第一电压信号并生成抑制第一离子通道中的离子接近第二表面的赝势。第二多个电极位于第一电极与第二电极之间，并且被配置为接收第二电压信号以生成被配置为沿第一离子通道引导离子的第一行进驱动电势。控制器被配置为生成第一电压信号和第二电压信号。
-
公开(公告)号：CN103119684A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201180045433.3
申请日：2011-09-30
Applicant: 纳峰科技私人有限公司
CPC classification number: H01J3/40 , B01D45/04 , C23C4/134 , H01J37/32055 , H01J37/32422 , H01J37/32871 , H01J2237/15
Abstract: 用于从等离子束中过滤大粒子的过滤器，该过滤器包括用于运送等离子束的弯曲管道，弯曲管道包括中间部分，中间部分的一端连接至具有设置于入口平面上的纵向轴线的入口部分并且另一相对端连接至具有设置于出口平面上的纵向轴线的出口部分，入口部分允许包含大粒子的等离子束以入射方向朝向中间部分行进，出口部分允许等离子束从中间部分以出射方向行进，中间部分被配置为使入射方向以超过90°的角度偏离至出射方向，以便当等离子束穿过中间部分时从等离子束中移除大粒子，其中入口平面与出口平面被设置为彼此成偏移角。
-
公开(公告)号：CN114728237A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080085308.4
申请日：2020-10-09
Applicant: 印地安纳大学理事会
Abstract: 一种用于纯化粒子的方法，从样本中产生带电粒子，测量所产生的带电粒子的质量、电荷大小和迁移率中的至少一者，并且选择性地将所测量的带电粒子中的具有以下各者中的至少一者的每个带电粒子传递到粒子收集靶：（a）等于选定质量或者在选定粒子质量范围内的测量质量，（b）等于选定电荷大小或在选定电荷大小范围内的测量电荷大小，（c）等于选定质荷比或在选定质荷比范围内的质荷比，以及（d）等于选定迁移率或在选定迁移率范围内的测量迁移率。在一些实施例中，可以收获和扩增所收集的粒子。
-
公开(公告)号：CN1473347A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818486.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112652509A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011614982.5
申请日：2020-12-31
Applicant: 南京大学 , 南京质子源工程技术研究院有限公司 , 江苏安德信超导加速器科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极，属于离子源技术领域，包括从前至后依次设置的阳极、前隔套、抑制电极、后隔套、地电极和法兰盘；前隔套与后隔套均为陶瓷隔套。本发明是一种可抑制二次电子回到离子源的双等离子体离子源质子引出的引出电极。
-
公开(公告)号：CN102473575A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080031271.3
申请日：2010-07-15
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 奈尔·卡尔文
IPC: H01J37/09 , H01J37/317 , H01J3/40 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/09 , H01J2237/0041 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 提供一种用于在离子植入系统中减少粒子污染的设备。该设备包括外壳(250)，该外壳具有入口(260)、出口(262)和至少一个进气口叶片侧(264)，所述至少一个进气口叶片侧具有在其内限定的多个进气口叶片(266)。离子植入系统的射束线(P)通过该入口和出口，其中所述至少一个进气口叶片侧的多个进气口叶片被配置成机械地过滤沿射束线行进的离子束的边缘。该外壳可具有两个进气口叶片侧(254A，B)和一个进气口叶片顶部(278)，其中当垂直于该射束线测量时，该外壳的入口和出口的各自的宽度大致由两个进气口叶片侧相对于彼此的位置限定。所述进气口叶片侧的一个或多个可调整地安装，其中该外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度可控制。
-
公开(公告)号：CN112652509B
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202011614982.5
申请日：2020-12-31
Applicant: 南京大学 , 南京质子源工程技术研究院有限公司 , 安德信科技集团有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极，属于离子源技术领域，包括从前至后依次设置的阳极、前隔套、抑制电极、后隔套、地电极和法兰盘；前隔套与后隔套均为陶瓷隔套。本发明是一种可抑制二次电子回到离子源的双等离子体离子源质子引出的引出电极。
-
公开(公告)号：CN102473575B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201080031271.3
申请日：2010-07-15
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 奈尔·卡尔文
IPC: H01J37/09 , H01J37/317 , H01J3/40 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/09 , H01J2237/0041 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 提供一种用于在离子植入系统中减少粒子污染的设备。该设备包括外壳(250)，该外壳具有入口(260)、出口(262)和至少一个进气口叶片侧(264)，所述至少一个进气口叶片侧具有在其内限定的多个进气口叶片(266)。离子植入系统的射束线(P)通过该入口和出口，其中所述至少一个进气口叶片侧的多个进气口叶片被配置成机械地过滤沿射束线行进的离子束的边缘。该外壳可具有两个进气口叶片侧(254A，B)和一个进气口叶片顶部(278)，其中当垂直于该射束线测量时，该外壳的入口和出口的各自的宽度大致由两个进气口叶片侧相对于彼此的位置限定。所述进气口叶片侧的一个或多个可调整地安装，其中该外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度可控制。
-
公开(公告)号：CN100468604C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN01818486.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
266
records
(took 0.032 seconds)
