公开(公告)号：WO2021172746A1

公开(公告)日：2021-09-02

申请号：PCT/KR2021/000444

申请日：2021-01-13

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  박종선 ,  구준모 ,  김근희

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  F16K51/02 ,  F16K31/12

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 리텐션 밸브를 이용한 원자층 증착 공정의 흐름 정체 시스템은 기판과 반응유체를 수용하기 위한 내부공간을 가지는 증착 챔버; 상기 증착 챔버의 내부공간으로 반응유체를 공급하는 유체 공급기; 상기 증착 챔버를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프; 상기 증착 챔버에서 상기 진공 펌프로 반응유체가 이동하도록 유로를 제공하는 가스 라인; 상기 가스 라인과 연통되고, 상기 증착 챔버에 수용된 반응유체의 머무름 시간을 조절하는 리텐션 밸브; 및 상기 리텐션 밸브의 작동을 제어하는 컨트롤러를 포함한다.

公开(公告)号：WO2022114843A1

公开(公告)日：2022-06-02

申请号：PCT/KR2021/017613

申请日：2021-11-26

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  김동환 ,  김근희 ,  정헌준

IPC: H01M8/1213 ,  H01M4/86 ,  H01M4/88

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 연료전지의 수축률 제어를 위한 음극 구조체는 다공성 구조를 갖는 음극 지지체; 상기 음극 지지체의 휨 현상을 방지하도록, 상기 음극 지지체의 하면에 기 설정된 두께로 배치되는 수축 상쇄층; 상기 음극 지지체의 상면에 배치되되, 음극 기능층과 전해질층으로 구성된 적층체를 포함한다.