公开(公告)号：WO2021172746A1

公开(公告)日：2021-09-02

申请号：PCT/KR2021/000444

申请日：2021-01-13

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  박종선 ,  구준모 ,  김근희

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  F16K51/02 ,  F16K31/12

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 리텐션 밸브를 이용한 원자층 증착 공정의 흐름 정체 시스템은 기판과 반응유체를 수용하기 위한 내부공간을 가지는 증착 챔버; 상기 증착 챔버의 내부공간으로 반응유체를 공급하는 유체 공급기; 상기 증착 챔버를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프; 상기 증착 챔버에서 상기 진공 펌프로 반응유체가 이동하도록 유로를 제공하는 가스 라인; 상기 가스 라인과 연통되고, 상기 증착 챔버에 수용된 반응유체의 머무름 시간을 조절하는 리텐션 밸브; 및 상기 리텐션 밸브의 작동을 제어하는 컨트롤러를 포함한다.

公开(公告)号：WO2020262864A1

公开(公告)日：2020-12-30

申请号：PCT/KR2020/007687

申请日：2020-06-15

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  박희등 ,  박종선 ,  김범준 ,  박강희 ,  구준모

IPC: B01J35/00 ,  B01J37/02 ,  B01J35/02

Abstract: 본 발명은 이종 촉매 구조체에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 이종 촉매 구조체는, 광촉매 활성을 가지는 나노 와이어 구조체와; 상기 나노 와이어 구조체에 도포되고, 금속 재질로 제공되는 촉매를 포함하되, 상기 금속 재질은 상기 나노 와이어 구조체를 이루는 물질과 상호작용하여 촉매활성을 증진시키는 금속으로 제공된다.

公开(公告)号：KR1020160131294A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：KR1020150063312

申请日：2015-05-06

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  한권덕 ,  네오케체안 ,  구준모

IPC: C09D11/30 ,  C09D11/322 ,  C09D11/326

Abstract: 세라믹잉크조성물은함량이조절된분산제및 계면활성제를포함하는첨가제를포함한다. 일실시예에따른수계세라믹잉크조성물구성에있어물 89-93 중량%, 세라믹파우더 4-6 중량%, 폴리머첨가제 1-6 중량% 으로이루어진것을특징으로할 수있다.

公开(公告)号：KR1020160150422A

公开(公告)日：2016-12-30

申请号：KR1020150088381

申请日：2015-06-22

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  구준모 ,  한권덕

IPC: H01L35/34 ,  H01L35/02 ,  H01L35/16 ,  H01L35/18

Abstract: 본발명은잉크젯프린팅을이용한열전박막모듈의제조방법및 이로부터제조된열전박막모듈에관한것으로서, 더욱구체적으로는, 기판상에 n형열전소자및 p형열전소자를잉크젯프린팅에의해서형성하는단계; 및상기 n형열전소자의말단및 상기 p형열전소자의말단을전기적으로연결하는전극을형성하는단계를포함하는열전박막모듈의제조방법및 이로부터제조된열전박막모듈에관한것이다. 본발명에따르면, n형열전소자와 p형열전소자들을다양한기판위에수평으로증착할수 있으며, 컴퓨터프로그램을사용하여제작된이미지및 텍스트를잉크젯프린팅으로간단히구현할수 있으므로별도의마스크혹은패터닝공정없이열전소자들및 접합을위한전극물질을반영구적으로기판위에증착할수 있고, 따라서낮은공정비용및 원재료낭비최소화를구현할수 있으며, 기판에거의손상을입히지않으면서간이한방법으로열전박막모듈을제조할수 있다.

公开(公告)号：KR1020160150390A

公开(公告)日：2016-12-30

申请号：KR1020150088310

申请日：2015-06-22

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  구준모 ,  한권덕

IPC: C09D11/30 ,  B41J2/01 ,  H01L35/12

Abstract: 본발명은전도성폴리머와금속입자기반잉크조성물및 그제조에관한것으로, 열전박막소자제작을위한잉크젯프린팅용열전물질잉크조성물에관한것으로서, 더욱구체적으로는, 용매; 금속분말; 및전도성고분자를포함하는잉크젯프린팅용열전물질잉크조성물, 그제조방법, 이를이용한열전박막소자및 열전박막모듈에관한것이다. 본발명에따르면, 저렴한비용으로, 높은안정성및 환경친화성으로열전소자를생산해낼수 있는잉크젯프린팅용잉크를제공할수 있다. 더나아가, 본발명에따른잉크젯프린팅용잉크는간단한공정에의해서제조가가능하며, 재현성이우수한바, 원하는패턴으로다양한기판에증착적용이가능하여열전소자제작및 열전발전등과같은다양한분야에폭넓게활용될수 있다.

公开(公告)号：KR1020160131291A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：KR1020150063304

申请日：2015-05-06

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  한권덕 ,  네오케체안 ,  구준모

IPC: C09D11/30 ,  C09D11/10 ,  C09D11/106 ,  C09D11/322 ,  C09D11/037

Abstract: 세라믹잉크조성물은물 89-93 중량%, 세라믹나노파우더 4-6 중량%, 폴리머첨가제 1-6 중량%의조성에세라믹나노파우더대비 30 중량% 이하의폴리머바인더를추가로함유한다.