Abstract:
슬라이딩 전이 방법을 이용한 나노선 패턴의 전이 방법 및 이를 위한 나노선 패턴 전이 장치에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 나노선 패턴 전이 방법은 (a)제1기판 상에 PMMA 패턴을 형성하는 단계; (b)제2기판에 나노선을 형성하는 단계; 및 (c)상기 제1기판 및 제2기판 중 어느 하나의 기판을 고정하고, 다른 하나의 기판을 슬라이딩시켜, 제2기판에 형성된 나노선을 제1기판의 PMMA 패턴 상에 전이하는 단계를 포함하여 이루어진다. 한편, 본 발명에 따른 슬라이딩 전이 장치는 상부판 및 하부판이 연직방향의 복수의 지지대로 연결되는 구조를 갖는 하우징; 상기 상부판을 관통하여 형성되며, 상기 제1기판과 상기 제2기판의 간격을 조절하는 높이 조절부; 상기 높이 조절부 하부에 형성되며, 상기 제2기판이 고정되는 상부 홀더; 상기 하부판 상에 형성되며, xy 좌표에서 이동하는 슬라이딩 스테이지부; 상기 슬라이딩 스테이지부 상에 형성되며, 상기 제1기판이 고정되는 하부 홀더; 및 상기 슬라이딩 스테이지부의 이동을 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진다.
Abstract:
본 발명은 고분자 도장을 이용한 기판 코팅 방법에 관한 것이다. 본 발명은 제1 패턴을 갖는 실리콘 마스터를 제공하는 단계, 상기 실리콘 마스터를 주형으로 상부측에 상기 제1 패턴과 역방향의 패턴(제2 패턴)을 갖는 고분자 도장을 형성하는 단계, 상기 고분자 도장의 제2 패턴 영역에 클로로포름에 용해되는 고분자 막을 전이시키는 단계 및 미리 설정된 조건 하에서, 미세접촉인쇄를 이용하여 상기 고분자 도장의 고분자 막을 기판 상에 전이시키는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면 간단한 공정으로 기판 상에 고분자 막을 형성할 수 있는 장점이 있다. 랑뮈어-쉐퍼, 미세접촉인쇄, 고분자, PMMA, 고분자 도장, 패시베이션층
Abstract:
A nanowire thin film, a manufacturing method thereof and an electric component including the same are provided to facilitate the change or arrangement of the orientation and length of a nanowire. A method for fabricating a nanowire thin film comprises: a first step of pre-treating a stamp(100) so that a nanowire dispersing solution is coated on the stamp; a second step of coating the nanowire dispersing solution on the stamp having a concave part(110) and convex part(120); a third step of blowing a gas into the nanowire dispersing solution in order to arrange the nanowire(140); and a fourth step of contacting the stamp to a substrate so as to print the nanowire arranged on the convex part of the stamp on the substrate. The nanowire dispersing solution is obtained by a sol-gel synthesis method.
Abstract:
A substrate coating method using the high polymer stamp is provided, which performs the role of the improved barrier by uniformly forming the passivation layer. The silicon master having the first pattern is provided(S100). A high polymer stamp having the first pattern and second pattern is formed(S102). The polymer film dissolved in the chloroform transfers in the second pattern region of the high polymer stamp(S104). The polymer film of the high polymer stamp transfers in the top of the substrate(S106). The thermal process is performed according to use after removing the high polymer stamp from substrate(S108). The PMMA film is removed by using the acetone and supersonic vibration(S110).
Abstract:
나노선 박막, 그 제조 방법, 그 제조장치 및 이를 포함하는 전자소자가 제공된다. 본 발명에 따른 나노선 박막 제조방법은 오목부 및 볼록부를 포함하는 스탬프 상에 나노선 분산 용액을 도포시키는 단계; 상기 스탬프 상의 나노선 용액에 기체를 블로잉하여, 상기 나노선을 정렬시키는 단계; 및 상기 스탬프를 기판에 접촉시켜 상기 스탬프의 볼록부 상에 정렬된 나노선을 상기 기판에 프린팅하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 나노선 박막의 제조방법은 나노선의 배향구조, 나노선의 길이 등을 간단한 설계변경에 따라 달성할 수 있으며, 종래의 기술이 가지는 공정 의 한계를 극복할 수 있다. 또한, 본 발명에 따라 제조된 나노선 박막, 소오스 및 드레인 전극을 포함하는 전자 소자는 전기적 특성이 안정적이다는 장점이 있다
Abstract:
PURPOSE: A pattern formation method of a nanowire growing catalyst, a nanowire formation method using thereof, and a nano wire device using a nanowire produced therefrom are provided to pattern the nanowire without a separate patterning process. CONSTITUTION: A pattern formation method of a nanowire growing catalyst comprises the following: forming a nanoparticle monolayer formed with a nanoparticle(220) on a second solvent(210) using a Langmuir-Schaffer method; contacting a polymer stamp(230) formed with a pattern(231) on the surface with the nanoparticle monolayer to absorb the nanoparticle to the pattern; and contacting the absorbed nanoparticle with a substrate(240) to print the nanoparticle to the substrate.