수직형 질화물계 발광소자 및 그 제조방법
    5.
    发明授权
    수직형 질화물계 발광소자 및 그 제조방법 有权
    氮化物发光器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR100910365B1

    公开(公告)日:2009-08-04

    申请号:KR1020070056871

    申请日:2007-06-11

    Abstract: 본 발명은 수직형 질화물계 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인듐이 도핑된 질화갈륨 버퍼층을 이용하여 극성이 바뀐 질화갈륨 클래딩층을 포함하는 질화물계 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
    본 발명은 N형 지지물질층, N형 반사막 오믹컨택층, N형 질화갈륨 클래딩층, 활성층, P형 질화갈륨 클래딩층 및 P형 투명 오믹컨택층이 차례대로 적층되어 있는 단면구조를 가지는 수직형 질화물계 발광소자에 있어서, 상기 활성층과 P형 질화갈륨 클래딩층 사이에, 인듐(In)이 도핑된 질화갈륨(GaN) 버퍼층을 구비하여, 상기 인듐이 도핑된 질화갈륨 버퍼층에서 성장하는 상기 P형 질화갈륨 클래딩층은 P형 투명 오믹컨택층과 마주하는 면이 갈륨 극성을 가지도록 한 것을 특징으로 하는 수직형 질화물계 발광소자를 제공한다.
    수직형 질화물계 발광소자, 갈륨 극성, 질소 극성, 오믹컨택층

    수직형 질화물계 발광소자 및 그 제조방법
    7.
    发明公开
    수직형 질화물계 발광소자 및 그 제조방법 有权
    氮化物发光装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020090003446A

    公开(公告)日:2009-01-12

    申请号:KR1020070056871

    申请日:2007-06-11

    Abstract: The vertical type nitride semiconductor light-emitting device and manufacturing method thereof are provided to use the ohmic electrode material suitable for the gallium polarity. The vertical type nitride semiconductor light-emitting device has N type supporting material layer(230), N type reflective film ohmic contact layer(220), N type GaN cladding layer(210), active layer(240), P-type GaN cladding layer(260) and the P-type transparency ohmic contact layer(270). The In-doped GaN (GaN) buffer layer(250) is formed between the active layer and P-type GaN cladding layer. The P-type GaN cladding layer growing in the In -doped gallium nitride buffer layer has the opposite surface to the P-type transparency ohmic contact layer having the gallium polarity. The In-doped thickness of the gallium nitride buffer layer is about 50~250 nm.

    Abstract translation: 提供垂直型氮化物半导体发光器件及其制造方法来使用适用于镓极性的欧姆电极材料。 垂直型氮化物半导体发光器件具有N型支撑材料层(230),N型反射膜欧姆接触层(220),N型GaN覆层(210),有源层(240),P型GaN覆层 层(260)和P型透明欧姆接触层(270)。 In有源GaN(GaN)缓冲层(250)形成在有源层和P型GaN包覆层之间。 在掺杂氮化镓缓冲层中生长的P型GaN覆层具有与具有镓极性的P型透明欧姆接触层相反的表面。 氮化镓缓冲层的In掺杂厚度约为50〜250nm。

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