公开(公告)号：KR102158009B1

公开(公告)日：2020-09-21

申请号：KR1020190069905

申请日：2019-06-13

Applicant: 고려대학교 산학협력단 ,  한국과학기술연구원 ,  세종대학교산학협력단

Inventor： 박재용 ,  황은미 ,  조장훈 ,  김형욱 ,  김도언

IPC: C12Q1/6883 ,  G01N33/68

公开(公告)号：KR101903116B1

公开(公告)日：2018-10-01

申请号：KR1020170170015

申请日：2017-12-12

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 권석준 ,  김형욱 ,  한일기 ,  이관일 ,  여선주

IPC: G02B6/12

CPC classification number: G02B6/12 ,  G02B2006/12035 ,  G02B2006/12176

Abstract: 광대역근적외선표면플라즈모닉광도파로의제작방법에서, 기판상에제1 패턴을형성한다. 상기제1 패턴이형성된기판상에금속박막을증착시킨다. 상기금속박막이증착된기판으로부터상기제1 패턴을제거하여상기기판상에상기금속박막이증착된제2 패턴만남긴다. 상기제2 패턴이형성된상기기판을가열하여비젖음(dewetting) 현상을유발하여금속나노입자들을형성한다.