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公开(公告)号：WO2019208916A1
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：PCT/KR2019/001411
申请日：2019-02-01
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/3105 , H01L21/304 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/67
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 특정 파장의 광원을 이용하여 대상물의 표면을 평탄화하는 방법은, 메인 챔버 내부에 평탄화하고자 하는 대상물을 제공하는 단계; 상기 메인 챔버 내부에 식각용 가스를 주입하는 단계; 상기 특정 파장의 광원을 상기 대상물의 표면에 입사하는 단계; 및 상기 대상물의 온도를 제어하는 단계를 포함한다. 상기 방법에 의하면 종래의 CMP 공정에 의한 평탄화에서 발생하는 시료의 스크래치 또는 오염 등의 부작용을 최소화할 수 있고 공정 난이도가 낮아 평탄화 공정에 소요되는 비용 및 시간을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따르면 나노미터(nm) 단위의 정교한 평탄화가 가능하며, 대면적의 표면뿐만 아니라 소자 측면의 평탄화도 동시에 수행 가능하므로, 평탄화 공정에 소요되는 비용 및 시간을 줄일 수 있다. 또한, 표면 거칠기를 개선하고 전기 전도도를 향상시킴으로써 LED 소자의 효율 증대 및 고출력화가 가능하다.
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公开(公告)号：KR1020170054720A
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：KR1020150157224
申请日：2015-11-10
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 실시예들은기판상에형성된에피층을포함하는레이저다이오드칩을준비하는단계, 솔더층이증착된금속블록을준비하는단계, 상기에피층과상기솔더층이서로향하도록정렬하는단계, 상기금속블록을가열하는단계및 상기가열에의해솔더층이액체상태가되면, 상기레이저다이오드칩과상기금속블록이접촉하도록상기레이저다이오드칩과상기금속블록을누르는단계를포함하는레이저다이오드제조방법및 이를이용하여제조된레이저다이오드에관한것이다.
Abstract translation: 实例是制备激光二极管芯片，其包括在形成于基板上，其特征在于所述皮质的步骤：制备一个金属块沉积焊料层，对准皮层和焊料层，以便相互面对，所述金属块 当焊料层由步骤和用于加热液体的热量，和一个激光二极管的制造方法以及形成使用它们，包括压制激光二极管芯片和金属块这样的步骤，所述激光二极管芯片和所述金属块相接触的 并由此制造激光二极管。
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公开(公告)号：KR1020180020375A
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR1020160104594
申请日：2016-08-18
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01L31/0547 , G02B6/00 , H01L31/0468 , H01L31/054 , H02S20/22 , H02S20/26 , H02S40/20 , Y02B10/10 , Y02E10/52 , E05Y2900/148 , E06B5/00 , E06B7/28 , G02B5/0236 , G02B19/0042 , H01L31/0504 , H02S40/22 , Y02E10/50
Abstract: 태양전지패널및 이를구비한창호가개시된다. 본발명의일 실시예에따른태양전지패널은빛이입사되고산란되는광확산층; 광확산층의하부에적층되게마련되되, 광확산층을투과한빛이반사되어측부로집광되도록광확산층에대향되는면의반대면에광확산층방향으로볼록한공동(cavity) 형상의복수의패턴이상호이격되게형성된집광층; 및집광층의측면에마련되되, 집광층의측면을따라배치되고전기적으로연결된복수의태양전지셀을구비한태양전지셀 어레이를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种太阳能电池板和具有该太阳能电池板的太阳能电池板。 根据本发明的实施例的其中银光入射和散射的光扩散层; Doedoe设置在光扩散层的底部被堆叠为光扩散层传输哈恩被反射到表面相对的光扩散层形的，使得会聚到侧面的光生的相反侧中的多个光扩散层方向上的凸腔（空腔）的图案 - 何形成开 光收集层; 以及设置在聚光层的侧表面上的太阳能电池阵列，太阳能电池阵列具有沿着聚光层的侧表面布置的多个电连接的太阳能电池。
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公开(公告)号：KR101755268B1
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020150157224
申请日：2015-11-10
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 실시예들은기판상에형성된에피층을포함하는레이저다이오드칩을준비하는단계, 솔더층이증착된금속블록을준비하는단계, 상기에피층과상기솔더층이서로향하도록정렬하는단계, 상기금속블록을가열하는단계및 상기가열에의해솔더층이액체상태가되면, 상기레이저다이오드칩과상기금속블록이접촉하도록상기레이저다이오드칩과상기금속블록을누르는단계를포함하는레이저다이오드제조방법및 이를이용하여제조된레이저다이오드에관한것이다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR102013787B1
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：KR1020170071494
申请日：2017-06-08
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/321 , H01L21/3105 , H01L21/02 , H01L21/3065
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公开(公告)号：KR101846468B1
公开(公告)日：2018-04-09
申请号：KR1020160104594
申请日：2016-08-18
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01L31/0547 , G02B6/00 , H01L31/0468 , H01L31/054 , H02S20/22 , H02S20/26 , H02S40/20 , Y02B10/10 , Y02E10/52
Abstract: 태양전지패널및 이를구비한창호가개시된다. 본발명의일 실시예에따른태양전지패널은빛이입사되고산란되는광확산층; 광확산층의하부에적층되게마련되되, 광확산층을투과한빛이반사되어측부로집광되도록광확산층에대향되는면의반대면에광확산층방향으로볼록한공동(cavity) 형상의복수의패턴이상호이격되게형성된집광층; 및집광층의측면에마련되되, 집광층의측면을따라배치되고전기적으로연결된복수의태양전지셀을구비한태양전지셀 어레이를포함한다.
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公开(公告)号：KR102049806B1
公开(公告)日：2020-01-22
申请号：KR1020180047899
申请日：2018-04-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/3105 , H01L21/304 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/67
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