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公开(公告)号：WO2017179763A1
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：PCT/KR2016/006474
申请日：2016-06-17
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본 발명은, 생체조직의 외부에 위치하는 기판; 상기 기판 상에서 일 방향으로 연장되고, 바늘(needle) 형상의 단부를 구비하여 상기 생체조직의 내부로 삽입 가능하도록 형성되는 적어도 하나의 기둥부; 및 상기 생체조직의 외부에서 상기 생체조직 내부의 전기적 신호를 감지하도록, 전도성 재질로 이루어지고, 상기 기둥부에 구비되는 상기 단부 및 상기 기판 상에 형성되어 상기 단부와 상기 기판 사이를 전기적으로 연결하는 배선층을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨어러블 생체소자를 개시한다.
Abstract translation: ＆lt; p num =“0000”＆gt; 至少一个支柱，所述支柱在所述基板上沿一个方向延伸并且具有针形端部以便能够插入到所述活组织中; 以及第二电极，其形成在所述基板上并与所述基板电连接，所述电极由导电材料形成以感测活体组织外部的活组织内部的电信号， 披露了一种包括布线层的破旧的生物装置。
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公开(公告)号：KR101887073B1
公开(公告)日：2018-08-09
申请号：KR1020160044250
申请日：2016-04-11
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은, 생체조직의외부에위치하는기판; 상기기판상에서일 방향으로연장되고, 바늘(needle) 형상의단부를구비하여상기생체조직의내부로삽입가능하도록형성되는적어도하나의기둥부; 및상기생체조직의외부에서상기생체조직내부의전기적신호를감지하도록, 전도성재질로이루어지고, 상기기둥부에구비되는상기단부및 상기기판상에형성되어상기단부와상기기판사이를전기적으로연결하는배선층을포함하는것을특징으로하는웨어러블생체소자를개시한다.
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公开(公告)号：KR101683127B1
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020150024028
申请日：2015-02-17
Applicant: 국방과학연구소
IPC: H01L31/0236 , H01L31/0392 , H01L31/18 , H01L31/0256
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본발명은그래핀을사용하여성장한고품질단결정게르마늄박막의제조방법에관한것이다. 본발명에따른단결정게르마늄박막성장법은저압화학기상증착(LP-CVD) 방법을기반으로, 실리콘옥사이드기판위에형성된그래핀을완충층으로하여게르마늄박막을성장시키는것이다. 실리콘옥사이드기판위에그래핀을전사시키는단계, 저온에서게르마늄박막성장하는단계, 게르마늄박막의결정성을향상시키는열처리단계및 고온에서게르마늄박막을성장하는단계를통하여고품질의게르마늄단결정박막을얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用石墨烯生长的高品质单晶锗薄膜及其制造方法。 根据本发明的单晶锗薄膜生长方法通过使用形成在氧化硅衬底上的石墨烯作为基于低压化学气相沉积（LP-CVD）方法的缓冲层来生长锗薄膜。 本发明包括以下步骤：将石墨烯转移到氧化硅衬底上; 在低温下生长锗薄膜; 进行热处理以提高锗薄膜的结晶度; 并在高温下生长锗薄膜以获得高质量的锗单晶薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170122592A
公开(公告)日：2017-11-06
申请号：KR1020160051771
申请日：2016-04-27
Applicant: 국방과학연구소
CPC classification number: A61B5/685 , A61B2562/125 , C09D1/00
Abstract: 본발명은기판상에적어도두 개의나노탐침을형성하는단계, 상기나노탐침이형성된기판의일 영역을식각하여적어도두 개의마이크로기둥을형성하는단계, 상기나노탐침, 상기마이크로기둥및 상기기판의나머지영역상에 1차절연막, 전극층및 2차절연막을순차적으로형성하는단계및 상기 2차절연막의일부를식각하여상기전극층의일부를노출시키는단계를포함하는생체소자의제조방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR101635970B1
公开(公告)日：2016-07-04
申请号：KR1020150024029
申请日：2015-02-17
Applicant: 국방과학연구소
IPC: H01L31/0392 , H01L21/285 , H01L31/18 , H01L31/0256
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/0392 , H01L21/28556 , H01L31/0256 , H01L31/18 , Y02E10/54
Abstract: 본발명은전사공정이용이한실리콘옥사이드층이형성된실리콘기판위에성장한고품질게르마늄단결정박막성장기술에관한것으로, 본발명에따른게르마늄단결정박막성장법은저압화학기상증착법 (LP-CVD)를이용하여, 실리콘옥사이드위에게르마늄박막을성장시키는단계공정이며, 구체적으로실리콘옥사이드층위에저온에서게르마늄박막을성장시키는단계, 열처리를통해게르마늄박막의결정성을향상시키는단계, 고온에서게르마늄박막을성장시키는단계및 에칭단계를통하여고품질의게르마늄단결정박막을얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及用于生长在包含易于施加转印工艺的氧化硅层的硅衬底上的高质量锗单晶薄膜的技术。 根据本发明，锗单晶薄膜的制造方法是通过使用低压化学气相沉积（LP-CVD）在氧化硅上生长锗薄膜的方法。 具体地说，锗单晶薄膜的制造方法具有如下步骤：在低温下生长氧化硅层上的锗薄膜; 通过热处理改善锗薄膜的结晶性; 在高温下生长锗薄膜; 并通过蚀刻获得高质量的锗单晶薄膜。
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公开(公告)号：KR1020160101451A
公开(公告)日：2016-08-25
申请号：KR1020150024028
申请日：2015-02-17
Applicant: 국방과학연구소
IPC: H01L31/0236 , H01L31/0392 , H01L31/18 , H01L31/0256
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/0392 , H01L31/0256 , H01L31/18 , Y02E10/54
Abstract: 본발명은그래핀을사용하여성장한고품질단결정게르마늄박막및 제조방법에관한것이다. 본발명에따른단결정게르마늄박막성장법은저압화학기상증착(LP-CVD) 방법을기반으로, 실리콘옥사이드기판위에형성된그래핀을완충층으로하여게르마늄박막을성장시키는것이다. 실리콘옥사이드기판위에그래핀을전사시키는단계, 저온에서게르마늄박막성장하는단계, 게르마늄박막의결정성을향상시키는열처리단계및 고온에서게르마늄박막을성장하는단계를통하여고품질의게르마늄단결정박막을얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用石墨烯生长的高品质单晶锗薄膜及其制造方法。 根据本发明的单晶锗薄膜生长方法通过使用形成在氧化硅衬底上的石墨烯作为基于低压化学气相沉积（LP-CVD）方法的缓冲层来生长锗薄膜。 本发明包括以下步骤：将石墨烯转移到氧化硅衬底上; 在低温下生长锗薄膜; 进行热处理以提高锗薄膜的结晶度; 并在高温下生长锗薄膜以获得高质量的锗单晶薄膜。
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公开(公告)号：KR101797029B1
公开(公告)日：2017-11-13
申请号：KR1020160051771
申请日：2016-04-27
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은기판상에적어도두 개의나노탐침을형성하는단계, 상기나노탐침이형성된기판의일 영역을식각하여적어도두 개의마이크로기둥을형성하는단계, 상기나노탐침, 상기마이크로기둥및 상기기판의나머지영역상에 1차절연막, 전극층및 2차절연막을순차적으로형성하는단계및 상기 2차절연막의일부를식각하여상기전극층의일부를노출시키는단계를포함하는생체소자의제조방법을제공한다.
Abstract translation: 所述至少两个的本发明其余部分形成纳米探针，该方法中，纳米探针的微柱和衬底通过蚀刻，其中形成在衬底上的纳米探针基底的一个区域，以形成至少两个微柱 之上形成第一绝缘膜，所述电极层和在序列中的第二绝缘膜，以及提供了一种生产包括通过蚀刻所述第二绝缘膜的一部分暴露所述电极层的一部分的步骤的生物测定装置的方法的区域。
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公开(公告)号：KR1020170116458A
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：KR1020160044250
申请日：2016-04-11
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은, 생체조직의외부에위치하는기판; 상기기판상에서일 방향으로연장되고, 바늘(needle) 형상의단부를구비하여상기생체조직의내부로삽입가능하도록형성되는적어도하나의기둥부; 및상기생체조직의외부에서상기생체조직내부의전기적신호를감지하도록, 전도성재질로이루어지고, 상기기둥부에구비되는상기단부및 상기기판상에형성되어상기단부와상기기판사이를전기적으로연결하는배선층을포함하는것을특징으로하는웨어러블생체소자를개시한다.
Abstract translation: 根据本发明，提供了一种生物传感器，包括：位于活体组织外部的基底; 至少一个支柱，所述支柱在所述基板上沿一个方向延伸并且具有针形端部以便能够插入到所述活组织中; 并且，设置在所述柱部上的端部和形成在所述基板上的端部中的至少一方，将所述端部与所述基板电连接，从而检测生物体组织内部的生物体组织内部的电信号， 一种破旧的生物装置，其特征在于包括布线层。
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