公开(公告)号：KR1020150091245A

公开(公告)日：2015-08-10

申请号：KR1020150013609

申请日：2015-01-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하라히로미 ,  사토히데아키 ,  가와주다카히로 ,  나가이다카시

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67023 ,  B08B3/08 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67086 ,  H01L21/02307 ,  H01L21/302

Abstract: 본발명은미리정해진농도의약제의수용액을처리액으로서이용하여기판을액처리하는기판액처리장치에있어서기판을처리액으로양호하게처리할수 있도록하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 처리액을처리액저류부에저류해두고, 상기처리액과는상이한농도의약제의수용액을상기처리액저류부에공급하고, 상기처리액저류부로부터상기처리액을배출하여, 상기처리액저류부에저류되는상기처리액을갱신하며, 그때에, 상기처리액저류부에미리정해진양의상기수용액을공급하고, 상기처리액저류부로공급되는상기수용액에함유되는상기약제의양과동일양의약제를함유하는상기처리액을상기처리액저류부로부터배출하는것으로하였다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种通过使用作为规定浓度的化学品的水溶液的处理液令人满意地处理基板的基板液体处理装置。 本发明将处理液储存在处理液储存单元中，将不同浓度的化学品的水溶液供给到处理液储存单元，并从处理液储存单元排出处理液，以更新储存在 处理液体存储单元。 此时，本发明将规定量的水溶液供给到处理液储存单元，并且将包含与供给到处理液的水溶液中所含的化学物质的量相等的化学物质的处理液排出 存储单元。