公开(公告)号：KR1020160000859A

公开(公告)日：2016-01-05

申请号：KR1020150088360

申请日：2015-06-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시마사토 ,  츠루다도요히사 ,  가지와라마사유키

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/67

CPC classification number: C02F1/463 ,  C02F1/461 ,  C02F1/46104 ,  C02F2103/02 ,  C02F2201/461 ,  C02F2201/4612 ,  C02F2201/4617 ,  G03F7/3007 ,  G03F7/3021

Abstract: 본발명의과제는파티클의포집효율을충분히장기간에걸쳐서유지하는것이가능한처리액공급방법, 처리액공급장치및 기록매체를제공하는것이다. 본발명에관한처리액공급방법은, 기판에대해처리액을공급하기위한것으로서, 처리액에직류전압을인가하는공정과, 직류전압이처리액에인가된상태에있어서, 처리액중의 2점간의전위차를검출하는공정과, 검출된전위차가제1 기준값미만인경우에, 직류전압을증가시키는공정을포함한다.

Abstract translation: 本发明提供能够长时间充分地保持颗粒的收集效率的处理溶液供给方法，处理溶液供给装置和记录介质。 处理液的供给方法是将处理液供给到基板。 该方法包括以下步骤：向处理溶液施加DC电压; 在对所述处理溶液施加所述直流电压的状态下，检测所述处理溶液中的两点之间的电位差; 以及当检测到的电位差小于预定参考值时增加DC电压。