公开(公告)号：KR1020150128578A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：KR1020150063004

申请日：2015-05-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이와나가슈지 ,  니시야마다다시 ,  가토오간조오

IPC: G01B11/06 ,  H01L21/66 ,  G06T1/00

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0616 ,  G06T7/60 ,  G06T2207/10004 ,  G06T2207/30148 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/12 ,  H04N5/23229

Abstract: 측정준비용기판상의복수점을미리측정해서얻어진막 두께측정값과, 당해막 두께측정값에대응하는각 좌표를취득한다. 미리촬상장치에서측정준비용기판을촬상하여얻어진준비용촬상화상으로부터, 각좌표에있어서의화소값을추출한다. 각좌표에있어서추출된화소값과, 각좌표에있어서의막 두께측정값과의상관데이터를생성한다. 막두께측정대상으로되는기판을촬상장치로촬상하여촬상화상을취득하고, 당해촬상화상의화소값과상관데이터에기초하여, 막두께측정대상으로되는기판상에형성된막의막 두께를산출한다.

Abstract translation: 获取通过预先测量测量准备衬底上的多个点获得的膜厚度测量值和与膜厚度测量值相对应的坐标。 从通过成像装置预先成像测量准备基板获得的准备图像中提取每个坐标处的像素值。 生成在各坐标处提取的像素值与各坐标处的膜厚测量值之间的相关数据。 作为膜厚测量对象的基板由成像装置成像以获取图像，并且基于图像的像素值来计算形成在作为膜厚度测量对象的基板上的膜的膜厚度， 相关数据。