公开(公告)号：KR1020150013778A

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：KR1020147035028

申请日：2013-05-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 래쓰삭벤자민엠 ,  서머벨마크에이치 ,  간디미나크쉬순다람

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/40 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/2041 ,  Y10T428/24802

Abstract: 계층화 구조물을 패터닝하기 위한 방법은, 아래 놓인 기판의 수평면 상에 현상된 프리패턴 층을 제공하기 위해 포토리소그래피를 수행하는 단계, 이격된 무기 물질 가이드들을 형성하도록 프리패턴 층을 변형하는 단계, 측방향으로 이격된 원통형 피처들을 형성하기 위해 자가 조립 블록 코폴리머(self-assembling block copolymer)의 층을 캐스트 및 어닐링하는 단계, 자가 조립 블록 코폴리머의 하나의 블록의 적어도 일부를 선택적으로 제거함으로써 패턴을 형성하는 단계, 및 아래 놓인 기판에 패턴을 전사하는 단계를 포함한다. 본 방법은 50nm 미만의 패터닝된 계층화 구조물들을 제조하기에 적합하다.