公开(公告)号：KR1020170015162A

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：KR1020160091917

申请日：2016-07-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고다가즈야 ,  아마노요시후미 ,  야마모토노부야 ,  아야베고

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: B08B13/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/6708

Abstract: 본발명은복수의액처리부에서의압력변동을억제하는것을목적으로한다. 액처리장치는, 복수의액처리부와, 복수의개별배기로와, 공통배기로와, 제1 외기도입부와, 제1 조정밸브와, 제2 외기도입부와, 제2 조정밸브를구비한다. 복수의액처리부는, 피처리체를액처리한다. 복수의개별배기로는, 액처리부내부로부터의배기가흐른다. 공통배기로는, 복수의개별배기로로부터의배기가흐른다. 제1 외기도입부는, 공통배기로에있어서개별배기로가접속되는복수의접속부위보다최상류측에형성되어외기를도입한다. 제1 조정밸브는, 제1 외기도입부에설치되어외기의유량을조정한다. 제2 외기도입부는, 공통배기로에있어서복수의접속부위중 최상류에위치하는접속부위보다하류측에형성되어외기를도입한다. 제2 조정밸브는, 제2 외기도입부에설치되어외기의유량을조정한다.

Abstract translation: 液体处理装置包括多个液体处理单元，多个单独的排气路径，公共排气路径，第一外部空气进入部分，第一调节阀，第二外部空气进入部分和第二调节阀。 液体处理单元对加工对象物进行液体处理。 来自液体处理单元的内部的废气在各个排气路径中流动。 来自各个排气通道的废气在公共排气路径中流动。 第一外部空气进入部分形成在最上游侧以引入外部空气。 第一调节阀设置在第一外部空气吸入部。 第二外部空气进入部分形成在公共排气路径从连接处的下游侧。 第二调节阀设置在第二外部空气吸入部。