公开(公告)号：KR1020150054767A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：KR1020157003670

申请日：2013-09-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이토게이키 ,  니시카와마사키 ,  오쿠니시나오히코 ,  시마다준이치 ,  고야나기겐

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/46 ,  H01L21/67 ,  H03H7/38

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32165 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32577 ,  H01L21/67103 ,  H03H7/38 ,  H05H2001/4682

Abstract: 처리용기내의고주파전극, 그밖의전기적부재로부터급전라인이나신호선등의선로상에들어오는유해한복수주파수의고주파노이즈에대하여, 효율적이면서안정확실하게충분히높은임피던스를부여하여, 플라즈마프로세스의재현성·신뢰성을향상시킨다. 필터유닛(54)(IN)은, 접지된원통형의도전성케이싱(104) 속에, 공심코일(AL, BL), 제1 콘덴서(AC, BC), 토로이달코일(AL, BL) 및제2 콘덴서(AC, BC)를위에서아래로이 순서로배치하고있다. 여기서, 공심코일(AL)(BL), 제1 콘덴서(AC)(BC), 토로이달코일(AL)(BL) 및제2 콘덴서(AC)(BC)는히터전원의한쪽(다른쪽)의출력단자와내측발열선의한쪽(다른쪽)의단자를전기적으로연결하는제1(제2) 급전라인상에있고, 내측발열선측에서봤을때 공심코일(AL)(BL)이첫 단에설치된다.

公开(公告)号：KR102069923B1

公开(公告)日：2020-01-23

申请号：KR1020157003670

申请日：2013-09-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이토게이키 ,  니시카와마사키 ,  오쿠니시나오히코 ,  시마다준이치 ,  고야나기겐

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  H05H1/46