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公开(公告)号：KR1020150054767A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：KR1020157003670
申请日：2013-09-09
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32091 , H01J37/32165 , H01J37/32174 , H01J37/32577 , H01L21/67103 , H03H7/38 , H05H2001/4682
Abstract: 처리용기내의고주파전극, 그밖의전기적부재로부터급전라인이나신호선등의선로상에들어오는유해한복수주파수의고주파노이즈에대하여, 효율적이면서안정확실하게충분히높은임피던스를부여하여, 플라즈마프로세스의재현성·신뢰성을향상시킨다. 필터유닛(54)(IN)은, 접지된원통형의도전성케이싱(104) 속에, 공심코일(AL, BL), 제1 콘덴서(AC, BC), 토로이달코일(AL, BL) 및제2 콘덴서(AC, BC)를위에서아래로이 순서로배치하고있다. 여기서, 공심코일(AL)(BL), 제1 콘덴서(AC)(BC), 토로이달코일(AL)(BL) 및제2 콘덴서(AC)(BC)는히터전원의한쪽(다른쪽)의출력단자와내측발열선의한쪽(다른쪽)의단자를전기적으로연결하는제1(제2) 급전라인상에있고, 내측발열선측에서봤을때 공심코일(AL)(BL)이첫 단에설치된다.
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公开(公告)号：KR100753692B1
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：KR1020050119216
申请日：2005-12-08
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02 , H01L21/3065
Abstract: 간단한 배관구성으로, 처리용기의 복수개소에 임의의 혼합 가스를 공급한다. 가스 공급 장치(100)에, 복수의 가스 공급원을 구비한 제 1 가스 박스(111)와, 복수의 부가 가스 공급원을 구비한 제 2 가스 박스(113)가 마련된다. 각 가스 공급원에는 혼합배관(120)이 접속되어, 혼합배관(120)에는 다른 버퍼실(63a, 63b)에 통하는 분기배관(122, 123)이 접속된다. 분기배관에는 각각 압력조정부가 마련되어, 압력비 제어 장치(126)에 의해 압력비가 조정된다. 분기배관(123)의 압력 조정부보다도 하류측에는 제 2 가스 박스(113)에 통하는 부가 가스 공급배관(130)이 접속된다. 제 1 가스 박스(111)의 각 가스가 혼합배관(120)에서 혼합되어, 분기배관으로 분류하여 각 버퍼실로 공급된다. 분기배관(123)에는 제 2 가스 박스(113)의 부가 가스가 부가되어, 버퍼실(63b)에는 버퍼실(63a)과 다른 혼합 가스가 공급된다.
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公开(公告)号：KR1020060065510A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：KR1020050119216
申请日：2005-12-08
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02 , H01L21/3065
Abstract: 간단한 배관구성으로, 처리용기의 복수개소에 임의의 혼합 가스를 공급한다. 가스 공급 장치(100)에, 복수의 가스 공급원을 구비한 제 1 가스 박스(111)와, 복수의 부가 가스 공급원을 구비한 제 2 가스 박스(113)가 마련된다. 각 가스 공급원에는 혼합배관(120)이 접속되어, 혼합배관(120)에는 다른 버퍼실(63a, 63b)에 통하는 분기배관(122, 123)이 접속된다. 분기배관에는 각각 압력조정부가 마련되어, 압력비 제어 장치(126)에 의해 압력비가 조정된다. 분기배관(123)의 압력 조정부보다도 하류측에는 제 2 가스 박스(113)에 통하는 부가 가스 공급배관(130)이 접속된다. 제 1 가스 박스(111)의 각 가스가 혼합배관(120)에서 혼합되어, 분기배관으로 분류하여 각 버퍼실로 공급된다. 분기배관(123)에는 제 2 가스 박스(113)의 부가 가스가 부가되어, 버퍼실(63b)에는 버퍼실(63a)과 다른 혼합 가스가 공급된다.
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