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公开(公告)号：KR1020180000685A
公开(公告)日：2018-01-03
申请号：KR1020170077730
申请日：2017-06-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H03H7/0115 , G06F17/5063
Abstract: 본발명은필터를설계하는방법을제공한다. 일실시형태의방법에서는, 축방향에따라서서로동일한복수의피치를제공하는권선을갖는기준코일, 및상기기준코일과병렬접속된콘덴서를갖는분포정수형의기준필터의공진주파수와차단해야할 고주파와의사이의차이가큰 경우에, 상기차이를감소시키기위해서기준코일을직렬접속된제 1 코일요소와제 2 코일요소로분할하는상기기준코일중의분할위치, 및제 1 코일요소와제 2 코일요소와의사이의분할거리가결정된다.
Abstract translation: 本发明提供了一种设计滤波器的方法。 在该方法的一个实施例中，轴基于具有绕组提供多个间距彼此根据线圈的方向的，与高频之间做从分布式整数的具有基准线圈和并联连接的电容器中的参考滤波器的谐振频率分离 为了减小该差异，将参考线圈中的划分位置划分为串联连接的第一线圈元件和第二线圈元件以及参考线圈中的第一线圈元件和第二线圈元件之间的划分位置 划分的距离确定。
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公开(公告)号：KR1020100109449A
公开(公告)日：2010-10-08
申请号：KR1020100027761
申请日：2010-03-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/203
CPC classification number: H01J37/32623 , H01J37/32091 , H01J37/32541 , H01J37/3255 , H01J37/32697
Abstract: PURPOSE: The plasma processing apparatus and plasma processing method is provided so that the edge class of the plasma density distribution processing uniformity can be materialized. CONSTITUTION: The plasma processing apparatus and plasma processing method. The first conductor(74), and second conductor(76) is included. The first conductor is electrically connected about the power of the first radio frequency to the rear side of the microwave electrode. The second conductor has the second connection unit electrically connected to the conductivity ground member nearby electrically grounded of the microwave electrode.
Abstract translation: 目的：提供等离子体处理装置和等离子体处理方法，使得能够实现等离子体密度分布处理均匀性的边缘等级。 构成：等离子体处理装置和等离子体处理方法。 包括第一导体（74）和第二导体（76）。 第一导体围绕第一射频的功率电连接到微波电极的后侧。 第二导体具有电连接到微波电极的电接地附近的导电性接地部件的第二连接单元。
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公开(公告)号：KR101032566B1
公开(公告)日：2011-05-06
申请号：KR1020080112882
申请日：2008-11-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32091 , H01J37/32174 , H01J37/32724
Abstract: 본 발명은 원하지 않는 고주파의 노이즈를 감쇠시키기 위한 필터회로내의 RF 전력손실량 및 그 기기 차(장치간의 편차)를 가능한 적게 하고, 프로세스 성능의 재현성·신뢰성을 향상시키는 것을 목적으로 한다. 이 플라즈마 에칭 장치에서는 제 1 및 제 2 급전 라인상에 마련되는 2계통의 제 1 단 공심코일 단체 A(1), A(2)끼리가 보빈(114A)에 동심 형상으로 장착되어 있다. 즉, 양 공심코일 단체 A(1), A(2)를 각각 구성하는 코일도선이 공통의 보빈(114A)의 외주면을 따라 보빈 축방향으로 중첩되어 병진하면서 동일한 권선길이로 나선형상으로 감겨져 있다. 마찬가지로, 제 2 단 공심코일 단체 B(1), B(2)끼리도 각각의 코일도선이 공통의 보빈(114B)의 외주면을 따라 보빈 축방향으로 중첩되어 병진하면서 동일한 권선길이로 나선형상으로 감겨져 있다.
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公开(公告)号：KR102168961B1
公开(公告)日：2020-10-22
申请号：KR1020157030087
申请日：2014-05-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 오쿠니시나오히코
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102137617B1
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：KR1020130124177
申请日：2013-10-17
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 오쿠니시나오히코
IPC: H05H1/46 , H01L21/3065 , H01L21/205
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公开(公告)号：KR101687565B1
公开(公告)日：2016-12-19
申请号：KR1020100027761
申请日：2010-03-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/203
CPC classification number: H01J37/32623 , H01J37/32091 , H01J37/32541 , H01J37/3255 , H01J37/32697
Abstract: 플라즈마밀도분포제어의성능및 자유도를대폭개선하여플라즈마밀도분포및 프로세스특성의가급적인균일성향상을실현시킨다. 용량결합형플라즈마처리장치는, 서셉터(12) 상의플라즈마밀도분포를제어하기위한툴로서챔버하부실(25)에플라즈마밀도분포제어기(72)를설치하고있다. 이플라즈마밀도분포제어기(72)는서셉터(12)의배면의원하는부위에상면을향하여배치되는도체판(제 1 도체)(74)과, 이도체판(74)을그 아래에서보지하고, 또한전기적으로접지하는도체봉(제 2 도체)(76)을가진다. 도체봉(76)의상단(제 1 접속부)은도체판(74)의하면의임의의부위에고착되어있다. 도체봉(76)의하단(제 2 접속부)은챔버(10)의저벽(10b)에고착또는접촉되어설치된다.
Abstract translation: 通过大大提高性能和控制等离子体密度分布的自由度，提高了等离子体密度分布和工艺特性的均匀性。 电容耦合等离子体处理装置包括安装在室下室中的等离子体密度分布控制器，用于控制基座上的等离子体密度分布。 等离子体密度分布控制器包括导电板（第一导体），该导电板（第一导体）被放置在基座的后表面处于与基座相对的特定位置处;以及导电棒（第二导体），其将导电板向上支撑并电接地。 导电棒的上端（第一连接部）固定在导电板的底面的某一部分上，导电棒的下端（第二连接部）固定在底部 一个房间的墙壁
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公开(公告)号：KR1020160013002A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：KR1020157030087
申请日：2014-05-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 오쿠니시나오히코
CPC classification number: H01J37/32091 , C23C16/4412 , C23C16/50 , H01F27/006 , H01J37/32174 , H01J37/32724 , H03H2001/0092
Abstract: 처리용기내의고주파전극이외의전기적부재로부터급전라인또는신호선등의선로상으로들어오는고주파의노이즈를분포정수선로의다중병렬공진특성을이용하여차단하는경우에, 고주파노이즈에대한임피던스기능또는내전압특성을저하시키지않고, 공진주파수를임의로시프트하여조정또는최적화하는것이다. 이필터유닛에있어서는, 권선피치에관하여, 양솔레노이드코일(104(1), 104(2))은, 코일축방향에있어서복수의구간(K, K, ‥)으로분할되어있고, 각구간(K(i =1, 2, ‥))마다독립된권선피치(p)가선정된다. 솔레노이드코일(104(1), 104(2))의주위에마련되는복수개의봉 형상빗살부재(114)의내측면에는, 양솔레노이드코일(104(1), 104(2))의권선사이에삽입되는빗살(M)이형성되어있다.
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公开(公告)号：KR1020160012118A
公开(公告)日：2016-02-02
申请号：KR1020157030404
申请日：2014-05-19
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 오쿠니시나오히코
CPC classification number: H01J37/32174 , H01J37/32091 , H01J37/32798 , H01J2237/334 , H03H7/38 , H05H1/46 , H05H2001/4682
Abstract: 처리용기내의고주파전극이외의전기적부재로부터급전라인또는신호선등의선로상으로들어오는유해한복수의주파수의고주파노이즈에대하여, 효율적이며또한안정적으로확실하게충분히높은임피던스를부여하여, 플라즈마프로세스의재현성·신뢰성을향상시킨다. 필터유닛(54(IN))은, 접지된원통형상의도체로이루어지는하우징(82) 내에, 공심솔레노이드코일(AL, BL), 제 1 콘덴서(AC, BC), 트로이덜코일(AL, BL) 및제 2 콘덴서(AC, BC)를위에서부터아래로이 순서로배치하고있다. 양공심솔레노이드코일(AL, BL)의주위에는, 그들외주면에인접하여, 코일축방향과평행하게연장되는봉 형상의빗살부재(86)가둘레방향으로일정한간격을두고복수개 마련되어있다. 각각의빗살부재(86)의내측면에는, 양솔레노이드코일(AL, BL)의권선사이에삽입되는빗살(M)이형성되어있다.
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