公开(公告)号：KR1020030014615A

公开(公告)日：2003-02-19

申请号：KR1020020046516

申请日：2002-08-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다노우에신야 ,  이와사키다쓰야 ,  오쓰카요시타카 ,  사가라노리히데 ,  구마가이노리토시 ,  하야시신야

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G02F1/13 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68 ,  Y10S414/14

Abstract: PURPOSE: A substrate carrier, a substrate processing system and a substrate carrying method are provided to detect the positional shift of a substrate in the direction orthogonal to the advancing/retracting direction through the simple structure without requiring an extra drive mechanism, and to correct the positional shift of the substrate by using the substrate processing system. CONSTITUTION: When a substrate(G) is taken out from a cassette(C) by pulling a pincette and the pincette is pulled, a sensor(9) located at position(P) before the substrate is taken out is moved to pass one side(Ga) of the substrate while drawing a locus T. Consequently, the position of a held substrate in the direction (Y direction) orthogonal to the advancing/retracting direction of the pincette is calculated from the timing for receiving reflected light when the sensor is moved through one side and the number of rotational pulses of a motor. The positional shift is detected by comparing the timing with the timing when the substrate is held at the normal position of the pincette.

Abstract translation: 目的：提供基板载体，基板处理系统和基板承载方法，以通过简单的结构检测基板在与前进/后退方向正交的方向上的位置偏移，而不需要额外的驱动机构，并且校正 通过使用基板处理系统的基板的位置偏移。 构成：当通过拉动卡扣并拉出卡扣来从盒（C）中取出基板（G）时，将取出基板之前的位于（P）的传感器（9）移动通过一侧 （Ga），从而根据传感器的接收反射光的定时计算保持的基板在与pincette的前进/后退方向正交的方向（Y方向）上的位置 通过一侧移动和电动机的旋转脉冲数。 通过将定时与基板保持在卡通的正常位置的定时进行比较来检测位置偏移。

公开(公告)号：KR100840853B1

公开(公告)日：2008-06-23

申请号：KR1020020046516

申请日：2002-08-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다노우에신야 ,  이와사키다쓰야 ,  오쓰카요시타카 ,  사가라노리히데 ,  구마가이노리토시 ,  하야시신야

IPC: G02F1/13

Abstract: 핀셋(43)을 당겨 카세트(C)로부터 기판(G)을 꺼내고, 핀셋(43)을 당겨 나가면, 기판(G)을 꺼내기 전에는 위치 P에 있던 센서(9)가, 궤적 T를 그리며 기판(G)의 한 변(Ga)을 통과하며 이동한다. 이에 따라, 유지된 기판(G)의 핀셋(43)의 전진·후퇴방향과 직교하는 방향(Y방향)에 관한 위치는, 센서(9)가 한 변(Ga)을 통과하여 이동했을 때의 반사광을 수광하는 타이밍과, 모터(6)의 회전 펄스 수에 의해 산출된다. 따라서, 핀셋(43)이 정상위치에 유지된 경우의 타이밍과 비교함으로써 위치 어긋남을 검출할 수 있다.