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公开(公告)号：KR1020030014615A
公开(公告)日：2003-02-19
申请号：KR1020020046516
申请日：2002-08-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G02F1/13 , H01L21/6773 , H01L21/67742 , H01L21/68 , Y10S414/14
Abstract: PURPOSE: A substrate carrier, a substrate processing system and a substrate carrying method are provided to detect the positional shift of a substrate in the direction orthogonal to the advancing/retracting direction through the simple structure without requiring an extra drive mechanism, and to correct the positional shift of the substrate by using the substrate processing system. CONSTITUTION: When a substrate(G) is taken out from a cassette(C) by pulling a pincette and the pincette is pulled, a sensor(9) located at position(P) before the substrate is taken out is moved to pass one side(Ga) of the substrate while drawing a locus T. Consequently, the position of a held substrate in the direction (Y direction) orthogonal to the advancing/retracting direction of the pincette is calculated from the timing for receiving reflected light when the sensor is moved through one side and the number of rotational pulses of a motor. The positional shift is detected by comparing the timing with the timing when the substrate is held at the normal position of the pincette.
Abstract translation: 目的：提供基板载体，基板处理系统和基板承载方法，以通过简单的结构检测基板在与前进/后退方向正交的方向上的位置偏移，而不需要额外的驱动机构，并且校正 通过使用基板处理系统的基板的位置偏移。 构成：当通过拉动卡扣并拉出卡扣来从盒（C）中取出基板（G）时，将取出基板之前的位于（P）的传感器（9）移动通过一侧 （Ga），从而根据传感器的接收反射光的定时计算保持的基板在与pincette的前进/后退方向正交的方向（Y方向）上的位置 通过一侧移动和电动机的旋转脉冲数。 通过将定时与基板保持在卡通的正常位置的定时进行比较来检测位置偏移。
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公开(公告)号：KR100992361B1
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：KR1020030049663
申请日：2003-07-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
Abstract: 반송효율의 향상 및 풋프린트의 저감을 실현한다.
부반송기구(18)는 기판(G)을 유지하는 반송아암(76)의 핀셋(82)을 기판이재위치에 위치 결정하고 나서, 핀셋(82)의 흡착 패드에 공급하고 있는 진공흡인력을 오프로 하여, 기판중계부(90)의 핀승강부(94)를 작동시켜, 리프트 핀(92)을 핀지지아암(100)과 일체로 왕복이동 또는 대기위치(가상선으로 나타내는 위치)로부터 왕복이동위치(실선으로 나타내는 위치)까지 상승이동시킨다. 리프트 핀(92)은 이 상승이동의 도중에 핀셋(82)으로부터 기판(G)을 핀 선단에서 수평상태로 받아들여, 받아들인 기판(G)을 왕복이동위치의 높이 위치까지 들어 올린다. 외부반송수단(도시하지 않음)은 그 핀셋(도시하지 않음)으로 리프트 핀(92)으로부터 기판(G)을 받아들일 수 있다.-
公开(公告)号：KR100840853B1
公开(公告)日：2008-06-23
申请号：KR1020020046516
申请日：2002-08-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G02F1/13
Abstract: 핀셋(43)을 당겨 카세트(C)로부터 기판(G)을 꺼내고, 핀셋(43)을 당겨 나가면, 기판(G)을 꺼내기 전에는 위치 P에 있던 센서(9)가, 궤적 T를 그리며 기판(G)의 한 변(Ga)을 통과하며 이동한다. 이에 따라, 유지된 기판(G)의 핀셋(43)의 전진·후퇴방향과 직교하는 방향(Y방향)에 관한 위치는, 센서(9)가 한 변(Ga)을 통과하여 이동했을 때의 반사광을 수광하는 타이밍과, 모터(6)의 회전 펄스 수에 의해 산출된다. 따라서, 핀셋(43)이 정상위치에 유지된 경우의 타이밍과 비교함으로써 위치 어긋남을 검출할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020040010281A
公开(公告)日：2004-01-31
申请号：KR1020030049663
申请日：2003-07-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: To realize improvement of transport efficiency and reduction in a footprint. CONSTITUTION: An ancillary transport mechanism 18 positions tweezers 82 of a transport arm 76 holding a substrate G at a substrate transfer position, then makes a vacuum sucking force supplied to a suction pad of the tweezers off, actuates a pin lifting part 94 of a substrate relaying part 90. Thereby a lift pin 92 is moved together with a pin supporting arm 100 or elevated from a standby position(shown by a virtual line) to an advanced position(shown by a solid line). The lift pin 92 receives the substrate G with the tip of the pin from the tweezers 82 on the way of elevating movement while the substrate being in a horizontal state, and lifts the received substrate G up to the height of the advanced position. An external transport means(not shown in a figure) receives the substrate G with its tweezers(not shown in a figure) from the lift pin 92.
Abstract translation: 目的：实现运输效率的提高，减少占地面积。 构成：辅助输送机构18将保持基板G的输送臂76的镊子82定位在基板转印位置，然后将提供给镊子的吸盘的真空吸力作用于基板上，从而驱动基板的引脚提升部94 由此，提升销92与销支撑臂100一起移动或者从备用位置（由虚线示出）升高到前进位置（由实线示出）。 提升销92在基板处于水平状态的同时在升降运动的同时从镊子82接收具有销钉的尖端的基板G，并且将接收的基板G提升到前进位置的高度。 外部传送装置（图中未示出）使用其镊子（图中未示出）从升降销92接收基板G.
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