公开(公告)号：KR1020110130481A

公开(公告)日：2011-12-05

申请号：KR1020117024195

申请日：2010-03-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사쿠마다카시 ,  미야시타데츠야 ,  기무라노부키

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6831

Abstract: 정전척 위로부터 피처리체를 이탈시키는 피처리체의 이탈 방법을 개시한다. 이 이탈 방법은, 처리실을 배기하는 배기 기구에 전열 가스 공급 유로를, 전열 가스 배기 유로를 거쳐서 접속하여, 정전척의 표면과 피처리체의 이면과의 사이에서, 전열 가스 공급 유로 및 전열 가스 배기 유로를 거쳐서 전열 가스를 배기하는 공정과, 처리실 내에 불활성 가스를 공급하는 공정을 포함한다. 그리고, 정전척의 표면과 피처리체의 이면과의 사이의 압력이, 처리실 내의 압력 이하로 된 상태에서 피처리체의 정전 흡착을 해제하여, 피처리체를 정전척 위로부터 이탈시킨다.