公开(公告)号：KR1020160019379A

公开(公告)日：2016-02-19

申请号：KR1020150111573

申请日：2015-08-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  하라히로미 ,  김진현

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67086

Abstract: 본발명에따르면, 기판을양호하게액처리할수 있는기판액처리장치가제공된다. 본발명에서는, 기판(2)을처리액으로처리하는액처리부(3)와, 상기처리액을공급하는처리액공급부(4), 그리고상기처리액을희석하기위한희석액을공급하는희석액공급부(5)를갖는기판액처리장치(1)에있어서, 상기처리액의농도와대기압을검출시키고, 검출된상기처리액의농도가미리설정된농도(설정농도)가되도록상기희석액공급부(5)로부터공급하는상기희석액의양을제어시키는것으로하고, 상기설정농도를, 검출된대기압에따라서보정시키는것으로했다.

Abstract translation: 根据本发明，提供一种可以用液体适当地处理基板的基板液体处理装置。 基板液体处理装置（1）包括用处理液处理基板（2）的液体处理部（3） 供给处理液的处理液供给部（4） 以及供给用于稀释处理液的稀释液的稀释液供给部（5）。 基板液体处理装置检测处理液的浓度和大气压，并控制从稀释液供给部（5）供给的稀释液量，使检测出的处理液浓度成为规定浓度（设定 浓度）。 根据检测到的大气压力校正设定浓度。