公开(公告)号：KR100627782B1

公开(公告)日：2006-09-25

申请号：KR1020047013333

申请日：2003-02-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가사이시게루 ,  이토마사히데 ,  나가사와순로

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67161 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/68707

Abstract: 본 발명에 의한 피처리체 수납 용기체는, 운반 가능하게 구성된 용기 본체와, 상기 용기 본체의 내부에 설치되어, 복수매의 피처리체를 지지할 수 있는 피처리체 지지부재와, 상기 용기 본체의 일측 측면에 형성되고, 상기 용기 본체의 내부와 연통하는 접합 포트와, 상기 접합 포트에 설치된 개폐 가능한 게이트 밸브와, 상기 용기 본체의 내부의 분위기를 배기할 수 있도록 개폐 가능하게 이루어진 배기 포트를 구비한다. 상기 게이트 밸브 및 상기 배기 포트의 폐쇄시에는, 상기 용기 본체의 내부가 밀폐 상태로 된다.

公开(公告)号：KR1020040086450A

公开(公告)日：2004-10-08

申请号：KR1020047013333

申请日：2003-02-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 가사이시게루 ,  이토마사히데 ,  나가사와순로

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67161 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/68707

Abstract: 본 발명에 의한 피처리체 수납 용기체는, 운반 가능하게 구성된 용기 본체와, 상기 용기 본체의 내부에 설치되어, 복수매의 피처리체를 지지할 수 있는 피처리체 지지부재와, 상기 용기 본체의 일측 측면에 형성되고, 상기 용기 본체의 내부와 연통하는 접합 포트와, 상기 접합 포트에 설치된 개폐 가능한 게이트 밸브와, 상기 용기 본체의 내부의 분위기를 배기할 수 있도록 개폐 가능하게 이루어진 배기 포트를 구비한다. 상기 게이트 밸브 및 상기 배기 포트의 폐쇄시에는, 상기 용기 본체의 내부가 밀폐 상태로 된다.