公开(公告)号：KR101722307B1

公开(公告)日：2017-03-31

申请号：KR1020147029665

申请日：2013-02-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다다로 ,  고마츠토모히토 ,  가사이시게루 ,  나카고미준

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065 ,  H01P5/103

CPC classification number: H01Q1/26 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/463

Abstract: 마이크로파전송로를전송된마이크로파를챔버내에방사하여, 표면파플라즈마를생성하기위한마이크로파방사안테나(45)는, 도체로이루어지는안테나본체(121)와, 안테나본체(121)에설치된, 마이크로파를방사하는복수의슬롯(122)과, 안테나본체(121)에설치된, 처리가스를챔버내에토출하는복수의가스토출구멍(125)을갖고, 마이크로파에의해표면에금속표면파가형성되고, 이금속표면파에의해표면파플라즈마가생성되고, 안테나본체(121)의금속표면의적어도일부가표면파플라즈마로부터직류적으로절연되도록유전체층(126)이설치되어있다.

Abstract translation: 用于将通过微波传输路径传输的微波辐射到腔室中以产生表面波等离子体的微波辐射天线45包括由导体制成的天线主体121和多个微波辐射天线 以及多个气体排出孔125，用于将处理气体排出到设置在天线主体121中的腔室中。金属表面波通过微波形成在表面上，并且表面波 产生等离子体，形成电介质层126，使得天线主体121的至少一部分金属表面与表面波等离子体直流隔离。

公开(公告)号：KR1020140137450A

公开(公告)日：2014-12-02

申请号：KR1020147029665

申请日：2013-02-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다다로 ,  고마츠토모히토 ,  가사이시게루 ,  나카고미준

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065 ,  H01P5/103

CPC classification number: H01Q1/26 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/463 ,  H01Q1/38

Abstract: 마이크로파 전송로를 전송된 마이크로파를 챔버 내에 방사하여, 표면파 플라즈마를 생성하기 위한 마이크로파 방사 안테나(45)는, 도체로 이루어지는 안테나 본체(121)와, 안테나 본체(121)에 설치된, 마이크로파를 방사하는 복수의 슬롯(122)과, 안테나 본체(121)에 설치된, 처리 가스를 챔버 내에 토출하는 복수의 가스 토출 구멍(125)을 갖고, 마이크로파에 의해 표면에 금속 표면파가 형성되고, 이 금속 표면파에 의해 표면파 플라즈마가 생성되고, 안테나 본체(121)의 금속 표면의 적어도 일부가 표면파 플라즈마로부터 직류적으로 절연되도록 유전체층(126)이 설치되어 있다.