公开(公告)号：KR100993453B1

公开(公告)日：2010-11-09

申请号：KR1020080058429

申请日：2008-06-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카야마히데키 ,  야마다요우헤이

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00

Abstract: 본 발명은 반송실의 대형화를 회피할 수 있고, 게다가 처리 챔버의 기판 반송을 위한 개구를 넓게 하지 않으며, 기구부에 과도한 부담을 주지 않는 기판 반송 장치 및 그와 같은 기판 반송 장치를 탑재한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 기판 반송 장치는 유리 기판을 지지한 상태에서 처리 챔버(10) 내로 반송하는 피크(52)와, 피크(52)를 구동하는 메인 구동 기구(60)를 갖고, 피크(52)는 베이스부(56b)와, 베이스부(56b)로부터 포크 형상으로 연장되는 복수의 제 1 지지 부재(56a)와, 제 1 지지 부재(56b)에 진출 퇴피 가능하게 접속된 제 2 지지 부재(57a)를 갖고, 이 제 1 지지 부재(56a)와 제 2 지지 부재(57b)로 신축 가능한 지지 부재를 구성하며, 지지 부재를 신장시킨 상태로 기판이 반송된다.

公开(公告)号：KR100654789B1

公开(公告)日：2006-12-08

申请号：KR1020060015256

申请日：2006-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카야마히데키

IPC: G02F1/13 ,  H01L21/02

Abstract: 복수의 진공 처리실(진공 처리 장치)에 공용의 덮개 개폐 기구를 제공한다. 덮개 개폐 기구(220)는, 차륜(201a)을 구비해서 자주(自走)함으로써 복수의 진공 처리 장치(100) 사이를 이동 가능한 대차(201)와, 대차(201)상에 설치되고, 수직 상태와 수평 상태 사이에서 굴곡 가능한 가동 레일(202a)을 구비한 한 쌍의 레일(202)과, 이 레일(202)상을 이동하는 가동 베어링부(203)를 구비하고 있고, 한 쌍의 가동 베어링부(203)를 덮개(15)의 한 쌍의 지지 축(16)에 끼워넣어, 덮개(15)를 연직 상방으로 부상시켜 기체부(14)로부터 이간시키고, 다음으로, 덮개(15)를 지지한 가동 베어링부(203)를 대차(201)상으로 이동시키는 것에 의해 기체부(14)의 상부를 개방시킨다.

公开(公告)号：KR100794807B1

公开(公告)日：2008-01-15

申请号：KR1020040038427

申请日：2004-05-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카야마히데키

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은 높이 방향의 설치 스페이스를 증대시키는 일없이, 수평 방향의 반송 거리를 길게 할 수 있는 기판 반송 장치를 제공한다. 베이스 플레이트(71) 및 복수의 슬라이드 플레이트(72 내지 74)를 적층한 다단 슬라이드식의 기판 반송 장치(70)에 있어서, 최상단의 슬라이드 플레이트(74)에 재치된 기판(G)의 반송 동작을 실시하도록 다단에 적층된 베이스 플레이트(71) 및 슬라이드 플레이트(72 내지 73)의 각각에, 높이 방향에 간섭하지 않도록 교대로 비켜 놓아서 개구부(71b) 및 개구부(72b 내지 73b)를 형성하고, 그 내부에 풀리(71c), 풀리(72c 내지 73c) 및 벨트(71d), 벨트(72d 내지 73d) 등의 슬라이드 구동 기구부를 수용한 구성으로 했다.

公开(公告)号：KR1020060025214A

公开(公告)日：2006-03-20

申请号：KR1020060015256

申请日：2006-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카야마히데키

IPC: G02F1/13 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67772 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68

Abstract: 복수의 진공 처리실(진공 처리 장치)에 공용의 덮개 개폐 기구를 제공한다. 덮개 개폐 기구(220)는, 차륜(201a)을 구비해서 자주(自走)함으로써 복수의 진공 처리 장치(100) 사이를 이동 가능한 대차(201)와, 대차(201)상에 설치되고, 수직 상태와 수평 상태 사이에서 굴곡 가능한 가동 레일(202a)을 구비한 한 쌍의 레일(202)과, 이 레일(202)상을 이동하는 가동 베어링부(203)를 구비하고 있고, 한 쌍의 가동 베어링부(203)를 덮개(15)의 한 쌍의 지지 축(16)에 끼워넣어, 덮개(15)를 연직 상방으로 부상시켜 기체부(14)로부터 이간시키고, 다음으로, 덮개(15)를 지지한 가동 베어링부(203)를 대차(201)상으로 이동시키는 것에 의해 기체부(14)의 상부를 개방시킨다.

Abstract translation: 目的：提供一种转印基板和真空处理装置的装置和方法，以便不增加真空处理室的高度而传送大尺寸基板，从而防止基板处理的生产量降低 以增加房间的体积。 构成：用于转移衬底的装置包括能够滑动下一个上面的板的衬底支撑板（74）和多个臂板（72,73,74）。 臂板层压在基板支撑板下方以具有多级型。 每个臂板在上部具有开口，并且用于滑动滑板的驱动单元安装在开口中。 驱动单元具有一组滑轮和皮带，其中皮带的一部分连接到下一个上面的平板。 支撑板和臂板通过每个驱动单元的运动在水平方向上从真空处理室延伸到基板处理室。

公开(公告)号：KR1020080112986A

公开(公告)日：2008-12-26

申请号：KR1020080058429

申请日：2008-06-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카야마히데키 ,  야마다요우헤이

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67069 ,  B25J11/0095 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/141

Abstract: A substrate processing apparatus and a substrate transfer device are provided to lengthen a supporting member of a peak in return of a substrate so that machinery operating a peak is not need to be inserted within a process chamber. A substrate processing apparatus comprises a process chamber, a substrate transfer device, and a transfer room. The process chamber performs predetermined processing to the substrate of a substrate mounting table. The substrate transfer device returns the substrate in the substrate mounting table. The transfer room accommodates the substrate transfer device and is connected to the process chamber. The substrate transfer device has a peak(52) and a main drive machinery(60). The peak enters into the process chamber with supporting substrate and returns the substrate in the substrate mounting table. The main drive machinery operates the peak. The peak has a base portion(56b), a plurality of supporting members, and a drive machinery. The supporting member is extended as a fork shape from the base portion and supports the substrate. The sub drive mactlhinery operates the supporting member flexibly. The substrate is returned with lengthening the supporting member.

Abstract translation: 提供基板处理装置和基板转印装置以延长基板的返回的峰值的支撑构件，使得操作峰值的机器不需要插入处理室中。 基板处理装置包括处理室，基板输送装置和转移室。 处理室对基板安装台的基板执行预定的处理。 基板传送装置将基板返回到基板安装台。 转移室容纳衬底转移装置并连接到处理室。 基板转印装置具有峰（52）和主驱动机构（60）。 峰进入具有支撑衬底的处理室，并将衬底返回到衬底安装台中。 主要驱动机械运行高峰。 峰具有基部（56b），多个支撑构件和驱动机构。 支撑构件从基部延伸为叉状并支撑基板。 副驱动装置灵活地操作支撑构件。 通过延长支撑构件返回衬底。

公开(公告)号：KR100830730B1

公开(公告)日：2008-05-20

申请号：KR1020060083861

申请日：2006-08-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카고미요이치 ,  나카야마히데키

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명의 과제는 반송실내의 반송 장치를 설치 장소의 높이의 제한에 관계없이 기판 처리 장치 외부로 반출할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
기판 처리 장치(1)는, 진공중에서 기판(S)에 소정의 처리를 실시하는 처리실(10a 내지 10c)과, 처리실(10a 내지 10c)에 연결되고, 진공중에 유지되는 동시에, 기판(S)을 반송하는 반송 장치(50)를 구비한 반송실(20)과, 반송실(20)과 대기측의 기판 수납 용기(40) 사이에 설치된 로드록실(30)을 구비하며, 로드록실(30)의 하방에는 공간(310)이 존재하고, 반송 장치(50)는 상부 구조(500A)와 하부 구조(500B)로 분할 가능하고, 상부 구조(500A)는 반송실(20)의 상방으로부터 기판 처리 장치 외부로 반출 가능하며, 하부 구조(500B)는 반송실(20)의 하측으로부터 로드록실(30)의 하방의 공간(310)을 통하여 장치 외부로 반출 가능하다.

公开(公告)号：KR100978409B1

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：KR1020080027985

申请日：2008-03-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스에키히데히토 ,  오노요시히사 ,  나카야마히데키

IPC: H01L21/68

公开(公告)号：KR100715067B1

公开(公告)日：2007-05-07

申请号：KR1020040037940

申请日：2004-05-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카야마히데키

IPC: G02F1/13

Abstract: 진공 예비실의 용적을 증대시키지 않고, 진공 예비실을 경유한 비교적 대형의 기판의 반송을 실행한다.
진공 처리실에 연접된 로드록실(20)의 내부에, 베이스 플레이트(71) 및 복수의 슬라이드 플레이트(72 내지 74)를 적층한 다단 슬라이드식으로 반송 동작을 실행하는 구조의 기판 반송 기구(70)와, 기판(G)의 주변부를 지지하는 버퍼 플레이트(81, 82) 및 기판(G)의 중앙부를 지지하는 지지 핀(85)을 구비한 기판 교환 기구(80)를 설치하고, 기판(G)을 휘게 하지 않으면서, 대기측에 설치된 대기측 반송 기구(50)의 반송 아암(51)과 기판 반송 기구(70) 사이에서 기판(G)의 교환 동작을 실행한다.

公开(公告)号：KR1020070026220A

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：KR1020060083861

申请日：2006-08-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카고미요이치 ,  나카야마히데키

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67201 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67742

Abstract: A substrate processing apparatus, a loadlock chamber unit, and a transfer apparatus unloading method are provided to unload easily a transfer apparatus from the substrate processing apparatus itself regardless of the height of an installation place by dividing the transfer apparatus into an upper structure and a lower structure and unloading the upper structure through an upper portion of a transfer chamber and the lower structure through a lower space of the loadlock chamber. A substrate processing apparatus includes process chambers, a transfer chamber(20) with a transfer apparatus for transferring substrates to the process chambers, and a loadlock chamber(30) between the transfer chamber and a substrate cassette. A predetermined space exists under the loadlock chamber. The transfer apparatus is capable of being divided into an upper structure and a lower structure. The upper structure of the transfer apparatus is unloaded through an upper portion of the transfer chamber. The lower structure of the transfer apparatus is unloaded through the predetermined space under the loadlock chamber.

Abstract translation: 提供了基板处理装置，负载锁定室单元和传送装置卸载方法，以便通过将传送装置分割成上部结构和下部结构来轻松地从基板处理装置自身卸载传送装置，而不管安装位置的高度如何 结构并通过传送室的上部和下部结构通过负载锁定室的下部空间卸载上部结构。 基板处理装置包括处理室，具有用于将基板传送到处理室的传送装置的传送室（20）和传送室与基板盒之间的负载锁定室（30）。 在负载锁定室下面存在预定的空间。 传送装置能够被分成上部结构和下部结构。 传送装置的上部结构通过传送室的上部被卸载。 传送装置的下部结构通过负载锁定室下面的预定空间被卸载。

公开(公告)号：KR1020070026216A

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：KR1020060083846

申请日：2006-08-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나카야마히데키

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  B25J9/00 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B65G49/061 ,  B65G49/063 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68792

Abstract: A lifter and a transfer apparatus are provided to decrease the size of lifter by reducing remarkably the load of a lifter driving unit using an assist mechanism. A lifter includes a lifting unit, a lifter driving unit, and an assist mechanism. The lifting unit(550) for supporting a weight and moving the weight up and down. The lifter driving unit(560) is used for moving the lifting unit up and down. The assist mechanism(570) is used for applying an assistive force against the load of the weight applied to the lifter driving unit. The assist mechanism includes a spring. A coil spring is used as the spring. The lifter driving unit is composed of a ball screw and a driving part for rotating the ball screw.

Abstract translation: 提供一种提升机和传送装置，通过使用辅助机构显着降低升降机驱动单元的负荷来减小升降机的尺寸。 升降机包括提升单元，升降器驱动单元和辅助机构。 提升单元（550），用于支撑重物并上下移动重物。 升降器驱动单元（560）用于上下移动提升单元。 辅助机构（570）用于对施加到升降器驱动单元的重量的负载施加辅助力。 辅助机构包括弹簧。 螺旋弹簧用作弹簧。 升降器驱动单元由滚珠丝杠和用于旋转滚珠丝杠的驱动部分组成。