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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019960009005A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019950028053
申请日：1995-08-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명에 따른 처리장치는, 피처리체를 재치하는 절연체 및 이것의 내부에 내장되어 피처리체를 가열하는 저항 발열체를 갖춘 히터와, 처리실 밖으로부터 이 안에 연장되어 나온 급전선 및 이 급전선과 저항 발열체를 접속하는 단자를 갖춘 급전기구, 급전선 내 처리실 내에 연장되어 나온 부분 및 단자를 에워싸는 금속관을 구비하고 있다. 또한, 처리실 내의 배기가스를 배기관을 매개로 흡수기에 의해 가열하는 제1히터 및, 배기관의 각 장소에서 독립하여 배기간 내를 흐르는 배기가스를 가열하는 제2히터를 구비한다.
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公开(公告)号：KR100280772B1
公开(公告)日：2001-02-01
申请号：KR1019950028053
申请日：1995-08-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명에 따른 처리장치는, 피처리체를 재치하는 절연체 및 이것의 내부에 내장되어 피처리체를 가열하는 저항 발열체를 갖춘 히터와, 처리실 밖으로부터 이 안에 연장되어 나온 급전선 및 이 급전선과 저항 발열체를 접속하는 단자를 갖춘 급전기구, 급전선 내 처리실 내에 연장되어 나온 부분 및 단자를 에워싸는 금속관을 구비하고 있다. 또한, 처리실 내의 배기가스를 배기관을 매개로 흡수기에 의해 가열하는 제1히터 및, 배기관의 각 장소에서 독립하여 배기관 내를 흐르는 배기가스를 가열하는 제2히터를 구비한다.
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公开(公告)号：KR100165555B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019920004984
申请日：1992-03-26
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67126 , H01L21/67265 , H01L21/67745 , Y10S414/136 , Y10S414/137 , Y10S414/139
Abstract: 제1의 분위기와 제2의 분위기와의 사이에 배치되고, 상기 제1의 분위기로부터 반송된 웨이퍼를 수용하고, 상기 제1의 분위기와 차단된후, 상기 제2의 분위기와 동일하거나 또는 근사한 분위기로 되고, 그후, 상기 웨이퍼를 상기 제2의 분위기로 이송하기 위하여, 상기 제2의 분위기에 대하여 개방되는 로드록장치. 이 로드록장치는, 로드록실과 이 로드록실에 배치되고, 복수의 웨이퍼를 상하방향으로 간격을 두고 수납하는 수납수단과, 이 수납수단내의 복수의 웨이퍼 중 하나의 웨이퍼를 유지하기 위한 유지수단과, 이 유지수단에 의하여 유지된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전수단과, 회전하는 상기 웨이퍼에 광을 조사함으로써 얻은 정보에 의거하여, 웨이퍼의 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남을 검출하기 위한 어긋남 검출수단과를 구비한다.
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公开(公告)号：KR100165556B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019920004985
申请日：1992-03-26
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67126 , H01L21/67745 , H01L21/681 , Y10S414/136 , Y10S414/137 , Y10S414/139
Abstract: 제1의 분위기와 제2의 분위기와의 사이에 배치되고, 상기 제1의 분위기로 부터 반송된 웨이퍼를 수용하고, 상기 제1의 분위기와 차단된 후, 상기 제2의 분위기와 동일 또는 가까운 분위기로 되고, 그 후, 상기 웨이퍼를 상기 제2의 분위기로 이송하기 위하여, 상기 제2의 분위기에 대하여 개방된 로드록 장치.
이 로드록 장치는, 로드록실과, 이 로드록실에 배치되고, 웨이퍼를 보호지지하기 위한 지지수단과, 이 보호지지수단에 의하여 지지된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전수단과, 회전하는 상기 웨이퍼에 광을 조사함으로서 얻어진 정보에 의하여, 웨이퍼의 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 방향 어긋남을 검출하기 위한 어긋남 검출수단을 구비하고 있다. -
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