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公开(公告)号：KR1020080081360A
公开(公告)日：2008-09-09
申请号：KR1020087018780
申请日：2007-02-07
Applicant: 쿠어스택 가부시키가이샤 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: Provided is a planar heater having a substantially uniform heating temperature with a carbon wire heat generating body. The inner region and the outer region have different in-plane arrangement densities of carbon wire heat generating bodies (CW). A power supply terminal section having a connecting line for carrying electricity to a heat generating body (CW) is arranged at the center portion on the rear side of a silica glass board-like body. The connecting wire of the inner carbon wire heat generating body is connected at the center portion of the silica glass board-like body, the connecting lines (3a, 3b) of the outer carbon wire heat generating body are extended to the outer regions from the center portion of the silica glass board-like body, without crossing the inner carbon wire heat generating body (CW), and are connected with the outer carbon wire heat generating body (CW).
Abstract translation: 本发明提供一种具有与碳丝发热体基本均匀的加热温度的平面加热器。 内部区域和外部区域具有不同的碳线发热体的面内排列密度（CW）。 在石英玻璃板状体的后侧的中央部配置具有用于向发热体（CW）传送电力的连接线的电源端子部。 内碳丝发热体的连接线在石英玻璃板状体的中心部分连接，外部碳线发热体的连接线（3a，3b）从外部碳线发热体延伸到外部区域 石墨玻璃板状体的中心部分，不与内碳丝发热体（CW）交叉，并与外碳丝发热体（CW）连接。
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公开(公告)号：KR101139612B1
公开(公告)日：2012-05-08
申请号：KR1020097024229
申请日：2007-02-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: 대략 균일한 가열 온도로 하는 것이 가능한 카본 와이어 발열체를 구비한 면형상 히터를 제공한다. 카본 와이어 발열체(CW)의 면내 배치 밀도가 내측 영역과 외측 영역에서 상이하다. 발열체(CW)에 통전하는 접속선을 갖는 전원 단자부가, 실리카 유리 판형상체의 이면측의 중앙부에 배치된다. 내측의 카본 와이어 발열체의 접속선은 실리카 유리 판형상체의 중앙부에서 접속되고, 외측의 카본 와이어 발열체의 접속선(3a, 3b)은 내측의 카본 와이어 발열체(CW)와 교차하지 않고 실리카 유리 판형상체의 중앙부로부터 외측 영역으로 연장되어 외측의 카본 와이어 발열체(CW)와 접속된다.
카본 와이어, 발열체, 히터-
公开(公告)号：KR100956834B1
公开(公告)日：2010-05-11
申请号：KR1020087018780
申请日：2007-02-07
Applicant: 쿠어스택 가부시키가이샤 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: 대략 균일한 가열 온도로 하는 것이 가능한 카본 와이어 발열체를 구비한 면형상 히터를 제공한다. 카본 와이어 발열체(CW)의 면내 배치 밀도가 내측 영역과 외측 영역에서 상이하다. 발열체(CW)에 통전하는 접속선을 갖는 전원 단자부가, 실리카 유리 판형상체의 이면측의 중앙부에 배치된다. 내측의 카본 와이어 발열체의 접속선은 실리카 유리 판형상체의 중앙부에서 접속되고, 외측의 카본 와이어 발열체의 접속선(3a, 3b)은 내측의 카본 와이어 발열체(CW)와 교차하지 않고 실리카 유리 판형상체의 중앙부로부터 외측 영역으로 연장되어 외측의 카본 와이어 발열체(CW)와 접속된다.
카본 와이어, 발열체, 히터-
公开(公告)号：KR1020120101165A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：KR1020127020098
申请日：2009-09-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/45544 , B29C66/71 , C23C16/45517 , C23C16/45527 , C23C16/45551 , C23C16/45563 , H01L21/02164 , H01L21/02197 , H01L21/0228 , H01L21/3141 , H01L21/31608 , H01L21/31691
Abstract: 본 발명은 진공 용기 내에서, 제1 반응 가스와 제2 반응 가스를 교대로 공급하여 배기하는 사이클을 복수회 실행함으로써, 기판의 표면에 박막을 성막하는 성막 장치에 있어서, 상기 진공 용기 내에 설치되고, 각각 기판의 배치 영역을 포함하는 복수의 하부 부재와, 상기 복수의 하부 부재의 각각에 대향하여 설치되며, 상기 배치 영역과의 사이에 처리 공간을 형성하는 복수의 상부 부재와, 상기 처리 공간 내에 가스를 공급하기 위한, 제1 반응 가스 공급부, 제2 반응 가스 공급부, 및, 상기 제1 반응 가스를 공급하는 타이밍과, 상기 제2 반응 가스를 공급하는 타이밍 사이에 퍼지 가스를 공급하기 위한 퍼지 가스 공급부와, 상기 처리 공간의 둘레 방향을 따라 형성되고, 그 처리 공간 내와 그 처리 공간의 외부인 상기 진공 용기 내의 분위기를 연통하기 위한 배기용 개구부와, 상기 처리 공간을, 상기 배기용 개구부 및 상기 진공 용기 내의 분위기를 통해 진공 배기하기 위한 진공 배기 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 성막 장치이다.
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公开(公告)号：KR1019960009005A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019950028053
申请日：1995-08-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명에 따른 처리장치는, 피처리체를 재치하는 절연체 및 이것의 내부에 내장되어 피처리체를 가열하는 저항 발열체를 갖춘 히터와, 처리실 밖으로부터 이 안에 연장되어 나온 급전선 및 이 급전선과 저항 발열체를 접속하는 단자를 갖춘 급전기구, 급전선 내 처리실 내에 연장되어 나온 부분 및 단자를 에워싸는 금속관을 구비하고 있다. 또한, 처리실 내의 배기가스를 배기관을 매개로 흡수기에 의해 가열하는 제1히터 및, 배기관의 각 장소에서 독립하여 배기간 내를 흐르는 배기가스를 가열하는 제2히터를 구비한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019920006749A
公开(公告)日：1992-04-28
申请号：KR1019910015124
申请日：1991-08-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01R1/67
Abstract: 내용 없음
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公开(公告)号：KR101271800B1
公开(公告)日：2013-06-07
申请号：KR1020127020098
申请日：2009-09-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/45544 , B29C66/71 , C23C16/45517 , C23C16/45527 , C23C16/45551 , C23C16/45563 , H01L21/02164 , H01L21/02197 , H01L21/0228 , H01L21/3141 , H01L21/31608 , H01L21/31691
Abstract: 본 발명은 진공 용기 내에서, 제1 반응 가스와 제2 반응 가스를 교대로 공급하여 배기하는 사이클을 복수회 실행함으로써, 기판의 표면에 박막을 성막하는 성막 장치에 있어서, 상기 진공 용기 내에 설치되고, 각각 기판의 배치 영역을 포함하는 복수의 하부 부재와, 상기 복수의 하부 부재의 각각에 대향하여 설치되며, 상기 배치 영역과의 사이에 처리 공간을 형성하는 복수의 상부 부재와, 상기 처리 공간 내에 가스를 공급하기 위한, 제1 반응 가스 공급부, 제2 반응 가스 공급부, 및, 상기 제1 반응 가스를 공급하는 타이밍과, 상기 제2 반응 가스를 공급하는 타이밍 사이에 퍼지 가스를 공급하기 위한 퍼지 가스 공급부와, 상기 처리 공간의 둘레 방향을 따라 형성되고, 그 처리 공간 내와 그 처리 공간의 외부인 상기 진공 용기 내의 분위기를 연통하기 위� � 배기용 개구부와, 상기 처리 공간을, 상기 배기용 개구부 및 상기 진공 용기 내의 분위기를 통해 진공 배기하기 위한 진공 배기 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 성막 장치이다.
Abstract translation: 一种成膜装置，通过在真空容器内交替地供给和排出第一反应气体和第二反应气体来进行基板的排气循环，从而在基板的表面形成薄膜， 多个下部构件，所述多个下部构件布置成面对所述多个下部构件中的每一个并且在所述下部构件和所述布置区域之间形成处理空间; 在用于供给第一反应气体的时刻和供给用于供给第一反应气体的第二反应气体的时刻之间供给吹扫气体的吹扫气体，第一反应气体供给部件，第二反应气体供给部件， 以及沿着处理空间的圆周方向形成并与处理空间外部的真空室内的大气连通的真空室 和用于排气的开口，一个膜形成处理空间的装置，其特征在于，它包括一个真空排气装置，用于通过在所述排气口的气氛中，并在真空容器抽真空。
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公开(公告)号：KR1020090127195A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：KR1020097024229
申请日：2007-02-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: Provided is a planar heater having a substantially uniform heating temperature with a carbon wire heat generating body. The inner region and the outer region have different in-plane arrangement densities of carbon wire heat generating bodies (CW). A power supply terminal section having a connecting line for carrying electricity to a heat generating body (CW) is arranged at the center portion on the rear side of a silica glass board-like body. The connecting wire of the inner carbon wire heat generating body is connected at the center portion of the silica glass board-like body, the connecting lines (3a, 3b) of the outer carbon wire heat generating body are extended to the outer regions from the center portion of the silica glass board-like body, without crossing the inner carbon wire heat generating body (CW), and are connected with the outer carbon wire heat generating body (CW).
Abstract translation: 本发明提供一种具有与碳丝发热体基本均匀的加热温度的平面加热器。 内部区域和外部区域具有不同的碳线发热体的面内排列密度（CW）。 在石英玻璃板状体的后侧的中央部配置具有用于向发热体（CW）传送电力的连接线的电源端子部。 内碳丝发热体的连接线在石英玻璃板状体的中心部分连接，外部碳线发热体的连接线（3a，3b）从外部碳线发热体延伸到外部区域 石墨玻璃板状体的中心部分，不与内碳丝发热体（CW）交叉，并与外碳丝发热体（CW）连接。
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公开(公告)号：KR100280772B1
公开(公告)日：2001-02-01
申请号：KR1019950028053
申请日：1995-08-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명에 따른 처리장치는, 피처리체를 재치하는 절연체 및 이것의 내부에 내장되어 피처리체를 가열하는 저항 발열체를 갖춘 히터와, 처리실 밖으로부터 이 안에 연장되어 나온 급전선 및 이 급전선과 저항 발열체를 접속하는 단자를 갖춘 급전기구, 급전선 내 처리실 내에 연장되어 나온 부분 및 단자를 에워싸는 금속관을 구비하고 있다. 또한, 처리실 내의 배기가스를 배기관을 매개로 흡수기에 의해 가열하는 제1히터 및, 배기관의 각 장소에서 독립하여 배기관 내를 흐르는 배기가스를 가열하는 제2히터를 구비한다.
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公开(公告)号：KR100138752B1
公开(公告)日：1998-06-15
申请号：KR1019910015124
申请日：1991-08-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01R1/67
CPC classification number: G01R1/0735
Abstract: 피검사체의 전극배열에 대응하는 다수의 프로우브를 가지는 복수의 프로우브부와, 프로우브부에 각각 연이어 접속되는 리이드 패턴부와, 모든 리이드 패턴부를 지지하는 지지부로 구성되고, 수정판의 결정축(Z)과 직교하는 (Z)면을 에칭함으로써 프로우브의 긴쪽방향이 수정판의 X축 또는 Y축에 대하여 기운 방향으로 되도록 형성된 수정 프로우브 본체와, 수정 프로우브 본체상에 형성된 금속 패턴층과 수정 프로우브를 어댑터를 개재하여 부착되는 테스트기를 구비하는 프로우브 장치.
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