公开(公告)号：KR100781406B1

公开(公告)日：2007-12-03

申请号：KR1020027017080

申请日：2001-06-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마우치도루 ,  오카다기미노리 ,  네즈다다히토

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G05B19/0428 ,  G05B2219/2208 ,  G05B2219/24119 ,  G05B2219/25156 ,  G05B2219/25209 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: An interlock system can discriminate a controller in which an abnormality occurs in a control system of a semiconductor manufacturing apparatus in which a plurality of controllers are connected through a network. A processing system contains at least one processing chamber which performs a semiconductor manufacturing process. A conveyance system takes an object to be processed in and out of the processing chamber. The control system includes at least one apparatus controller, which controls the processing system and the conveyance system, and an equipment controller, which manages the apparatus controller. The apparatus controller and the equipment controller are communicably connected through a network. The apparatus controller and the equipment controller are also connected via a hard wire so as to transmit a status signal of the apparatus controller and the equipment controller to the control system so that a presence of each apparatus controller and a status of connection between the controllers can be detected without using communication through the network.

公开(公告)号：KR1020030009528A

公开(公告)日：2003-01-29

申请号：KR1020027017080

申请日：2001-06-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마우치도루 ,  오카다기미노리 ,  네즈다다히토

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G05B19/0428 ,  G05B2219/2208 ,  G05B2219/24119 ,  G05B2219/25156 ,  G05B2219/25209 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 연동 시스템은 네트워크를 거쳐서 제어기가 접속되는 반도체 제조 장치의 제어 시스템에서 이상이 있는 제어기를 즉시 판정할 수 있다. 제어 시스템은 반도체 제조 공정을 수행하는 적어도 하나의 처리 챔버를 포함하는 처리 시스템을 제어하는 적어도 하나의 장치 제어기와, 처리 챔버 내외에서 처리될 객체를 운반하는 운반 시스템과, 장치 제어기를 관리하는 장비 제어기를 포함한다. 장치 제어기와 장비 제어기는 네트워크를 거쳐서 통신할 수 있게 접속된다. 2 종류의 제어기가 배선을 거쳐서 접속되어, 제어 시스템으로 그들 제어기의 상태 신호를 전송하여, 각 장치 제어기의 존재와 제어기 사이의 접속 상태를 네트워크를 거친 통신을 이용하지 않고서도 검출할 수 있다.

Abstract translation: 互锁系统可以通过网络区分其中多个控制器连接的半导体制造装置的控制系统中发生异常的控制器。 处理系统包含执行半导体制造工艺的至少一个处理室。 传送系统将待处理物体处理进出处理室。 控制系统包括至少一个控制处理系统和输送系统的设备控制器和管理设备控制器的设备控制器。 设备控制器和设备控制器通过网络可通信地连接。 设备控制器和设备控制器也通过硬线连接，以便将设备控制器和设备控制器的状态信号发送到控制系统，使得每个设备控制器的存在和控制器之间的连接状态可以 无需通过网络进行通信就可以检测到。