公开(公告)号：KR1020140010118A

公开(公告)日：2014-01-23

申请号：KR1020137025636

申请日：2012-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아라키신이치로 ,  마츠다가츠히코 ,  오카다기미노리 ,  이토다이치 ,  나카지마스스무 ,  호리우치노부히로

IPC: G06F11/30 ,  G06F11/32 ,  G06F11/34

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31435 ,  G05B2219/31462 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/321 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 컴퓨터(2A)는 성막 장치(20A)에 관한 정보를 처리한다. 컴퓨터(2A)는, 성막 장치(20A)에 이상이 발생한 경우에, 발생한 이상에 관한 이상 정보를 표시한다. 컴퓨터(2A)는, 발생한 이상에 대처했을 때의 대처 정보를 접수한다. 컴퓨터(2A)는, 접수한 대처 정보를, 발생한 이상을 특정하기 위한 이상 특정 정보에 대응지어 기억한다. 컴퓨터(2A)는 기억한 이상 특정 정보 및 대처 정보를, 서버 컴퓨터(1)로 출력한다. 성막 장치(20B)에 이상이 발생한 경우, 컴퓨터(2B)는 이상 특정 정보에 대응하는 대처 정보를 서버 컴퓨터(1)로부터 수신하여, 표시한다.

公开(公告)号：KR100781406B1

公开(公告)日：2007-12-03

申请号：KR1020027017080

申请日：2001-06-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마우치도루 ,  오카다기미노리 ,  네즈다다히토

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G05B19/0428 ,  G05B2219/2208 ,  G05B2219/24119 ,  G05B2219/25156 ,  G05B2219/25209 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: An interlock system can discriminate a controller in which an abnormality occurs in a control system of a semiconductor manufacturing apparatus in which a plurality of controllers are connected through a network. A processing system contains at least one processing chamber which performs a semiconductor manufacturing process. A conveyance system takes an object to be processed in and out of the processing chamber. The control system includes at least one apparatus controller, which controls the processing system and the conveyance system, and an equipment controller, which manages the apparatus controller. The apparatus controller and the equipment controller are communicably connected through a network. The apparatus controller and the equipment controller are also connected via a hard wire so as to transmit a status signal of the apparatus controller and the equipment controller to the control system so that a presence of each apparatus controller and a status of connection between the controllers can be detected without using communication through the network.

公开(公告)号：KR1020030009528A

公开(公告)日：2003-01-29

申请号：KR1020027017080

申请日：2001-06-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마우치도루 ,  오카다기미노리 ,  네즈다다히토

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G05B19/0428 ,  G05B2219/2208 ,  G05B2219/24119 ,  G05B2219/25156 ,  G05B2219/25209 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 연동 시스템은 네트워크를 거쳐서 제어기가 접속되는 반도체 제조 장치의 제어 시스템에서 이상이 있는 제어기를 즉시 판정할 수 있다. 제어 시스템은 반도체 제조 공정을 수행하는 적어도 하나의 처리 챔버를 포함하는 처리 시스템을 제어하는 적어도 하나의 장치 제어기와, 처리 챔버 내외에서 처리될 객체를 운반하는 운반 시스템과, 장치 제어기를 관리하는 장비 제어기를 포함한다. 장치 제어기와 장비 제어기는 네트워크를 거쳐서 통신할 수 있게 접속된다. 2 종류의 제어기가 배선을 거쳐서 접속되어, 제어 시스템으로 그들 제어기의 상태 신호를 전송하여, 각 장치 제어기의 존재와 제어기 사이의 접속 상태를 네트워크를 거친 통신을 이용하지 않고서도 검출할 수 있다.

Abstract translation: 互锁系统可以通过网络区分其中多个控制器连接的半导体制造装置的控制系统中发生异常的控制器。 处理系统包含执行半导体制造工艺的至少一个处理室。 传送系统将待处理物体处理进出处理室。 控制系统包括至少一个控制处理系统和输送系统的设备控制器和管理设备控制器的设备控制器。 设备控制器和设备控制器通过网络可通信地连接。 设备控制器和设备控制器也通过硬线连接，以便将设备控制器和设备控制器的状态信号发送到控制系统，使得每个设备控制器的存在和控制器之间的连接状态可以 无需通过网络进行通信就可以检测到。

公开(公告)号：KR101824762B1

公开(公告)日：2018-02-01

申请号：KR1020137025636

申请日：2012-02-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아라키신이치로 ,  마츠다가츠히코 ,  오카다기미노리 ,  이토다이치 ,  나카지마스스무 ,  호리우치노부히로

IPC: G06F11/30 ,  G06F11/32 ,  G06F11/34

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31435 ,  G05B2219/31462 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/321 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 컴퓨터(2A)는성막장치(20A)에관한정보를처리한다. 컴퓨터(2A)는, 성막장치(20A)에이상이발생한경우에, 발생한이상에관한이상정보를표시한다. 컴퓨터(2A)는, 발생한이상에대처했을때의대처정보를접수한다. 컴퓨터(2A)는, 접수한대처정보를, 발생한이상을특정하기위한이상특정정보에대응지어기억한다. 컴퓨터(2A)는기억한이상특정정보및 대처정보를, 서버컴퓨터(1)로출력한다. 성막장치(20B)에이상이발생한경우, 컴퓨터(2B)는이상특정정보에대응하는대처정보를서버컴퓨터(1)로부터수신하여, 표시한다.

Abstract translation: 一种用于处理半导体治疗装置的信息的信息处理装置包括：异常信息显示装置，其显示关于半导体治疗装置中的异常的信息;对策信息接收装置，其接收对策的对策信息;对策信息存储装置，其存储对策信息 与异常识别信息匹配的输出装置;经由通信装置向外部输出对策和异常识别信息的输出装置;显示对策项目候选的对策项目显示装置;对策项目存储装置，其存储从与候补项目匹配的候选中选择的对策项目 异常识别信息，通过通信d发送对策项目和异常识别信息的对策项目发送装置 从外部接收与该异常识别信息对应的对策项目的统计量的对策项目统计接收装置以及显示该统计量的对策项目统计值显示装置。