公开(公告)号：KR100781406B1

公开(公告)日：2007-12-03

申请号：KR1020027017080

申请日：2001-06-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마우치도루 ,  오카다기미노리 ,  네즈다다히토

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G05B19/0428 ,  G05B2219/2208 ,  G05B2219/24119 ,  G05B2219/25156 ,  G05B2219/25209 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: An interlock system can discriminate a controller in which an abnormality occurs in a control system of a semiconductor manufacturing apparatus in which a plurality of controllers are connected through a network. A processing system contains at least one processing chamber which performs a semiconductor manufacturing process. A conveyance system takes an object to be processed in and out of the processing chamber. The control system includes at least one apparatus controller, which controls the processing system and the conveyance system, and an equipment controller, which manages the apparatus controller. The apparatus controller and the equipment controller are communicably connected through a network. The apparatus controller and the equipment controller are also connected via a hard wire so as to transmit a status signal of the apparatus controller and the equipment controller to the control system so that a presence of each apparatus controller and a status of connection between the controllers can be detected without using communication through the network.

公开(公告)号：KR1020160033049A

公开(公告)日：2016-03-25

申请号：KR1020150130894

申请日：2015-09-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고다마도시아키 ,  야마우치도루

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  H01L21/683 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/681 ,  G05B2219/37224 ,  G05B2219/45031 ,  G05B2219/45178 ,  G05B2219/49112

Abstract: 간이한구성의장치에의해, 웨이퍼의하면측에마련되는얼라인먼트마크를정밀도높게검출함과아울러, 웨이퍼의휘어짐의상태를예측할수 있는기술을제공하는것이다. 웨이퍼의주연에걸쳐서웨이퍼의직경방향으로연장하는띠 형상의촬상영역이형성되도록촬상하는촬상부와, 상기탑재부를상기촬상부에대해서승강시키는승강부와, 제어부를구비하는장치를구성한다. 제어부는, 촬상부에의해얻어진웨이퍼의직경방향의휘도분포패턴에있어서촬상부의초점이맞추어져있을때의휘도의변화율로되도록상기승강부를제어하는스텝과, 휘어짐이없는표준웨이퍼에대해서초점이맞추어져있을때의촬상부의상대높이위치에대한촬상부의상대승강량에근거하여웨이퍼의휘어짐의상태를예측하는스텝과, 상기탑재부를회전시켜상기촬상부에의해웨이퍼의얼라인먼트마크를검출하는스텝을실행한다.

Abstract translation: 本发明提供了一种以高精度检测放置在晶片的底面侧的对准标记的技术，并且通过简单的装置来估计晶片的弯曲状态。 本发明的装置包括：成像单元，用于成像以形成在晶片的边缘上在晶片的直径方向上延伸的条形成像区域; 升降单元，用于将安装单元朝向所述成像单元升高; 和控制单元。 控制单元采取以下步骤：当成像单元的焦点被设置在由成像单元获得的晶片的直径方向上的亮度分布图案中时，控制升降单元使亮度的变化率; 用于当对于标准晶片没有弯曲设置焦点时，基于用于成像单元的相对高度位置的成像单元的相对高度的量来估计晶片的弯曲状态的步骤; 以及通过旋转安装单元通过成像单元检测晶片的对准标记的步骤。

公开(公告)号：KR1020030009528A

公开(公告)日：2003-01-29

申请号：KR1020027017080

申请日：2001-06-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마우치도루 ,  오카다기미노리 ,  네즈다다히토

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G05B19/0428 ,  G05B2219/2208 ,  G05B2219/24119 ,  G05B2219/25156 ,  G05B2219/25209 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

Abstract: 연동 시스템은 네트워크를 거쳐서 제어기가 접속되는 반도체 제조 장치의 제어 시스템에서 이상이 있는 제어기를 즉시 판정할 수 있다. 제어 시스템은 반도체 제조 공정을 수행하는 적어도 하나의 처리 챔버를 포함하는 처리 시스템을 제어하는 적어도 하나의 장치 제어기와, 처리 챔버 내외에서 처리될 객체를 운반하는 운반 시스템과, 장치 제어기를 관리하는 장비 제어기를 포함한다. 장치 제어기와 장비 제어기는 네트워크를 거쳐서 통신할 수 있게 접속된다. 2 종류의 제어기가 배선을 거쳐서 접속되어, 제어 시스템으로 그들 제어기의 상태 신호를 전송하여, 각 장치 제어기의 존재와 제어기 사이의 접속 상태를 네트워크를 거친 통신을 이용하지 않고서도 검출할 수 있다.

Abstract translation: 互锁系统可以通过网络区分其中多个控制器连接的半导体制造装置的控制系统中发生异常的控制器。 处理系统包含执行半导体制造工艺的至少一个处理室。 传送系统将待处理物体处理进出处理室。 控制系统包括至少一个控制处理系统和输送系统的设备控制器和管理设备控制器的设备控制器。 设备控制器和设备控制器通过网络可通信地连接。 设备控制器和设备控制器也通过硬线连接，以便将设备控制器和设备控制器的状态信号发送到控制系统，使得每个设备控制器的存在和控制器之间的连接状态可以 无需通过网络进行通信就可以检测到。