公开(公告)号：KR1020120054606A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：KR1020127005392

申请日：2010-08-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로시로고오끼찌 ,  니시다까노리 ,  데라다쇼오이찌 ,  기따노다까히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B29C37/0053 ,  B29C33/20 ,  B29C43/021 ,  B29C59/022 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/3488 ,  B29K2105/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0273

Abstract: 본 발명은, 표면에 전사 패턴이 형성된 템플릿과 기판 사이에 도포액을 도포하고, 당해 도포액에 전사 패턴을 전사하는 방법이며, 템플릿의 제1 단부와 기판 사이의 제1 거리가, 템플릿과 기판 사이에 도포액의 모세관 현상을 발생시키는 거리이며, 또한 템플릿에 있어서 제1 단부에 대향하는 제2 단부와 기판 사이의 제2 거리가, 모세관 현상을 발생시키지 않는 거리로 되도록, 템플릿을 기판에 대하여 경사지게 하여 배치하고, 그 후, 제1 단부의 외측으로부터 당해 제1 단부에 도포액을 공급하고, 그 후, 제2 거리를 제1 거리와 동일하게 하도록, 제2 단부와 기판을 상대적으로 이동시킨다.

Abstract translation: 本发明提供了一种在模板和基板之间施加涂布液并将转印图案转印到涂布液上的方法。 模板相对于基板倾斜地布置，使得模板的第一端部分和基板之间的第一距离是引起施加液体的毛细作用的距离，并且第二距离在第二 与第一端部和基板相对的模板的端部是不会引起施加液的毛细作用的距离。 此后，将应用液从第一端部的外侧供给到第一端部。 此后，第二端部和基板相对移动，使得第二距离变得等于第一距离。

公开(公告)号：KR101357506B1

公开(公告)日：2014-02-03

申请号：KR1020127005392

申请日：2010-08-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로시로고오끼찌 ,  니시다까노리 ,  데라다쇼오이찌 ,  기따노다까히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B29C37/0053 ,  B29C33/20 ,  B29C43/021 ,  B29C59/022 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/3488 ,  B29K2105/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 본 발명은, 표면에 전사 패턴이 형성된 템플릿과 기판 사이에 도포액을 도포하고, 당해 도포액에 전사 패턴을 전사하는 방법이며, 템플릿의 제1 단부와 기판 사이의 제1 거리가, 템플릿과 기판 사이에 도포액의 모세관 현상을 발생시키는 거리이며, 또한 템플릿에 있어서 제1 단부에 대향하는 제2 단부와 기판 사이의 제2 거리가, 모세관 현상을 발생시키지 않는 거리로 되도록, 템플릿을 기판에 대하여 경사지게 하여 배치하고, 그 후, 제1 단부의 외측으로부터 당해 제1 단부에 도포액을 공급하고, 그 후, 제2 거리를 제1 거리와 동일하게 하도록, 제2 단부와 기판을 상대적으로 이동시킨다.

Abstract translation: 本发明提供了一种在模板和基板之间施加涂布液并将转印图案转印到涂布液上的方法。 模板相对于基板倾斜地布置，使得模板的第一端部分和基板之间的第一距离是引起施加液体的毛细作用的距离，并且第二距离在第二 与第一端部和基板相对的模板的端部是不会引起施加液的毛细作用的距离。 此后，将应用液从第一端部的外侧供给到第一端部。 此后，第二端部和基板相对移动，使得第二距离变得等于第一距离。