公开(公告)号：KR1020070092653A

公开(公告)日：2007-09-13

申请号：KR1020070023248

申请日：2007-03-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 데라다쇼오이찌 ,  미즈노쯔요시 ,  우에하라다께시

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/31051 ,  B24B29/005 ,  H01L21/02065

Abstract: A planarizing apparatus is provided to reduce remarkably fabrication costs by planarizing efficiently a coating layer without the use of a CMP apparatus using a contactor driving unit. A planarizing apparatus(18) is used for planarizing a coating layer formed on a substrate(W) before performing a curing process. The planarizing apparatus includes a contactor and a contactor driving unit. The contactor is used for contacting the coating layer of the substrate. The contactor driving unit is used for pressing the contactor against the coating layer and planarizing the surface of the coating layer by moving the contactor along the surface of the coating layer. The planarizing apparatus further includes a rotation retaining support member for supporting and rotating the substrate.

Abstract translation: 提供一种平面化装置以通过使用接触器驱动单元而不使用CMP装置来有效地平坦化涂层而降低制造成本。 在进行固化处理之前，使用平坦化装置（18）来平坦化形成在基板（W）上的涂层。 平面化装置包括接触器和接触器驱动单元。 接触器用于接触基底的涂层。 接触器驱动单元用于通过使接触器沿着涂层的表面移动来将接触器按压在涂层上并使涂层的表面平坦化。 平面化装置还包括用于支撑和旋转衬底的旋转保持支撑构件。

公开(公告)号：KR1020120054606A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：KR1020127005392

申请日：2010-08-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로시로고오끼찌 ,  니시다까노리 ,  데라다쇼오이찌 ,  기따노다까히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B29C37/0053 ,  B29C33/20 ,  B29C43/021 ,  B29C59/022 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/3488 ,  B29K2105/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0273

Abstract: 본 발명은, 표면에 전사 패턴이 형성된 템플릿과 기판 사이에 도포액을 도포하고, 당해 도포액에 전사 패턴을 전사하는 방법이며, 템플릿의 제1 단부와 기판 사이의 제1 거리가, 템플릿과 기판 사이에 도포액의 모세관 현상을 발생시키는 거리이며, 또한 템플릿에 있어서 제1 단부에 대향하는 제2 단부와 기판 사이의 제2 거리가, 모세관 현상을 발생시키지 않는 거리로 되도록, 템플릿을 기판에 대하여 경사지게 하여 배치하고, 그 후, 제1 단부의 외측으로부터 당해 제1 단부에 도포액을 공급하고, 그 후, 제2 거리를 제1 거리와 동일하게 하도록, 제2 단부와 기판을 상대적으로 이동시킨다.

Abstract translation: 本发明提供了一种在模板和基板之间施加涂布液并将转印图案转印到涂布液上的方法。 模板相对于基板倾斜地布置，使得模板的第一端部分和基板之间的第一距离是引起施加液体的毛细作用的距离，并且第二距离在第二 与第一端部和基板相对的模板的端部是不会引起施加液的毛细作用的距离。 此后，将应用液从第一端部的外侧供给到第一端部。 此后，第二端部和基板相对移动，使得第二距离变得等于第一距离。

公开(公告)号：KR1020120026497A

公开(公告)日：2012-03-19

申请号：KR1020117027556

申请日：2010-06-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 데라다쇼오이찌 ,  기무라요시오 ,  기따노다까히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B05C13/00 ,  B08B3/024 ,  B29C33/58 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/67225 ,  Y10S414/141 ,  H01L21/0274

Abstract: 본 발명은, 표면에 전사 패턴이 형성된 템플릿을 사용하여, 전사 패턴을 기판 위에 형성되는 도포막에 전사하고, 당해 도포막에 소정의 패턴을 형성하는 임프린트 유닛을 구비한 임프린트 시스템이며, 임프린트 유닛에 접속되어, 복수의 상기 기판을 보유 가능하고, 또한 임프린트 유닛측에 기판을 반입출하는 기판 반입출 스테이션과, 임프린트 유닛에 접속되어, 복수의 템플릿을 보유 가능하고, 또한 임프린트 유닛측에 소정의 타이밍에서 템플릿을 반입출하는 템플릿 반입출 스테이션을 갖는다.

公开(公告)号：KR101080487B1

公开(公告)日：2011-11-04

申请号：KR1020060080830

申请日：2006-08-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 신야히로시 ,  데라다쇼오이찌 ,  미즈노쯔요시 ,  와까모또유끼히로

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  B05D1/42 ,  B05D3/0254 ,  B05D3/12 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67207

Abstract: 본발명에있어서는, 예를들어평탄화장치의처리용기내에히터가내장된보유지지대가설치된다. 보유지지대의상방에는하면이평탄하게형성된압박판이배치된다. 압박판은상하방향으로이동가능하고, 보유지지대상에하강하여기판상의레지스트막을상방으로부터압박할수 있다. 보유지지대상의기판을히터에의해소정의온도로가열하여, 레지스트막을건조시키는동안에, 압박판에의해레지스트막의상면을단속적으로압박하여평탄화한다. 본발명에따르면기판상에도포된도포막을충분히평탄화하여건조시킬수 있다.

公开(公告)号：KR101357506B1

公开(公告)日：2014-02-03

申请号：KR1020127005392

申请日：2010-08-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로시로고오끼찌 ,  니시다까노리 ,  데라다쇼오이찌 ,  기따노다까히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B29C37/0053 ,  B29C33/20 ,  B29C43/021 ,  B29C59/022 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/3488 ,  B29K2105/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 본 발명은, 표면에 전사 패턴이 형성된 템플릿과 기판 사이에 도포액을 도포하고, 당해 도포액에 전사 패턴을 전사하는 방법이며, 템플릿의 제1 단부와 기판 사이의 제1 거리가, 템플릿과 기판 사이에 도포액의 모세관 현상을 발생시키는 거리이며, 또한 템플릿에 있어서 제1 단부에 대향하는 제2 단부와 기판 사이의 제2 거리가, 모세관 현상을 발생시키지 않는 거리로 되도록, 템플릿을 기판에 대하여 경사지게 하여 배치하고, 그 후, 제1 단부의 외측으로부터 당해 제1 단부에 도포액을 공급하고, 그 후, 제2 거리를 제1 거리와 동일하게 하도록, 제2 단부와 기판을 상대적으로 이동시킨다.

Abstract translation: 本发明提供了一种在模板和基板之间施加涂布液并将转印图案转印到涂布液上的方法。 模板相对于基板倾斜地布置，使得模板的第一端部分和基板之间的第一距离是引起施加液体的毛细作用的距离，并且第二距离在第二 与第一端部和基板相对的模板的端部是不会引起施加液的毛细作用的距离。 此后，将应用液从第一端部的外侧供给到第一端部。 此后，第二端部和基板相对移动，使得第二距离变得等于第一距离。

公开(公告)号：KR1020120030058A

公开(公告)日：2012-03-27

申请号：KR1020117028046

申请日：2010-06-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 데라다쇼오이찌 ,  기무라요시오 ,  기따노다까히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B05C13/00 ,  B29C33/58 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/566 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67333 ,  H01L21/68707 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S414/141 ,  H01L21/0274 ,  H01L2924/00

Abstract: 본 발명은 표면에 전사 패턴이 형성된 템플릿 상에 이형제를 성막하는 템플릿 처리 장치이며, 템플릿의 표면에 이형제를 성막하는 처리 스테이션과, 복수의 템플릿을 보유 가능하고, 또한 처리 스테이션에 대해 템플릿을 반입출하는 템플릿 반입출 스테이션을 갖고, 처리 스테이션은 템플릿의 표면을 세정하는 세정 유닛과, 세정된 템플릿의 표면에 이형제를 도포하는 도포 유닛과, 도포된 이형제를 소성하는 가열 유닛과, 세정 유닛, 도포 유닛 및 가열 유닛에 대해, 템플릿을 반송하는 반송 유닛을 갖는다.

公开(公告)号：KR101291406B1

公开(公告)日：2013-07-30

申请号：KR1020070023248

申请日：2007-03-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 데라다쇼오이찌 ,  미즈노쯔요시 ,  우에하라다께시

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/31051 ,  B24B29/005 ,  H01L21/02065

Abstract: 본 발명의 과제는 CMP 장치를 이용하지 않고 도포막을 평탄화하는 것이다.
기판 처리 시스템(1)에는, 가열로에 있어서 경화되기 전에 도포 절연막(A)을 경화하는 평탄화 장치(18)가 설치된다. 평탄화 장치(18)에는, 웨이퍼(W)를 보유 지지하여 회전시키는 스핀 척(71)이나, 웨이퍼(W) 상의 도포 절연막(A)에 압박하여 도포 절연막(A)의 표면을 깎는 브러시(101), 브러시(101)를 웨이퍼(W)의 표면을 따라 이동시키는 제1 아암(81), 웨이퍼(W)의 표면에 가공액을 공급하는 가공액 공급 노즐(110) 등이 설치된다. 경화 전의 부드러운 상태의 도포 절연막(A)을 갖는 웨이퍼(W)가 평탄화 장치(18)로 반송되고, 브러시(101)를 도포 절연막(A)에 압박하여 상기 도포 절연막(A)의 표면을 따라 이동시킴으로써 도포 절연막(A)을 소정의 막 두께로 평탄화할 수 있다.
기판 처리 시스템, 평탄화 장치, 웨이퍼, 도포 절연막, 브러시

公开(公告)号：KR1020120030057A

公开(公告)日：2012-03-27

申请号：KR1020117028045

申请日：2010-06-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 데라다쇼오이찌 ,  기무라요시오 ,  기따노다까히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67173 ,  B29C33/58 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/0274

Abstract: 본 발명은, 템플릿을 사용하여, 기판 상의 도포막에 전사 패턴을 전사하여, 당해 도포막에 소정의 패턴을 형성하는 임프린트 유닛을 구비한 시스템이며, 임프린트 유닛에 접속되고, 템플릿에 소정의 처리를 행하는 처리 스테이션과, 처리 스테이션에 접속되고, 템플릿을 보유 가능하고, 또한 처리 스테이션에 템플릿을 반입출하는 템플릿 반입출 스테이션과, 임프린트 유닛 내로 통해 설치되고, 템플릿을 임프린트 유닛과 처리 스테이션 사이에서 반송하는 반송 라인과, 임프린트 유닛에 접속되고, 기판을 보유 가능하고, 또한 임프린트 유닛에 기판을 반입출하는 기판 반입출 스테이션을 갖고 있다.

公开(公告)号：KR1020070024411A

公开(公告)日：2007-03-02

申请号：KR1020060080830

申请日：2006-08-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 신야히로시 ,  데라다쇼오이찌 ,  미즈노쯔요시 ,  와까모또유끼히로

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  B05D1/42 ,  B05D3/0254 ,  B05D3/12 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67207 ,  G03F7/168 ,  G03F7/70716 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/6715

Abstract: A substrate processing apparatus is provided to sufficiently planarize the upper surface of a deposition layer by intermittently pressing the upper surface of the deposition layer by a pressure member. A retaining support member(121) retains and supports a substrate(W) in a process receptacle(120). A heating member(122) heats the substrate supported by the retaining support member. A pressure member whose lower surface is flat presses the upper surface of a substrate deposition layer downward. A control part(150) controls the operation of the heating member and the pressure member in a manner that the upper surface of the substrate deposition layer heated by the heating member is intermittently pressed by the pressure member. An exhaust part(143) exhausts the atmosphere of the process receptacle. A decompression apparatus decompress the process receptacle.

Abstract translation: 提供了一种衬底处理装置，通过用压力构件间歇地压制沉积层的上表面来使沉积层的上表面充分平坦化。 保持支撑构件（121）保持并支撑处理容器（120）中的衬底（W）。 加热构件（122）加热由保持支撑构件支撑的基板。 下表面平坦的压力部件向下压基板沉积层的上表面。 控制部分（150）以加热部件加热的基板沉积层的上表面被压力部件间歇地按压的方式控制加热部件和加压部件的操作。 排气部分（143）排出处理容器的气氛。 减压装置解压过程容器。