公开(公告)号：KR101943754B1

公开(公告)日：2019-01-29

申请号：KR1020170134752

申请日：2017-10-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고타니고지 ,  니시지마소우이치 ,  나카니시도시오 ,  한천수

IPC: H01J37/32 ,  C23C14/24

公开(公告)号：KR1020110084318A

公开(公告)日：2011-07-21

申请号：KR1020117013451

申请日：2009-12-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시무라마사루 ,  다카노히로유키 ,  니시지마소우이치

IPC: H01L21/00 ,  G05B19/05 ,  G06F9/32

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C14/12 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54

Abstract: 인터록 신호에 기초하여 복수의 동종의 기기를 클러스터 제어한다. 기판 처리 시스템(10)은 PM을 제어하기 위한 시리얼 신호를 출력하는 상위 PC(100) 및 소정의 인터록 조건을 충족시키는 경우 인터록 신호를 출력하는 안전 PLC(300)를 가지고 있다. 기판 처리 시스템(10)의 PM에는 동종의 복수의 APC 밸브가 설치되고, 복수의 APC 밸브는 서로 연동하여 또는 비연동으로 동작하도록 기기마다 연동 또는 비연동 중 어느 한 상태가 선택된다. 안전 PLC(300)는 소정의 인터록 조건이 충족되었다고 판단한 경우, 이상을 나타내는 인터록 신호를 출력한다. 복수의 APC 밸브 중 어느 하나가 인터록 신호를 입력 받은 경우, 모든 APC 밸브는 연동 또는 비연동에 관계없이 인터록 신호의 지시에 따라 연동하여 동작한다.