公开(公告)号：KR101138234B1

公开(公告)日：2012-04-24

申请号：KR1020107016822

申请日：2008-12-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시무라마사루

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/02

CPC classification number: G05B19/0426 ,  G05B2219/25367 ,  H01L21/67005

Abstract: 종래에, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합하여 용이하게 원하는 처리를 실행시킬 수 없다고 하는 과제가 있었다. 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 처리 순서가 지정된 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 비동기로 실행할지를 지정하는 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성하는 화면 구성부(102)와, 당해 구성한 화면을 출력하는 화면 출력부(103)와, 당해 출력한 화면에 대한 동기 지정 정보를 접수하는 지정 접수부(104)와, 동기 지정 정보에 의해 동기가 지정되어 있는 커맨드는 직전의 커맨드 종료 후에 실행하고, 비동기가 지정되어 있는 커맨드는 직전의 커맨드 실행 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드를 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부(106)를 갖추었다.

Abstract translation: 信息处理设备包括：画面配置单元102，其配置用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息指定存储在命令存储单元101中的指定了处理序列的每个命令是与异步同步执行还是异步执行 与其他命令; 画面输出部103，其输出所设定的画面; 指定信息接收单元104，其通过输出屏幕接收同步指定信息; 以及命令执行单元106，其根据处理序列执行存储在命令存储单元101中的命令，以执行在紧接着的前一个命令的执行结束和被指定为异步执行的命令之后指定要同步执行的命令 而无需参照同步指定信息等待紧接在前的命令的执行结束。

公开(公告)号：KR1020100095651A

公开(公告)日：2010-08-31

申请号：KR1020107016822

申请日：2008-12-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시무라마사루

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/02

CPC classification number: G05B19/0426 ,  G05B2219/25367 ,  H01L21/67005

Abstract: 종래에, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합하여 용이하게 원하는 처리를 실행시킬 수 없다고 하는 과제가 있었다. 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 처리 순서가 지정된 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 비동기로 실행할지를 지정하는 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성하는 화면 구성부(102)와, 당해 구성한 화면을 출력하는 화면 출력부(103)와, 당해 출력한 화면에 대한 동기 지정 정보를 접수하는 지정 접수부(104)와, 동기 지정 정보에 의해 동기가 지정되어 있는 커맨드는 직전의 커맨드 종료 후에 실행하고, 비동기가 지정되어 있는 커맨드는 직전의 커맨드 실행 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드를 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부(106)를 갖추었다.

公开(公告)号：KR101230997B1

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：KR1020117010850

申请日：2009-11-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠바야시신지 ,  카와카미사토루 ,  토베야스히로 ,  니시무라마사루 ,  야기야스시 ,  하야시테루유키 ,  오노유지 ,  시모후미오

IPC: H01L51/56 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6723

Abstract: 트랜스퍼 모듈의 측면에 접속되는 각종 처리 장치의 사이의 간격을 넓힐 수 있어, 메인터넌스성이 뛰어나고, 스루풋의 악화를 회피하여 충분한 생산성을 확보 가능한 기판 처리 시스템을 제공한다. 기판 상에 예를 들면 유기층을 포함하는 복수의 층을 적층하여 유기 EL 소자를 제조하는 기판 처리 시스템으로서, 진공 배기되는 1 또는 2 이상의 트랜스퍼 모듈에 의해 직선 형상의 반송 경로가 구성되고, 트랜스퍼 모듈의 내부에는, 처리 장치에 대하여 기판을 반입출시키는 복수의 반입출 에어리어와, 이들 사이에 배치된 1 또는 2 이상의 스톡 에어리어가 반송 경로를 따라 교호로 직렬로 배치되며, 트랜스퍼 모듈의 측면에는, 반입출 에어리어와 대향하는 위치에서 처리 장치가 접속되어 있다.

公开(公告)号：KR101110241B1

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：KR1020107017334

申请日：2009-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시무라마사루

IPC: G06F11/28 ,  G06F11/22

CPC classification number: G06F11/261 ,  G06F11/3696

Abstract: 종래에, 하드웨어가 에러인 경우의 테스트 대상 프로그램의 테스트가 자동적으로 용이하게 할 수 없다고 하는 과제가 있었다. 테스트 대상 프로그램을 테스트하기 위하여 당해 테스트 대상 프로그램에게 주는 정보인 입력 정보와 동작 패턴을 가지는 테스트 정보를 접수하는 테스트 정부 접수부와, 테스트 정보가 가지는 동작 패턴을 취득하여 시뮬레이터 프로그램으로 전달하는 테스트 제어부와, 테스트 정보가 가지는 입력 정보를 테스트 대상 프로그램에게 주어 당해 테스트 대상 프로그램을 실행시키고, 또한 당해 테스트 대상 프로그램의 실행 결과인 프로그램 정보와, 테스트 제어부가 시뮬레이터 프로그램으로 전달한 동작 패턴을 이용하여 시뮬레이터 프로그램을 실행하는 실행부를 구비하는 프로그램 테스트 장치에 의해, 하드웨어가 에러인 경우의 테스트 대상 프로그램의 테스트도 자동적으로 용이하게 할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020110084923A

公开(公告)日：2011-07-26

申请号：KR1020117010850

申请日：2009-11-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠바야시신지 ,  카와카미사토루 ,  토베야스히로 ,  니시무라마사루 ,  야기야스시 ,  하야시테루유키 ,  오노유지 ,  시모후미오

IPC: H01L51/56 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6723 ,  B65G49/061 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67745 ,  H05B33/10

Abstract: 트랜스퍼 모듈의 측면에 접속되는 각종 처리 장치의 사이의 간격을 넓힐 수 있어, 메인터넌스성이 뛰어나고, 스루풋의 악화를 회피하여 충분한 생산성을 확보 가능한 기판 처리 시스템을 제공한다. 기판 상에 예를 들면 유기층을 포함하는 복수의 층을 적층하여 유기 EL 소자를 제조하는 기판 처리 시스템으로서, 진공 배기되는 1 또는 2 이상의 트랜스퍼 모듈에 의해 직선 형상의 반송 경로가 구성되고, 트랜스퍼 모듈의 내부에는, 처리 장치에 대하여 기판을 반입출시키는 복수의 반입출 에어리어와, 이들 사이에 배치된 1 또는 2 이상의 스톡 에어리어가 반송 경로를 따라 교호로 직렬로 배치되며, 트랜스퍼 모듈의 측면에는, 반입출 에어리어와 대향하는 위치에서 처리 장치가 접속되어 있다.

公开(公告)号：KR1020100108582A

公开(公告)日：2010-10-07

申请号：KR1020107017334

申请日：2009-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시무라마사루

IPC: G06F11/28 ,  G06F11/22

CPC classification number: G06F11/261 ,  G06F11/3696

Abstract: 종래의 군(群) 관리 시스템에서는, 프로세스 파라미터의 변경이 영향을 미칠 수 있는 1 이상의 레시피를 용이하게 알 수 없다고 하는 과제가 있었다. 2 이상의 제어 장치가 보유하고 있는 프로세스에 관한 정보인 2 이상의 레시피를 상기 2 이상의 제어 장치에 각각 대응시켜 저장하고 있는 레시피 저장부와, 레시피에 포함되는 프로세스 파라미터에 대한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수하는 접수부와, 상기 프로세스 파라미터 정보를 이용하여 상기 레시피 저장부로부터 레시피를 검색하여 당해 검색된 레시피에 대한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득부와, 상기 레시피 정보 취득부가 취득한 레시피 정보를 출력하는 출력부를 구비하는 프로세스 정보 관리 장치에 의해, 프로세스 파라미터의 변경이 영향을 미칠 수 있는 1 이상의 레시피를 용이하게 알 수 있다.

公开(公告)号：KR1020110084318A

公开(公告)日：2011-07-21

申请号：KR1020117013451

申请日：2009-12-14

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시무라마사루 ,  다카노히로유키 ,  니시지마소우이치

IPC: H01L21/00 ,  G05B19/05 ,  G06F9/32

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C14/12 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54

Abstract: 인터록 신호에 기초하여 복수의 동종의 기기를 클러스터 제어한다. 기판 처리 시스템(10)은 PM을 제어하기 위한 시리얼 신호를 출력하는 상위 PC(100) 및 소정의 인터록 조건을 충족시키는 경우 인터록 신호를 출력하는 안전 PLC(300)를 가지고 있다. 기판 처리 시스템(10)의 PM에는 동종의 복수의 APC 밸브가 설치되고, 복수의 APC 밸브는 서로 연동하여 또는 비연동으로 동작하도록 기기마다 연동 또는 비연동 중 어느 한 상태가 선택된다. 안전 PLC(300)는 소정의 인터록 조건이 충족되었다고 판단한 경우, 이상을 나타내는 인터록 신호를 출력한다. 복수의 APC 밸브 중 어느 하나가 인터록 신호를 입력 받은 경우, 모든 APC 밸브는 연동 또는 비연동에 관계없이 인터록 신호의 지시에 따라 연동하여 동작한다.