公开(公告)号：KR1019980087424A

公开(公告)日：1998-12-05

申请号：KR1019980019358

申请日：1998-05-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마가겐이치 ,  오노유지 ,  미야시타마사히로 ,  다니가와오사무

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명에 있어서는, 작업영역과 로딩영역을 구획하는 벽부의 개구부에 클로우즈형 카세트가 작업영역의 카세트 탑재대상에 탑재된다. 카세트 탑재대상에 카세트가 탑재되면, 스위치로부터 콘트롤러로 신호가 출력되고, 개폐밸브가 닫혀 로딩영역으로의 질소가스의 공급이 정지된다. 20~30초 후 카세트의 덮개가 열리고, 이어서 질소가스의 공급이 개시된다. 질소가스의 공급을 정지함으로써, 로딩영역내와 카세트내의 차압이 작아져서 용이하게 덮개를 열 수 있다.

公开(公告)号：KR1020010034261A

公开(公告)日：2001-04-25

申请号：KR1020007007941

申请日：1999-01-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다니가와오사무

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67393 ,  H01L21/67772 ,  Y10T29/41

Abstract: 기판처리장치는벽부(2)에의해작업영역(S1)와로딩영역(S2)으로구획되어있다. 클로즈형카세트(3)는밸브(5)와제공되는바닥부을가지는카세트몸체(31)를구비한다. 통기관(51)의한 끝단은작업영역(S1)에재치된카세트재치부(6)로부터밀어내고, 다른끝단은로딩영역(S2)에서열리고노출된다. 카세트(3)를카세트재치부(6)상에재치하면, 통기관(51)은밸브(5)에힘을가하여밸브(5)는열리고, 카세트(3) 내부가그 사이차압과상쇄하도록로딩영역(S2)과연통될수 있다.

公开(公告)号：KR1019980081070A

公开(公告)日：1998-11-25

申请号：KR1019980011796

申请日：1998-04-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다니가와오사무

IPC: B65G1/06

Abstract: 본 발명은, 고정면(16)을 따라 승강가능하게 지지된 승강체(17)를 행거부재(18)를 매개로 승강시키는 승강기구(14)에 있어서, 상기 승강체(17)에 제동체(31)를 수직회전이동가능하게 축지하고, 이 제동체(31)에 이를 상기 고정면(16)에 접근하는 방향으로 회전이동 부세하는 부세수단(32)을 설치하는 동시에, 이 부세수단(32)에 대항하여 승강체(17)의 자체 중량으로 제동체(31)를 고정면(16)으로부터 떨어지는 방향으로 인장하기 위해 상기 행거부재(18)를 연결하고, 이 행거부재(18)가 절단된 때에, 상기 부세수단(32)에 의해 제동체(31)를 고정면(16)에 접촉시켜 파고 들어가게 함으로써 승강체(17)를 정지시키도록 구성되어 있다.

公开(公告)号：KR100514160B1

公开(公告)日：2005-09-09

申请号：KR1020007007941

申请日：1999-01-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다니가와오사무

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67393 ,  H01L21/67772 ,  Y10T29/41

Abstract: 기판처리장치는 벽부(2)에 의해 작업영역(S1)와 로딩영역(S2)으로 구획되어 있다. 클로즈형 카세트(3)는 밸브(5)와 제공되는 바닥부을 가지는 카세트 몸체(31)를 구비한다. 통기관(51)의 한 끝단은 작업영역(S1)에 재치된 카세트 재치부(6)로부터 밀어내고, 다른 끝단은 로딩영역(S2)에서 열리고 노출된다. 카세트(3)를 카세트 재치부(6)상에 재치하면, 통기관(51)은 밸브(5)에 힘을 가하여 밸브(5)는 열리고, 카세트(3) 내부가 그 사이 차압과 상쇄하도록 로딩영역(S2)과 연통될 수 있다.

公开(公告)号：KR100565471B1

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：KR1019980011796

申请日：1998-04-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다니가와오사무

IPC: B65G1/06

Abstract: 본 발명은, 고정면(16)을 따라 승강가능하게 지지된 승강체(17)를 부유(浮遊)부재(18)를 매개로 승강시키는 승강기구(14)에 있어서, 상기 승강체(17)에 제동체(31)를 수직으로 회전이동가능하게 축지하고, 이 제동체(31)에 이것을 상기 고정면(16)에 접근하는 방향으로 회전이동하도록 압박하는 압박수단(32)을 설치함과 더불어, 이 압박수단(32)에 대항하여 승강체(17)의 자체 중량으로 제동체(31)를 고정면(16)으로부터 떨어지는 방향으로 인장하기 위해 상기 부유부재(18)를 연결하고, 이 부유부재(18)가 절단된 때에, 상기 압박수단(32)에 의해 제동체(31)를 고정면(16)측으로 돌출시켜 계합시킴으로써 승강체(17)를 정지시키도록 구성되어 있다.

公开(公告)号：KR100472341B1

公开(公告)日：2005-07-05

申请号：KR1019980019358

申请日：1998-05-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마가겐이치 ,  오노유지 ,  미야시타마사히로 ,  다니가와오사무

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명에 있어서는, 작업영역과 로딩영역을 구획하는 벽부의 개구부에 클로즈드형 카세트(closed-type cassette)가 작업영역의 카세트 탑재대상에 탑재된다. 카세트 탑재대상에 카세트가 탑재되면, 스위치로부터 콘트롤러로 신호가 출력되고, 이에 따라 개폐밸브가 닫히고, 로딩영역으로의 질소가스의 공급이 정지된다. 20~30초 후, 카세트의 덮개가 열리고, 이어서 질소가스의 공급이 개시된다. 질소가스의 공급을 정지함으로써, 로딩영역내와 카세트 내의 차압이 작아져서 용이하게 덮개를 열 수 있다.