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公开(公告)号：KR100210623B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940016333
申请日：1994-07-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/324
CPC classification number: C23C16/455 , C23C16/4404 , C23C16/4412 , C30B25/14
Abstract: 피처리체가 재치된 피처리체 수용보트를 로드하는 내관의 외측에 이것과 도심 형상으로 외관을 배치하여 처리용기를 형성하고, 이 처리용기의 하부에 가스도입포트와 가스 배기포트를 가지는 통체 형상의 매니홀드를 설치하며, 이 매니홀드의 구멍부를 밀폐하는 캡부를 설치하여 열처리부를 구성한다. 그리고, 내관과 외관과 매니홀드를 내열내식성 재료로 형성함과 동시에, 이들을 일체적으로 형성한다. 또, 캡부의 표면(처리용기측)에도 내열내식성 재료로 구성되는 보호층을 형성한다. 또, 캡부와 매니홀드의 접합부에 고온내열시일수단을 형성한다. 이것에 의하여 1대의 열처리 장치에 의하여 부식성 가스 등을 처리가스로서 사용하는 상압고온 열처리와 감압열처리를 할 수 있는 열처리 장치(합체로)가 제공된다.
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公开(公告)号：KR1019980087424A
公开(公告)日：1998-12-05
申请号：KR1019980019358
申请日：1998-05-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명에 있어서는, 작업영역과 로딩영역을 구획하는 벽부의 개구부에 클로우즈형 카세트가 작업영역의 카세트 탑재대상에 탑재된다. 카세트 탑재대상에 카세트가 탑재되면, 스위치로부터 콘트롤러로 신호가 출력되고, 개폐밸브가 닫혀 로딩영역으로의 질소가스의 공급이 정지된다. 20~30초 후 카세트의 덮개가 열리고, 이어서 질소가스의 공급이 개시된다. 질소가스의 공급을 정지함으로써, 로딩영역내와 카세트내의 차압이 작아져서 용이하게 덮개를 열 수 있다.
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公开(公告)号：KR100432440B1
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：KR1019970014372
申请日：1997-04-18
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C30B35/005
Abstract: A vertical heat treating apparatus includes a first boat elevator for carrying a first wafer boat between a wafer transfer region and a predetermined position in a heat treating furnace, and a second boat elevator for carrying a second wafer boat between the wafer transfer region and the predetermined position in the heat treating furnace. With this construction, it is possible to eliminate the problems of causing the position shift of the wafer boat, so that and it is possible to prevent the wafer boat from overturning. The apparatus also has cutouts formed in the lower end portion of the wafer boat, and guide members formed on the upper surface of a wafer transfer stage so as to be engageable with the cutouts. With this construction, if the positioning is forcibly carried out when the wafer boat is loaded on the wafer transfer stage, it is possible to correct the position shift to prevent the shift from accumulating, so that it is possible to prevent the wafer boat from overturning.
Abstract translation: 一种立式热处理设备包括：第一舟皿升降机，用于在晶片传送区域与热处理炉中的预定位置之间运送第一晶舟;以及第二舟皿升降机，用于在晶片传送区域与预定位置之间运送第二晶舟， 在热处理炉中的位置。 利用这种结构，可以消除引起晶舟的位置偏移的问题，从而可以防止晶舟发生翻倒。 该设备还具有形成在晶舟的下端部分中的切口，以及形成在晶片传送台的上表面上以便可与切口啮合的导向构件。 根据该结构，在将晶圆舟装载于晶圆输送台时强制地进行定位的情况下，能够修正位置偏移，防止偏移的积累，能够防止晶舟发生翻倒 。
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公开(公告)号：KR100280689B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019930009835
申请日：1993-06-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 야마가겐이치
IPC: H01L21/205
Abstract: 소정의 가스 분위 또는 감압 분위기로된 처리용기 밀봉부의 대향면에 각각 고리형상 홈부를 형성함과 동시에 이들의 고리형상 홈부의 개구부 전체주위에 흡착되도록 고리형상 박판을 배치한다. 그리고, 이들의 고리형상 홈부에 각각 배기수단을 접속하고, 고리형상부에 감압으로 배기하는 것에 의하여 고리형상 홈부의 개구부 모든 주위에 고리형상 박판을 흡착하여 대향면을 기밀하게 밀봉한다. 이 구성에 의하여 처리용기내에 불필요한 대기중에 산소나 수분이 혼입되지않고, 또 고온에 의하여 가스나 수분의 방출이 없는 밀봉부를 가진 열처리장치가 제안된다.
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公开(公告)号：KR1019960015802A
公开(公告)日：1996-05-22
申请号：KR1019940016333
申请日：1994-07-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/324
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101743318B1
公开(公告)日：2017-06-02
申请号：KR1020130119066
申请日：2013-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: F16L59/024 , B32B1/08 , F27D1/04 , H01L21/67103 , Y10T428/13 , Y10T428/24479
Abstract: 본발명은경제적으로단열벽체를제조하는것이가능한단열벽체의제조방법을제공하는것을목적으로한다. 본발명은, 제1 측벽, 제2 측벽및 홈바닥으로형성되는홈부를갖는단열벽체의제조방법으로서, 단열재재료를수계매체중에분산시키고혼합하여, 슬러리상으로만드는공정과, 얻어진슬러리상의상기단열재재료에, 통기공을가지며, 상기홈부의형상에대응하는표면을갖는성형용다이를접촉시키고, 상기통기공을통해슬러리상의상기단열재재료를탈수하는공정과, 상기성형용다이를상기단열재재료로부터이형함으로써, 상기홈부의깊이가일정하고, 상기홈 바닥의폭이, 상기홈부의길이방향으로변화하는단열벽체를제조하는공정을포함하는단열벽체제조방법을제공한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够经济地制造绝热壁的绝热壁的制造方法。 本发明提供一种制造具有由第一侧壁，第二侧壁和槽底形成的槽部的隔热壁体的方法，包括以下步骤：将隔热材料分散并混合在水性介质中以形成浆液相， 使具有通气孔的成型模具与具有与所述槽的形状对应的表面的成型模具接触，并使所述浆料上的所述隔热材料通过所述通气孔脱水的工序; 以及制造绝热壁的步骤，其中凹槽部分的深度是恒定的，并且凹槽底部的宽度在凹槽部分的纵向上变化。
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公开(公告)号：KR101569561B1
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：KR1020120146075
申请日：2012-12-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본발명은열부하및 진동, 충격에의한부하에강한열처리장치용열교환기및 이것을구비한열처리장치를제공한다. 열교환기(25)는, 박판을적층해서교대로공기통로와냉각수통로를형성한코어(251)와, 코어(251)를수용하는케이스(252)와, 코어(251)에삽입되고, 코어(251) 내에형성된각 층의냉각수통로에냉각수를분배공급하는복수의수냉배관(257)과, 복수의수냉배관(257)이하나의연결된배관으로되도록용접되는배관용접부(257a)를구비하고, 배관용접부(257a)는케이스(252) 외부에설치되어있다.
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公开(公告)号：KR1020140049930A
公开(公告)日：2014-04-28
申请号：KR1020130119066
申请日：2013-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: F16L59/024 , B32B1/08 , F27D1/04 , H01L21/67103 , Y10T428/13 , Y10T428/24479
Abstract: The present invention provides a method for manufacturing an insulation wall capable of manufacturing the insulation wall economically. The method for manufacturing the insulation wall having a groove part composed of a first side wall, a second side wall and a groove bottom comprises the process of dispersing and mixing insulation material in a water system for forming the insulation material into a slurry form; the process of contacting the insulation material of the slurry form to a die for molding having air pass holes and a surface corresponding to the shape of the groove part and dehydrating the insulation material of the slurry form through the air pass hole; and the process of manufacturing the insulation wall having the groove part of the constant depth and the width of the groove bottom changing along the longitudinal direction of the groove part by releasing the die for molding from the insulation material.
Abstract translation: 本发明提供一种能够经济地制造隔热壁的绝缘壁的制造方法。 用于制造具有由第一侧壁，第二侧壁和槽底构成的槽部的绝缘壁的方法包括将绝缘材料分散和混合在用于将绝缘材料形成为浆料形式的水系中的工艺; 将浆料形式的绝缘材料接触到具有通气孔和与槽部形状相对应的表面的模塑用模具的过程，并且通过通气孔使浆料形式的绝缘材料脱水; 并且通过从绝缘材料释放用于模制的模具，制造具有恒定深度的槽部分和槽底的宽度沿着槽部的纵向方向改变的绝缘壁的工艺。
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公开(公告)号：KR1019940006296A
公开(公告)日：1994-03-23
申请号：KR1019930009835
申请日：1993-06-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 야마가겐이치
IPC: H01L21/205
Abstract: 소정의 가스 분위 또는 감압 분위기로된 처리용기 밀봉부의 대향면에 각각 고리형상 홈부를 형성함과 동시에 이들의 고리형상 홈부의 개구부 전체주위에 흡착되도록 고리형상 박판을 배치한다. 그리고, 이들의 고리형상 홈부에 각각 배기수단을 접속하고, 고리형상부에 감압으로 배기하는 것에 의하여 고리형상 홈부의 개구부 모든 주위에 고리형상 박판을 흡착하여 대향면을 기밀하게 밀봉한다. 이 구성에 의하여 처리용기내에 불필요한 대기중에 산소나 수분이 혼입되지 않고, 또 고온에 의하여 가스나 수분의 방출이 없는 밀봉부를 가진 열처리장치가 제안된다.
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公开(公告)号：KR100730817B1
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：KR1020060086191
申请日：2006-09-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/324 , H01L21/477
Abstract: 열처리장치는, 피처리체가 반송되는 반응용기와, 그 반응용기를 둘러싸도록 배치된 열처리로 본체와; 열처리로 본체내에서 가열용기를 둘러싸는 영역내에 마련되는 히터를 포함하여 구성된다. 히터는 세라믹 재료로 만들어진 밀봉부재 및 그 밀봉부재에 의하여 밀봉된 직선형상의 탄성적인 저항 발열부재를 각각 가지는 가열소자들을 포함된다.
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