公开(公告)号：KR101980508B1

公开(公告)日：2019-05-20

申请号：KR1020187026627

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구로이와게이조오 ,  오가타구니에 ,  마츠오카노부아키 ,  다사키노부유키 ,  미야타아키라

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  G03F7/30 ,  G03F7/26

公开(公告)号：KR101900771B1

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：KR1020137017552

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구로이와게이조오 ,  오가타구니에 ,  마츠오카노부아키 ,  다사키노부유키 ,  미야타아키라

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67742

Abstract: 본발명은처리블록에서기판에도포막을형성한후, 이기판을노광장치에전달하고, 노광후의기판에대하여처리블록에서현상처리를행하고, 그후 캐리어에전달하도록구성되며, 동일시간당기판의처리매수가노광장치보다도많은도포현상장치에있어서, 노광전의기판을일단임시적재하는임시적재부와, 기판의반송경로에서의, 기판이놓이는모듈에대하여메인터넌스를행하기위해서, 당해상류측의기판의반송을정지하는시간의길이를설정하기위한정지시간설정부와, 임시적재부에놓인기판의매수가정지시간의길이에따른, 처리블록에의한기판의처리매수에도달했는지여부를감시하고, 소정의처리매수에도달한후에임시적재부의상류측의기판의반송을정지하도록제어신호를출력하는제어부를구비하고있다.

公开(公告)号：KR1020140002697A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：KR1020137017552

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구로이와게이조오 ,  오가타구니에 ,  마츠오카노부아키 ,  다사키노부유키 ,  미야타아키라

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67742 ,  G03F7/26 ,  G03F7/30

Abstract: 본 발명은 처리 블록에서 기판에 도포막을 형성한 후, 이 기판을 노광 장치에 전달하고, 노광 후의 기판에 대하여 처리 블록에서 현상 처리를 행하고, 그 후 캐리어에 전달하도록 구성되며, 동일 시간당 기판의 처리 매수가 노광 장치보다도 많은 도포 현상 장치에 있어서, 노광 전의 기판을 일단 임시 적재하는 임시 적재부와, 기판의 반송 경로에서의, 기판이 놓이는 모듈에 대하여 메인터넌스를 행하기 위해서, 당해 상류측의 기판의 반송을 정지하는 시간의 길이를 설정하기 위한 정지 시간 설정부와, 임시 적재부에 놓인 기판의 매수가 정지 시간의 길이에 따른, 처리 블록에 의한 기판의 처리 매수에 도달했는지 여부를 감시하고, 소정의 처리 매수에 도달한 후에 임시 적재부의 상류측의 기판의 반송을 정지하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구� �하고 있다.