公开(公告)号：KR101980508B1

公开(公告)日：2019-05-20

申请号：KR1020187026627

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구로이와게이조오 ,  오가타구니에 ,  마츠오카노부아키 ,  다사키노부유키 ,  미야타아키라

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  G03F7/30 ,  G03F7/26

公开(公告)号：KR101861859B1

公开(公告)日：2018-05-28

申请号：KR1020120082243

申请日：2012-07-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오가따구니에 ,  구로이와게이조오 ,  마쯔오까노부아끼 ,  다사끼노부유끼 ,  미야따아끼라 ,  도오끼유이찌

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/027

Abstract: 본발명의과제는, 기판처리장치에이상이발생한경우의점검작업을, 신속하게오류없이행하는것이다. 복수의처리유닛과, 각처리유닛에서의이상발생을표시하는표시수단을구비한기판처리장치는, 이상발생의경보의내용과당해이상발생에의해점검이필요해지는부위를관련시킨정보와, 점검대상부위를, 이상이발생되어있지않은다른부위로부터아이솔레이트하기위해조작되는기기의정보와, 점검대상부위의배치및 아이솔레이트시의조작대상기기의배치와, 아이솔레이트시의조작대상기기의조작수순을기억하는기억수단과, 기억수단의정보에기초하여, 이상발생에의해점검이필요해지는부위를아이솔레이트하기위해조작되는기기를특정하고, 또한특정된기기의배치를특정하여표시수단에출력하는이상특정수단과, 기억수단의정보에기초하여, 이상특정수단에서특정된기기의조작수순을특정하여표시수단에출력하는조작수순특정수단을갖고있다.

公开(公告)号：KR1020130014405A

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：KR1020120082243

申请日：2012-07-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오가따구니에 ,  구로이와게이조오 ,  마쯔오까노부아끼 ,  다사끼노부유끼 ,  미야따아끼라 ,  도오끼유이찌

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/00 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/67721

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus, a computer readable medium, a method for displaying an alarm, and a method for checking the substrate processing apparatus are provided to rapidly check the substrate processing apparatus without errors by confirming the location and operation of each device displayed on a display unit. CONSTITUTION: A cassette station(2) includes a cassette input and output unit(10) and a wafer transfer unit(11). The wafer transfer unit includes a wafer transfer device(21) which moves on a transfer path(20). A process station(3) includes four blocks(G1,G2,G3,G4) with various units. A bottom antireflection forming unit(31), a resist coating unit(32), and a top antireflection forming unit(33) are installed in a first block. A plurality of heat treatment units(41-46) are installed in a second block. A wafer transfer part(90) transfers a wafer to each transmission unit in a third block.

Abstract translation: 目的：提供基板处理装置，计算机可读介质，显示报警的方法以及检查基板处理装置的方法，通过确认显示在其上的每个设备的位置和操作来快速检查基板处理装置而没有错误 显示单元。 构成：盒式电台（2）包括盒输入和输出单元（10）和晶片传送单元（11）。 晶片传送单元包括在传送路径（20）上移动的晶片传送装置（21）。 处理站（3）包括具有各种单元的四个块（G1，G2，G3，G4）。 底部抗反射形成单元（31），抗蚀涂层单元（32）和顶部抗反射形成单元（33）安装在第一块中。 多个热处理单元（41-46）安装在第二块中。 晶片传送部件（90）在第三块中将晶片传送到每个传输单元。

公开(公告)号：KR101900771B1

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：KR1020137017552

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구로이와게이조오 ,  오가타구니에 ,  마츠오카노부아키 ,  다사키노부유키 ,  미야타아키라

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67742

Abstract: 본발명은처리블록에서기판에도포막을형성한후, 이기판을노광장치에전달하고, 노광후의기판에대하여처리블록에서현상처리를행하고, 그후 캐리어에전달하도록구성되며, 동일시간당기판의처리매수가노광장치보다도많은도포현상장치에있어서, 노광전의기판을일단임시적재하는임시적재부와, 기판의반송경로에서의, 기판이놓이는모듈에대하여메인터넌스를행하기위해서, 당해상류측의기판의반송을정지하는시간의길이를설정하기위한정지시간설정부와, 임시적재부에놓인기판의매수가정지시간의길이에따른, 처리블록에의한기판의처리매수에도달했는지여부를감시하고, 소정의처리매수에도달한후에임시적재부의상류측의기판의반송을정지하도록제어신호를출력하는제어부를구비하고있다.

公开(公告)号：KR1020140002697A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：KR1020137017552

申请日：2011-12-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 구로이와게이조오 ,  오가타구니에 ,  마츠오카노부아키 ,  다사키노부유키 ,  미야타아키라

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67742 ,  G03F7/26 ,  G03F7/30

Abstract: 본 발명은 처리 블록에서 기판에 도포막을 형성한 후, 이 기판을 노광 장치에 전달하고, 노광 후의 기판에 대하여 처리 블록에서 현상 처리를 행하고, 그 후 캐리어에 전달하도록 구성되며, 동일 시간당 기판의 처리 매수가 노광 장치보다도 많은 도포 현상 장치에 있어서, 노광 전의 기판을 일단 임시 적재하는 임시 적재부와, 기판의 반송 경로에서의, 기판이 놓이는 모듈에 대하여 메인터넌스를 행하기 위해서, 당해 상류측의 기판의 반송을 정지하는 시간의 길이를 설정하기 위한 정지 시간 설정부와, 임시 적재부에 놓인 기판의 매수가 정지 시간의 길이에 따른, 처리 블록에 의한 기판의 처리 매수에 도달했는지 여부를 감시하고, 소정의 처리 매수에 도달한 후에 임시 적재부의 상류측의 기판의 반송을 정지하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구� �하고 있다.