公开(公告)号：KR1020160033604A

公开(公告)日：2016-03-28

申请号：KR1020150126308

申请日：2015-09-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 곤도게이스케 ,  다시로마코토

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본출원의과제는높이방향으로복수의배치대를갖는덮개개폐장치에있어서, 배치대에배치된기판수납용기내의기판에의이물의부착을억제하는것이다. 일측면에취출구와취출구를막는덮개를갖는기판수납용기를배치가능한배치대를높이방향으로복수로마련한덮개개폐장치로서, 복수의배치대의각각에배치된기판수납용기의덮개와대향하도록마련된덮개개폐기구를구비하고, 적어도상단의배치대측의덮개개폐기구는, 덮개와대향하는면에, 덮개의착탈시에구동하는래치키와, 덮개개폐기구와덮개사이의공간내의가스를흡인하기위한흡인포트와, 덮개를흡착유지하는덮개유지부와, 래치키 및흡인포트보다외주측에마련되는패킹을갖는것을특징으로하는덮개개폐장치가제공된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种在高度方向具有多个排列单元的盖打开和关闭装置。 盖开闭装置抑制布置在布置单元中的基板容纳容器中的异物与基板的粘附。 盖开闭装置具有在高度方向上的布置单元，其中布置单元可以布置基板容纳容器，该容纳容器包括一侧的空气出口和封闭空气出口的盖。 盖开闭装置包括分别布置在布置单元上的面对基板容纳容器的盖的盖打开和关闭单元。 所述至少上部的所述配置单元上的盖开闭装置包括：当所述盖被安装和拆卸时驱动的闩锁键，其中所述闩锁键形成在面向所述盖的表面上; 用于在盖打开和关闭单元与盖之间的空间中吸入气体的吸入口; 覆盖保持单元吸附并保持盖子; 以及安装在外圆周上的包装单元，其比闩锁键和抽吸口。

公开(公告)号：KR3003892810000S

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：KR3020040036196

申请日：2004-11-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Designer： 곤도게이스케 ,  오카히로키 ,  다시로마코토