公开(公告)号：KR102217821B1

公开(公告)日：2021-02-18

申请号：KR1020167007887

申请日：2014-09-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 요시다유이치 ,  나이토오료오이치로오 ,  다우엔도루파아루노알라인쟝 ,  다카야나기고지 ,  미야자키시노부

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 일실시형태에있어서, 처리액공급장치에신품인필터유닛(3)을설치한후에, 용제를포함하는처리액을흐르게하기전에, 필터유닛을전처리용의용제에의해침지하고, 그후 당해용제를액체배출하는공정을행한다. 이용제에대한필터유닛중의필터부(31)의구성재료의용해도는, 당해구성재료의처리액에대한용해도보다도높다. 이공정에의해, 필터부로부터처리액중에용출되어이물(파티클)로될 수있는성분을, 처리액을필터유닛에흐르게하기전에, 필터유닛으로부터제거할수 있다.

公开(公告)号：KR1020160064107A

公开(公告)日：2016-06-07

申请号：KR1020167007887

申请日：2014-09-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 요시다유이치 ,  나이토오료오이치로오 ,  다우엔도루파아루노알라인쟝 ,  다카야나기고지 ,  미야자키시노부

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: B01D37/02 ,  B01D35/18 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/02307 ,  H01L21/6704 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6715

Abstract: 일실시형태에있어서, 처리액공급장치에신품인필터유닛(3)을설치한후에, 용제를포함하는처리액을흐르게하기전에, 필터유닛을전처리용의용제에의해침지하고, 그후 당해용제를액체배출하는공정을행한다. 이용제에대한필터유닛중의필터부(31)의구성재료의용해도는, 당해구성재료의처리액에대한용해도보다도높다. 이공정에의해, 필터부로부터처리액중에용출되어이물(파티클)로될 수있는성분을, 처리액을필터유닛에흐르게하기전에, 필터유닛으로부터제거할수 있다.